# Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P Vergeben · Ausschreibung **Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.** Ähnliche offene Ausschreibungen: - [Die Lieferung eines kompletten Tauchkreiselpumpen-Systems (TKP-Systems) zum Einbau in eine Geothermieanlage.](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NA26NXKMX1TZ39FAEYCJ1THQ8N/die-lieferung-eines-kompletten-tauchkreiselpumpen-systems-tkp-systems-zum-einbau) - [Los 2: Erneuerung Heizwerke Würzburg - Lieferung und Montage Elektrodenkessel](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_PNP9X4TTVTKD771AY0YMEM47AC/los-2-erneuerung-heizwerke-wuerzburg-lieferung-und-montage-elektrodenkessel) - [Einführung eines IDBT (ID basiertes Ticketing) Systems](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NQAKCG8N3S2A0051HW7FYTKCXA/einfuehrung-eines-idbt-id-basiertes-ticketing-systems) - [Detail-Engineering und Bau einer Forschungsanlage zur Synthese von Kraftstoffen - PR1107510-3850-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_4RF0FQQEFA5KQ9X4Y0TYDV12C9/detail-engineering-und-bau-einer-forschungsanlage-zur-synthese-von-kraftstoffen-) - [Die Lieferung von Luft-Wasser-Wärmepumpen und Zubehör.](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_WZ9CV2C7SPX9YBTXVRY846RN6Y/die-lieferung-von-luft-wasser-waermepumpen-und-zubehoer) ## Auf einen Blick Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in München, Kreisfreie Stadt (DE212) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) ## Eckdaten - Status: Vergeben - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-einkauf-b12), München, DE - Leistungsort: München, Kreisfreie Stadt (DE212) - Haupt-CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 16\. Juli 2026, 14:33 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 10. November 2026, 09:30 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_E2NDDFE58NPA9V0BX88M8EA84D/ntv_W5FNGVB4JWP6YKY0HW59YYPQAK/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0000: Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P 1 Stück Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) Ätzgeräte für 200-mm-Substrate. Das Ätzen von Glas oder Quarz für Interposer oder strukturierte Oberflächen erfordert hochentwickelte Prozesskammern mit hoher Plasmadichte und homogener Ätzrate. In der Regel sind harte Maskierungsschichten aus Metall oder Polysilizium erforderlich, um diese Strukturen auf Glas- oder Quarzsubstrate zu übertragen. Aus diesem Grund benötigt eine Ätzkammer für dicke Maskierungsschichten ebenfalls Plasma mit hoher Dichte, um angemessene Ätzraten zu erzielen. Um hingegen Metallleitungen mit geringem Widerstand zu realisieren, die nicht zu viel Fläche beanspruchen, sind höhere Metallleitungen erforderlich. Diese können ebenfalls mit diesem Kammertyp geätzt werden. Für die fortschrittliche Heterointegration reichen die Schichtdicken von einigen µm bis zu 25 µm und die dielektrischen Schichten oder Glassubstrate von 2 µm bis zu 150 µm. Der Anlagenlieferant sollte Verarbeitungsbeispiele insbesondere für das Tiefenätzen in Glassubstraten vorlegen. Nicht jedes Metall haftet gut auf Quarz- oder Glasoberflächen. Daher werden geeignete leitfähige Schichten sowie nichtleitende Schichten wie Nitride verwendet. Neben der Verbesserung der Haftung werden diese Schichten auch als Stoppschichten verwendet und müssen gelegentlich in einem separaten Verarbeitungsschritt und einer speziellen Ätzkammer entfernt werden. Die Anforderungen an die Gleichmäßigkeit für die geplante Anwendung, sowohl bei der Abscheidung als auch bei der Strukturierung, sollten 1 % nicht überschreiten. Das Werkzeug muss transparente Substrate erkennen und verarbeiten können, ohne dass vor der Verarbeitung im Werkzeug zusätzliche opake Schichten aufgebracht werden müssen. Diese Ausrüstung muss angeschafft werden, da es im Mikroelektronik-Konsortium kein vergleichbares System gibt, das die technischen und prozessspezifischen Anforderungen, beispielsweise hinsichtlich Kontamination oder Zykluszeit, erfüllt. Optionen: 1\.6 EMFT-01.2 Ätzen von Ni, Nb, NbN, Si3N4 Substratheizung als zusätzliche Option neben gekühltem Substrat 1\.7 EMFT-01.2 Ätzen von Ni, Nb, NbN, Si3N4 Kantenabdeckring 2\.4 EMFT-01.3 Quarzätzen Randabdeckring Substratkantenschutz mit Abdeckring erwünscht 3\.3 EMFT-01.4 Nitridätzen (TiN, AlN) "Mindestens ein Rezept zum Ätzen von < 1 µm dicken Schichten für jedes der Verbundmaterialien " "Beschreibung der Ätzgasen und der Art des Maskierungsmaterials Die umfassendste Beschreibung ergibt die höchste Punktzahl." 4\.5 EMFT-01.5 Ätzen von Silizium/Siliziumverbundstoffen (c-Si, poly-Si, SiC) "Mindestens ein Rezept für das Ätzen jedes der Silizium-/Siliziumverbundwerkstoffe " "Beschreibung der Ätzgasen und der Art des Maskierungsmaterials Die umfassendste Beschreibung erzielt die höchste Punktzahl." 5\.2 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling Loadlock für das Laden von 25 Wafern in Kassetten 5\.3 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling Bildschirm und Bedienfeld auf beiden Seiten (Grauraum-Reinraum) 5\.6 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling "Pumpen für Transferkammer " Turbopumpen und Vorpumpen für Turbopumpen 5\.7 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling "Pumpen für Loadlock-Kammer " Turbopumpen und Vorpumpen für Turbopumpen 8\.1 Garantie-/Servicebedingungen Angebot eines Servicevertrags Angebot eines Servicevertrags, gültig nach Ablauf der Garantiezeit. Es sollte die Beschreibung der Dienstleistung, die Anzahl der Arbeitsstunden und die benötigten Ersatzteile enthalten.8.2 Garantie-/Servicebedingungen Liste der Ersatzteil-Kits für Verschleißteile Liste der Ersatzteil-Kits für Verschleißteile - CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - Ort: München, Kreisfreie Stadt (DE212) ## Verlauf - 16\. Juli 2026, 14:33 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98) - 16\. Juli 2026: Zuschlag. Zuschlag an: Ulvac GmbH; Eingegangene Angebote: 1 ## Einordnung - CPV-Codes: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - NUTS-Regionen: München, Kreisfreie Stadt (DE212) - Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: Ulvac GmbH (Bieter); Ulvac GmbH (Zuschlag) ## Amtliche Unterlagen In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden. ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? München, Kreisfreie Stadt (DE212). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [Rohbauarbeiten 70-\[…\] - PR1329418-2720-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_QG1TWRVKRY7YHAJF27HJ4ZDEFT/rohbauarbeiten-70-00561-2720-301-pr1329418-2720-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DED2D (Sachsen) · Frist: 07\.12.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/777333-2026), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [multidisziplinäre Zitations- und Analysedatenbank - PR1273173-9789-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0VPFJ8ZCVZGY3R7TPC96WK01Y6/multidisziplinaere-zitations-und-analysedatenbank-pr1273173-9789-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 11\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/773072-2026), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Business-Notebook Rahmenvereinbarung - PR1248160-9782-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_ES0DQBDA8JQNB07SHSGCWN6ZP5/business-notebook-rahmenvereinbarung-pr1248160-9782-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 23\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f995efc-c143-4a44-9d57-3ffcbc9e7f38), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Stromversorgungsanlagen 70-\[…\]a - PR1313999-2780-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RSJG6R3RQCS4TPWM960PTJQDE4/stromversorgungsanlagen-70-00002-2780-407a-pr1313999-2780-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Frist: 15\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/992730e1-e05a-4380-a6e0-63e782de27c2), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [Die Lieferung eines kompletten Tauchkreiselpumpen-Systems (TKP-Systems) zum Einbau in eine Geothermieanlage.](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NA26NXKMX1TZ39FAEYCJ1THQ8N/die-lieferung-eines-kompletten-tauchkreiselpumpen-systems-tkp-systems-zum-einbau) Offen · Auftraggeber: SWM Services GmbH · Ort: DE212 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/d46d52a5-1eb8-4d45-8726-7f4b5b969000), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 20:30 Uhr (UTC+01:00) - [Los 2: Erneuerung Heizwerke Würzburg - Lieferung und Montage Elektrodenkessel](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_PNP9X4TTVTKD771AY0YMEM47AC/los-2-erneuerung-heizwerke-wuerzburg-lieferung-und-montage-elektrodenkessel) Offen · Auftraggeber: Stadtwerke Würzburg AG · Ort: DE263 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ce21c142-b6f9-4951-b439-d7f2f2a2f94b), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) - [Einführung eines IDBT (ID basiertes Ticketing) Systems](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NQAKCG8N3S2A0051HW7FYTKCXA/einfuehrung-eines-idbt-id-basiertes-ticketing-systems) Offen · Auftraggeber: Regensburger Verkehrsverbund GmbH · Ort: DE232 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f52c0ec4-7165-4e37-be9e-e659c1d36ec0), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 12:30 Uhr (UTC+01:00) - [Detail-Engineering und Bau einer Forschungsanlage zur Synthese von Kraftstoffen - PR1107510-3850-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_4RF0FQQEFA5KQ9X4Y0TYDV12C9/detail-engineering-und-bau-einer-forschungsanlage-zur-synthese-von-kraftstoffen-) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 · Ort: DE223 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/75d28373-a8a0-4289-a644-ed29c222e9ad), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00) - [Die Lieferung von Luft-Wasser-Wärmepumpen und Zubehör.](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_WZ9CV2C7SPX9YBTXVRY846RN6Y/die-lieferung-von-luft-wasser-waermepumpen-und-zubehoer) Offen · Auftraggeber: Stadtwerke München GmbH · Ort: DE212 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f0350d63-69ba-44a6-80a1-b1ca8a53cb15), Zuletzt geprüft am 09.11.2026, 03:31 Uhr (UTC+01:00) - [ARA + ABA MPAL Mü. Pasing-Langwied - 545](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_D7C0FBC902N297E9X80WRE61Y9/ara-aba-mpal-mue-pasing-langwied-545) Offen · Auftraggeber: DB Regio AG (Bukr 12) · Ort: DE212 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ebb55c5c-43b9-4133-a2c6-6f8e500f4a37), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 23:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98) - Zuletzt geprüft: 10\. November 2026, 09:30 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_E2NDDFE58NPA9V0BX88M8EA84D/glas-and-metal-etch-emft-01-2-emft-01-6-pr1074784-2270-p Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.