# RIE Cluster DRIE & Cryo Etch (ENAS-04) - PR1161740-3340-P Vergeben · Ausschreibung **Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.** Ähnliche offene Ausschreibungen: - [300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X9N8KXFVJ30EW4EEE5991X8Y3A/300-mm-d2w-hybrid-bonding-tool-izm-131-1-pr1254078-3460-p) - [Lieferung 5.280 m N2XS(FL)2 Y 1x630/35 mm² 6/10 kV](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_YKT08JKBQBP6ZJ667Z0C4VAS40/lieferung-5-280-m-n2xs-fl-2-y-1x630-35-mm-6-10-kv) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) - [Kauf von mobilen Stromerzeugern für die humanitäre Unterstützung der Ukraine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X34SZRZERQY4YE6W3WCE4RH60H/kauf-von-mobilen-stromerzeugern-fuer-die-humanitaere-unterstuetzung-der-ukraine) - [Maengelabstellung Brandmeldeanlage BSZ Pirna - Elektroinstallation](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NTYQEJMYMTR9WKKDPQ96EWY5HV/maengelabstellung-brandmeldeanlage-bsz-pirna-elektroinstallation) ## Auf einen Blick Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) in Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung RIE Cluster DRIE & Cryo Etch (ENAS-04) ## Eckdaten - Status: Vergeben - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forsc), München, DE - Leistungsort: Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41) - Haupt-CPV: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 3\. August 2026, 11:32 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f7bc8af-dca0-4519-a2c3-bab5d60a710a). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 9. November 2026, 14:30 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: RIE Cluster DRIE & Cryo Etch (ENAS-04) - PR1161740-3340-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_0C4ZNW89S2E0KM7J3JNM3EN8GF/ntv_8REB8DGZBNDHTXDF5Z5FEJC8JX/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0000: RIE Cluster DRIE & Cryo Etch (ENAS-04) - PR1161740-3340-P 1 pc. RIE Cluster DRIE & Cryo Etch - CPV: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Ort: Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41) ## Verlauf - 3\. August 2026, 11:32 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f7bc8af-dca0-4519-a2c3-bab5d60a710a) - 3\. August 2026: Zuschlag. Zuschlag an: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH; Eingegangene Angebote: 1 ## Einordnung - CPV-Codes: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - NUTS-Regionen: Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41) - Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH (Bieter); SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH (Zuschlag) ## Amtliche Unterlagen In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden. ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Chemnitz, Kreisfreie Stadt (DED41). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f7bc8af-dca0-4519-a2c3-bab5d60a710a) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f7bc8af-dca0-4519-a2c3-bab5d60a710a) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [multidisziplinäre Zitations- und Analysedatenbank - PR1273173-9789-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0VPFJ8ZCVZGY3R7TPC96WK01Y6/multidisziplinaere-zitations-und-analysedatenbank-pr1273173-9789-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 11\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/773072-2026), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Business-Notebook Rahmenvereinbarung - PR1248160-9782-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_ES0DQBDA8JQNB07SHSGCWN6ZP5/business-notebook-rahmenvereinbarung-pr1248160-9782-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 23\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f995efc-c143-4a44-9d57-3ffcbc9e7f38), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Stromversorgungsanlagen 70-\[…\]a - PR1313999-2780-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RSJG6R3RQCS4TPWM960PTJQDE4/stromversorgungsanlagen-70-00002-2780-407a-pr1313999-2780-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Frist: 15\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/992730e1-e05a-4380-a6e0-63e782de27c2), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SFNY4GY6RXPVF3MQCFKCWYT783/high-temperature-200-mm-ion-implanter-pr1293607-2790-w) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE252 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/efb6064f-4833-426e-9b6a-1ef558dbbd82), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [300 mm D2W hybrid bonding tool (IZM-131.1) - PR1254078-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X9N8KXFVJ30EW4EEE5991X8Y3A/300-mm-d2w-hybrid-bonding-tool-izm-131-1-pr1254078-3460-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED2E (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/dd34a80c-20d5-4122-816d-7f4d1dcb4e18), Zuletzt geprüft am 09.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung 5.280 m N2XS(FL)2 Y 1x630/35 mm² 6/10 kV](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_YKT08JKBQBP6ZJ667Z0C4VAS40/lieferung-5-280-m-n2xs-fl-2-y-1x630-35-mm-6-10-kv) Offen · Auftraggeber: eins energie in sachsen GmbH & Co. KG · Ort: DED41 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0d7071a5-2a1d-4239-b652-e90248962ca1), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00) - [Umbau Lessing-Museum Kamenz 54/2026/rem, Los 60 Beleuchtung](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_4ZNKJ96MRWTWEDQV9A69AP94QQ/umbau-lessing-museum-kamenz-54-2026-rem-los-60-beleuchtung) Offen · Ort: DED (Sachsen) · Frist: 09\.11.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) (Frist abgelaufen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a93c09fd19e13e5a), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 17:31 Uhr (UTC+01:00) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Kauf von mobilen Stromerzeugern für die humanitäre Unterstützung der Ukraine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X34SZRZERQY4YE6W3WCE4RH60H/kauf-von-mobilen-stromerzeugern-fuer-die-humanitaere-unterstuetzung-der-ukraine) Offen · Auftraggeber: Stadt Leipzig · Ort: DED51 (Sachsen) · Frist: 19\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/318e8f85-018e-489b-9c10-c47431987914), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Maengelabstellung Brandmeldeanlage BSZ Pirna - Elektroinstallation](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NTYQEJMYMTR9WKKDPQ96EWY5HV/maengelabstellung-brandmeldeanlage-bsz-pirna-elektroinstallation) Offen · Ort: DED (Sachsen) · Frist: 24\.11.2026, 08:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/1f0acc9717054b50), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 05:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f7bc8af-dca0-4519-a2c3-bab5d60a710a](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f7bc8af-dca0-4519-a2c3-bab5d60a710a) - Zuletzt geprüft: 9\. November 2026, 14:30 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0C4ZNW89S2E0KM7J3JNM3EN8GF/rie-cluster-drie-cryo-etch-enas-04-pr1161740-3340-p Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.