# Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration Vergeben · Ausschreibung **Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.** Ähnliche offene Ausschreibungen: - [Lieferung von Armaturen einer Versuchsanlage](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_3NR8BEMY7VB7ZQ8GAKZKN4C9T7/lieferung-von-armaturen-einer-versuchsanlage) - [Laborspülmaschine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_C0346603E9RZ0TRN8MK88RSQ2Y/laborspuelmaschine) - [Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme eines Sprühroboters](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_9GDTJNFRF2D86FN8A24G93P1YZ/lieferung-aufbau-und-inbetriebnahme-eines-spruehroboters) - [humanoider Roboter](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_49QM3MB0FX2TM9ZYQ24EPM4VH8/humanoider-roboter) - [Vakuumtechnik und Laborperipherie](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_74D8FGNJ6B94HM7HZTWJKMXTZ0/vakuumtechnik-und-laborperipherie) ## Auf einen Blick IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem. ## Eckdaten - Status: Vergeben - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_C1PE2B9S0VD0ASW5C1XRZMRC20/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik), Frankfurt (Oder), DE - Leistungsort: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) - Haupt-CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 2\. November 2026, 15:32 Uhr (UTC+01:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 5. November 2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration – IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_6KP3BWFPZV4P0MSAKRWP43EJ66/ntv_M1QM2DPDZJFCPDA0JG9VY5Z8G3/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0001: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierfür sind die Lieferung, Integration und Inbetriebnahme der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten sowie die Durchführung aller notwendigen Anpassungs-, Test- und Qualifizierungsmaßnahmen erforderlich. Der Leistungsumfang umfasst insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems zur Realisierung eines kontrollierten Umschaltens der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer zur Unterstützung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen. Darüber hinaus ist zusätzliche Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr zu liefern und in das bestehende System zu integrieren. Die angebotene Lösung muss mit der vorhandenen Anlagenkonfiguration kompatibel sein und die technische Funktionalität einer WxZ Sprint Konfiguration gewährleisten. Zur Ermittlung des konkreten Anpassungsbedarfs wird eine Vor-Ort-Besichtigung der Anlage empfohlen. - CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000), Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Ort: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) ## Verlauf - 2\. November 2026, 15:32 Uhr (UTC+01:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427) - 2\. November 2026, 15:32 Uhr (UTC+01:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/766817-2026) - 21\. September 2026: Zuschlag. Zuschlag an: SFI Solutions for Instruments GmbH; Eingegangene Angebote: 1 ## Einordnung - CPV-Codes: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000); Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - NUTS-Regionen: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) - Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: SFI Solutions for Instruments GmbH (Bieter); SFI Solutions for Instruments GmbH (Zuschlag) ## Amtliche Unterlagen In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden. ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder), DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) und Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [Service-Support-Vertrag für NIKON-Belichtungsmaschinen](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_XGGQNECJZXBWP0Z2Y4SB75AQ4P/service-support-vertrag-fuer-nikon-belichtungsmaschinen) Offen · Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Ort: DE403 (Brandenburg) · Frist: 10\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/220dba64-cc25-4ea2-9232-4807b98da0d4), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 14:30 Uhr (UTC+01:00) - [Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RHGY210WY3V1BAS1W97R0CDW64/semi-automatic-prober-for-characterization-of-200-mm-wafers) Vergeben · Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Ort: DE403 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/20502656-f720-4729-8971-cc23df15fb17), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 18:30 Uhr (UTC+01:00) - [RF Vector Signal Generator](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_Z5C9BMNQMMJAP8JNYN249PEG5R/rf-vector-signal-generator) Vergeben · Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Ort: DE403 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0fe6abd4-6b77-4f94-a2e2-fd8845da10c6), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 01:30 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung eines vollautomatischen Drahtbonders](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_CR8BTXE98KY4BCRFRJ9VEHJDER/lieferung-eines-vollautomatischen-drahtbonders) Vergeben · Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Ort: DE403 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/7018dbdf-f43d-4d77-8a05-abf7809f08ee), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 14:31 Uhr (UTC+01:00) - [Sensorservice für überwachungspflichtige Gase für die Jahre 2026 bis 2030](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0WHJ6SHS2FCRNH9NCP1MX0AZNN/sensorservice-fuer-ueberwachungspflichtige-gase-fuer-die-jahre-2026-bis-2030) Vergeben · Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Ort: DE403 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/84d67c67-776c-4734-8397-e4c6e4d9f863), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [Lieferung von Armaturen einer Versuchsanlage](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_3NR8BEMY7VB7ZQ8GAKZKN4C9T7/lieferung-von-armaturen-einer-versuchsanlage) Offen · Ort: DE4 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/2be953801a3e8bee), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 14:31 Uhr (UTC+01:00) - [Laborspülmaschine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_C0346603E9RZ0TRN8MK88RSQ2Y/laborspuelmaschine) Offen · Ort: DE4 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/45ddd54310f0363e), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme eines Sprühroboters](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_9GDTJNFRF2D86FN8A24G93P1YZ/lieferung-aufbau-und-inbetriebnahme-eines-spruehroboters) Offen · Ort: DE4 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/83305a421f4fa948), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 06:30 Uhr (UTC+01:00) - [humanoider Roboter](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_49QM3MB0FX2TM9ZYQ24EPM4VH8/humanoider-roboter) Offen · Ort: DE4 (Brandenburg) · Frist: 20\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/7e67679d159c9f91), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 05:30 Uhr (UTC+01:00) - [Vakuumtechnik und Laborperipherie](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_74D8FGNJ6B94HM7HZTWJKMXTZ0/vakuumtechnik-und-laborperipherie) Offen · Ort: DE4 (Brandenburg) · Frist: 18\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/7c32fa4aacf0105f), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 05:30 Uhr (UTC+01:00) - [manueller Wafermounter](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_9G3AJ0DXQ9EHS60G6RDW9Y7ZSR/manueller-wafermounter) Offen · Ort: DE4 (Brandenburg) · Frist: 26\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/4ab0d0d794af1036), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 05:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427) - Zuletzt geprüft: 5\. November 2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_6KP3BWFPZV4P0MSAKRWP43EJ66/upgrade-of-a-200-mm-wxz-tungsten-cvd-chamber-to-wxz-sprint-configuration Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.