# Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS Offen · Ausschreibung ## Auf einen Blick Ruhr-Universität Bochum schreibt Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) in Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51) aus. Die Bekanntmachung nennt einen geschätzten Wert von 1.024.000 € zzgl. MwSt. Verfahrensart: Wettbewerblicher Dialog. ### Aus der Bekanntmachung Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen. ## Eckdaten - Status: Offen - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Veröffentlichter Wert: 1\.024.000 € zzgl. MwSt. - Auftraggeber: [Ruhr-Universität Bochum](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_Z5YC6FZ1Q0E0RMC8R76SYSPKEQ/ruhr-universitaet-bochum), Bochum, DE - Leistungsort: Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51) - Haupt-CPV: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) - Verfahrensart: Wettbewerblicher Dialog - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 12\. August 2026, 09:47 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 9. November 2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS – Ruhr-Universität Bochum. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_7YXF52V8CNC34Y2BSJP21BZD24/ntv_DN7Y9SMCGW80W4YC0DE0QA7NM2/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0001: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen. - CPV: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) - Ort: Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51) ## Verlauf - 12\. August 2026, 09:47 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8) ## Einordnung - CPV-Codes: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) - NUTS-Regionen: Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51) ## Amtliche Unterlagen - [www.evergabe.nrw.de](https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ/documents) ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Ruhr-Universität Bochum, Bochum, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51). ### Wie hoch ist der geschätzte Wert? Die Bekanntmachung nennt einen geschätzten Wert von 1.024.000 € zzgl. MwSt. ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Wettbewerblicher Dialog. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8) ## Unternehmen, die passen könnten *Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben* Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen. - [TESCAN GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_4DEFAH4R6VWYNZJJ7MJ6ZZM6B7/tescan-gmbh) · Dortmund · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-09-24): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_QCZDAKKRWTBPZWW9SD3PA4GVFJ/roentgen-spektroskops-wdx-wds), geprüft am 09.11.2026 - Sitz in derselben Region wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_4DEFAH4R6VWYNZJJ7MJ6ZZM6B7), geprüft am 09.11.2026 - [Pro Lux Sensorsysteme GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_4QFNM69DX13JJT841KMAB4QVWN/pro-lux-sensorsysteme-gmbh) · Sundern · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-09-29): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_YYSNFK4W8JM9BY9X5EJGMEDFGB/kauf-und-lieferung-von-laborgeraeten), geprüft am 09.11.2026 - Sitz in derselben Region wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_4QFNM69DX13JJT841KMAB4QVWN), geprüft am 09.11.2026 - [Beckman Coulter GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_8V29HHRBN5D7QG52AAJJ2T8BCR/beckman-coulter-gmbh) · Krefeld · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-10-07): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_A95C0F7528Y0Q0RXBJH10ZH2JE/pipettierroboter-fuer-die-pathologie), geprüft am 09.11.2026 - Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_8V29HHRBN5D7QG52AAJJ2T8BCR), geprüft am 09.11.2026 - [Revvity (Germany) GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_SAVY3Y4J8E2SFBA3K5XC82ZVKV/revvity-germany-gmbh) · Hamburg · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-08-20): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_V1DRS6DC0JA3309752Q1C8F77C/high-content-imaging-screening-system-fuer-hochdurchsatz-robotikanlage), geprüft am 09.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_SAVY3Y4J8E2SFBA3K5XC82ZVKV), geprüft am 09.11.2026 - [Quantum Design GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_Y2Q053S51EJYVQYWR9TW299D79/quantum-design-gmbh) · Pfungstadt · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-09-28): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SS8HP5XQF6QM6Y02735M9271VQ/dissipations-schwingquarzmikrowaagensystem), geprüft am 09.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_Y2Q053S51EJYVQYWR9TW299D79), geprüft am 09.11.2026 ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [Rahmenvertrag Umzugslogistik](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_ZKMCYHW7VBFKNXN7JQA10RZMSX/rahmenvertrag-umzugslogistik) Offen · Auftraggeber: Ruhr-Universität Bochum (RUB) · Ort: DEA51 (Nordrhein-Westfalen) · Frist: 16\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5393522f-b42c-415c-9422-661657cae20e), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00) - [RV Einsammlung und Entsorgung von gemischten Siedlungsabfällen und Altpapier](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_4ZQ18905G2VNAZ3M76W0NJTZKV/rv-einsammlung-und-entsorgung-von-gemischten-siedlungsabfaellen-und-altpapier) Vergeben · Auftraggeber: Ruhr-Universität Bochum (RUB) · Ort: DEA51 (Nordrhein-Westfalen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b4d6810d-2109-44b6-92c0-a445a5553c99), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00) - [Wartung von Sprinkleranlagen](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RN6EE5WY4DK9J3C9M2YW78NW5M/wartung-von-sprinkleranlagen) Abgelaufen · Auftraggeber: Ruhr-Universität Bochum (RUB) · Ort: DEA51 (Nordrhein-Westfalen) · Frist: 29\.10.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) (Frist abgelaufen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9acee1b7-82fe-414d-b1fa-f475037e9b33), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 23:30 Uhr (UTC+01:00) - [Rahmenvertrag Bürodrehstühle](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_R9491P643FR7Q6RTZSHFPA53GM/rahmenvertrag-buerodrehstuehle) Vergeben · Auftraggeber: Ruhr-Universität Bochum · Ort: DEA51 (Nordrhein-Westfalen) · Veröffentlichter Wert: 3\.000.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/4655b6b8-f1a7-4db2-abd2-3701578999f4), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 04:30 Uhr (UTC+01:00) - [Software-Modul](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_29P5WRC8EHBAWN4BP57GGKEHDT/software-modul) Vergeben · Auftraggeber: Ruhr-Universität Bochum · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/6c011efe-fd44-4e0e-b43a-76c92f142a22), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 09:30 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [3D-Laserscanning-Lösung mit Flash- und Slammodus](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_KVNCSHT7SDK19GW86V77DNP8C8/3d-laserscanning-loesung-mit-flash-und-slammodus) Offen · Ort: DEA (Nordrhein-Westfalen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/fbf70fc0b69a5a82), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 04:30 Uhr (UTC+01:00) - [Beschaffung von Bioreaktoren mit Arbeitsvolumen von 10 - 500 L im Rahmen der Modernisierung des MultiScale Biotechnikums](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_H2EJRRFHFQHJY05YMADNQWWTXV/beschaffung-von-bioreaktoren-mit-arbeitsvolumen-von-10-500-l-im-rahmen-der-moder) Offen · Auftraggeber: Universität Münster · Ort: DEA33 (Nordrhein-Westfalen) · Frist: 30\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/65d7034b-d29a-49e0-b59d-764fcf04322d), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00) - [Kraftmessplatten](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_1FDN8BQG684BA0HDSZ0NR3DXS1/kraftmessplatten) Offen · Ort: DEA (Nordrhein-Westfalen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/2d9503dfdb5bf298), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 23:30 Uhr (UTC+01:00) - [Digitale Vollformat-Cine-Kamera (8K)](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SPJ1RNJKWVZAVMKMENQSMDTEWA/digitale-vollformat-cine-kamera-8k) Offen · Ort: DEA (Nordrhein-Westfalen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/73cc049f406d2f19), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 22:30 Uhr (UTC+01:00) - [DFG-Gz: EXC 2033/2026 (A 180) Lieferung eines "FLIM-Systems"](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SB6E2X435NQP4C03PVQ2GZ9D9Z/dfg-gz-exc-2033-2026-a-180-lieferung-eines-flim-systems) Offen · Auftraggeber: Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V. · Ort: DEA51 (Nordrhein-Westfalen) · Frist: 11\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/3a13e560-d7bc-4599-b9be-0a560ad033dc), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 19:30 Uhr (UTC+01:00) - [DFG-Az.: EXC 3037/1 TP2 (A 215) Beschaffung eines Gasphasenabscheidungsanlage](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RAMHHD542GRSS5G4TZ5JGPE7X3/dfg-az-exc-3037-1-tp2-a-215-beschaffung-eines-gasphasenabscheidungsanlage) Offen · Auftraggeber: Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V. · Ort: DEA29 (Nordrhein-Westfalen), DEA2A (Nordrhein-Westfalen), DEA2B (Nordrhein-Westfalen) · Frist: 09\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/fc345dcb-1a3f-4a12-a491-ccaf05c3f01b), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8) - Zuletzt geprüft: 9\. November 2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_7YXF52V8CNC34Y2BSJP21BZD24/aetzanlage-zum-tiefen-silicium-aetzen-fuer-mems Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.