# Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Vergeben · Ausschreibung

**Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.**

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## Auf einen Blick

Universität Heidelberg schreibt Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) in Heidelberg, Stadtkreis (DE125) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Offenes Verfahren.

## Eckdaten

- Status: Vergeben
- Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung
- Auftraggeber: [Universität Heidelberg](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_DRNMNJ35FFBGHDXZT8XAGCFPW9/universitaet-heidelberg), Heidelberg, DE
- Leistungsort: Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
- Haupt-CPV: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000)
- Verfahrensart: Offenes Verfahren
- Lose: 1
- Erstmals veröffentlicht: 6\. Oktober 2026, 15:07 Uhr (UTC+02:00)

Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 6. November 2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00).

Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage – Universität Heidelberg. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_3X7G71X2A2QSE0X27YWXF7NEXE/ntv_N9NQWHZV761WF2JQXC9FEVF7X6/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900)

## Lose (1)

### Los LOT-0001: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage

Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden.  Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können.  Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts.   Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort  - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.

- CPV: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000)
- Ort: Heidelberg, Stadtkreis (DE125)

## Verlauf

- 6\. Oktober 2026, 15:07 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1)
- 6\. Oktober 2026: Zuschlag. Zuschlag an: Oxford Instruments GmbH; Eingegangene Angebote: 1

## Einordnung

- CPV-Codes: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000)
- NUTS-Regionen: Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
- Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: Oxford Instruments GmbH (Bieter); Oxford Instruments GmbH (Zuschlag)

## Amtliche Unterlagen

In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden.

## Fragen und Antworten

### Wer ist der Auftraggeber?

Universität Heidelberg, Heidelberg, DE.

### Was wird beschafft (CPV)?

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000).

### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Heidelberg, Stadtkreis (DE125).

### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

### Welche Verfahrensart gilt?

Offenes Verfahren.

### Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1)

### Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1)

## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers

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  Vergeben · Auftraggeber: Universität Heidelberg · Ort: DE125 (Baden-Württemberg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/7996962f-138c-476c-b3a1-5a328b5afc52), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)
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  Vergeben · Auftraggeber: Universität Heidelberg · Ort: DE125 (Baden-Württemberg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/c83a92b1-13dc-4a81-bf70-4ad1b21a2bdc), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 15:10 Uhr (UTC+01:00)
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  Abgelaufen · Auftraggeber: Universität Heidelberg · Ort: DE125 (Baden-Württemberg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/e7fd8ec3-2e7d-49f9-b1ba-254b71f78bc3), Zuletzt geprüft am 28.10.2026, 06:30 Uhr (UTC+01:00)

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## Quelle

- Herausgeber: Bekanntmachungsservice
- Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/)
- Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1)
- Zuletzt geprüft: 6\. November 2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_3X7G71X2A2QSE0X27YWXF7NEXE/vergabeverfahren-zur-lieferung-einer-gasphasenabscheidungsanlage

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