# IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer Offen · Ausschreibung ## Auf einen Blick Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in Stuttgart, Stadtkreis (DE111) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. ## Eckdaten - Status: Offen - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_A5T7CVW2SW354SK6CTQDX1DXEY/institut-fuer-mikroelektronik-stuttgart-stiftung-des-buerger), Stuttgart, DE - Leistungsort: Stuttgart, Stadtkreis (DE111) - Haupt-CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 27\. Mai 2026, 15:14 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 12. November 2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer – Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_8D35J31HTC763VFEV33TFCDWXX/ntv_R3WNDM5VF11J1GWJTGQH0XXVNF/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0001: IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostruk-turierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein zweijähriger Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist es, mit dieser Belackungs-/Entwicklungsanlage sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen zu realisieren. - CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - Ort: Stuttgart, Stadtkreis (DE111) ## Verlauf - 27\. Mai 2026, 15:14 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb) ## Einordnung - CPV-Codes: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - NUTS-Regionen: Stuttgart, Stadtkreis (DE111) ## Amtliche Unterlagen - [www.dtvp.de](https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZMS7W/documents) ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts, Stuttgart, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Stuttgart, Stadtkreis (DE111). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb) ## Unternehmen, die passen könnten *Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben* Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen. - [HR Wallingford Limited](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_QH93VAJPSSW319D3VWT873BJXZ/hr-wallingford-limited) · Wallingford · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-08-11): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_MEW6B44T23AR5RAPMFR64HRZGV/beschaffung-eines-wellenerzeugers-fuer-die-flachwasserrinne-der-technischen-univ), geprüft am 13.11.2026 - 1 Zuschlag in diesem Bereich in 36 Monaten, von 1 Auftraggeber: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_MEW6B44T23AR5RAPMFR64HRZGV/beschaffung-eines-wellenerzeugers-fuer-die-flachwasserrinne-der-technischen-univ), geprüft am 13.11.2026 - [LAUBER GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_YQQRVF8CEFRGHTBW0CE51FVJTV/lauber-gmbh) · Alfdorf · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-07-27): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_Y5QHW3WCSC8TX3JHQW03JTZE2K/ersatzneubau-der-staatlichen-berufsschule-in-regen-mit-fos-trockenkammer), geprüft am 13.11.2026 - Sitz in derselben Region wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_YQQRVF8CEFRGHTBW0CE51FVJTV), geprüft am 13.11.2026 - [AP und S International GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_TYDEDB5TY1A3Z0W98JK9TYH9W0/ap-und-s-international-gmbh) · Donaueschingen · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-09-01): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_38BG6DJ34NPRGPCM82S5T563Q2/advanced-cleaning-tool-ipms-mrs09-2-pr1119624-2480-p), geprüft am 13.11.2026 - Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_TYDEDB5TY1A3Z0W98JK9TYH9W0), geprüft am 13.11.2026 - [Adelbert Haas GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_5X1RT67QSWQANXYVCPC8GDRXHB/adelbert-haas-gmbh) · Trossingen · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-04-21): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_XS59MW60DFRP5J3SCR7E8GBF9S/cnc-schleifzentrum-inkl-lieferung-aufbau-inbetriebnahme-und-wartung), geprüft am 13.11.2026 - Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_5X1RT67QSWQANXYVCPC8GDRXHB), geprüft am 13.11.2026 - [ETEWE GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_66PP5FN1JDKTQ4ZC22FDX54C06/etewe-gmbh) · Karlsruhe · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-08-19): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_FS6YR9R6ZC8PAHMSRGHDX1BP4N/roboterantriebspruefstand), geprüft am 13.11.2026 - Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_66PP5FN1JDKTQ4ZC22FDX54C06), geprüft am 13.11.2026 ## Ähnliche Ausschreibungen - [Tragkraftspritze für die Feuerwehr Tübingen](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0JMDSMSHVRSQ93440SVKGS5YKY/tragkraftspritze-fuer-die-feuerwehr-tuebingen) Offen · Ort: DE1 (Baden-Württemberg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0e081cd2a58b2258), Zuletzt geprüft am 12.11.2026, 11:30 Uhr (UTC+01:00) - [Rahmenvertrag für Beschaffung und Service von Gabelstaplern/Flurförderfahrzeugen](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_CAWP154GJX32RB47ER7XJX9QYY/rahmenvertrag-fuer-beschaffung-und-service-von-gabelstaplern-flurfoerderfahrzeug) Offen · Auftraggeber: EnBW Energie Baden-Württemberg AG · Ort: DE122 (Baden-Württemberg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ba7dfe6b-a192-47a1-a77a-7c6991e331d2), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 11:30 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung und Einbau Zutrittskontrollsystem inkl. Einrichtung und Anwenderschulung](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_DNJ6JS9J3G3XTH0V6Q5PXYE04X/lieferung-und-einbau-zutrittskontrollsystem-inkl-einrichtung-und-anwenderschulun) Offen · Ort: DE1 (Baden-Württemberg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0ee47f143456ae33), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 03:30 Uhr (UTC+01:00) - [Los 2.4 Lieferung Pumpen Wärmespeicher](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_92NBF4GV7TXRDWSN2YQMYN15EM/los-2-4-lieferung-pumpen-waermespeicher) Offen · Auftraggeber: Stadtwerke Karlsruhe GmbH · Ort: DE122 (Baden-Württemberg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/760475de-8a68-4014-ab90-63cebb009729), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 22:30 Uhr (UTC+01:00) - [Los 2.2 Lieferung Armaturen Wärmespeicher](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_D7XJFAD6M619EGQR5ZM368ABDB/los-2-2-lieferung-armaturen-waermespeicher) Offen · Auftraggeber: Stadtwerke Karlsruhe GmbH · Ort: DE122 (Baden-Württemberg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b523b55b-e5e1-4a80-acef-fc583465c590), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 22:30 Uhr (UTC+01:00) - [S\_Anlagencluster\_Die-Bonder/\_Photonic-Bonder\_KW2026](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NS8TCSG6TDEN0K3XS2DZEVP4Q0/s-anlagencluster-die-bonder-photonic-bonder-kw2026) Offen · Auftraggeber: Hahn-Schickard gGmbH · Ort: DE111 (Baden-Württemberg) · Frist: 16\.11.2026, 13:00 Uhr (UTC+01:00) · Veröffentlichter Wert: 775\.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/01a11a5f-174e-4884-bb9b-d4e8c8de45df), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 14:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb) - Zuletzt geprüft: 12\. November 2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_8D35J31HTC763VFEV33TFCDWXX/ims-chips-vergabe-einer-belackungs-und-entwicklungsanlage-fuer-wafer Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. 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