# Plasma Ashing System

Abgelaufen · Ausschreibung

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## Auf einen Blick

Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften schreibt Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) in München, Landkreis (DE21H) aus. Sie ist abgelaufen. Verfahrensart: Offenes Verfahren.

### Aus der Bekanntmachung

The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.

## Eckdaten

- Status: Abgelaufen
- Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung
- Auftraggeber: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften, Garching, DE
- Leistungsort: München, Landkreis (DE21H)
- Haupt-CPV: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000)
- Verfahrensart: Offenes Verfahren
- Lose: 1
- Erstmals veröffentlicht: 23\. Oktober 2026, 14:37 Uhr (UTC+02:00)

Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 26. Oktober 2026, 15:47 Uhr (UTC+01:00).

Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Plasma Ashing System – Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_BD04XRZY363M1GVYX8J7M1W92P/ntv_NSYF9DB9JCHSJV7DXJSGQS4NX4/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900)

## Lose (1)

### Los LOT-0001: Plasma Ashing System

siehe Leistungsbeschreibung.

- CPV: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000)
- Ort: München, Landkreis (DE21H)

## Verlauf

- 23\. Oktober 2026, 14:37 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5)

## Einordnung

- CPV-Codes: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000)
- NUTS-Regionen: München, Landkreis (DE21H)

## Amtliche Unterlagen

In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden.

## Fragen und Antworten

### Wer ist der Auftraggeber?

Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften, Garching, DE.

### Was wird beschafft (CPV)?

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000).

### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

München, Landkreis (DE21H).

### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

### Welche Verfahrensart gilt?

Offenes Verfahren.

### Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5)

### Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5)

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## Quelle

- Herausgeber: Bekanntmachungsservice
- Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/)
- Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f0f7ad9f-e17f-4edd-af7e-02b77cc7aec5)
- Zuletzt geprüft: 26\. Oktober 2026, 15:47 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_BD04XRZY363M1GVYX8J7M1W92P/plasma-ashing-system

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