# Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P Offen · Ausschreibung ## Auf einen Blick Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) in Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) ## Eckdaten - Status: Offen - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forsc), München, DE - Leistungsort: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) - Haupt-CPV: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 4\. November 2026, 12:47 Uhr (UTC+01:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 6. November 2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/ntv_H7RX064MCSX5TGTJ6E4QK1MJVH/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0000: Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P 1x Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Critical-Dimension-Strukturen (CD), Schichtdicken und Cu-Dishing auf 300-mm- und 200-mm-Wafern. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte, zerstörungsfreie Messung kleinerer Strukturgrößen und der Oberflächentopografie. Das Messgerät ist unverzichtbar für die Prozesskontrolle bei der Herstellung fortschrittlicher Gehäuse und Verbindungen, einschließlich der Charakterisierung von Cu-Strukturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich nach dem CMP-Prozess in hochintegrierten, auf Chiplets basierenden 2,5D/3D- und quasi-monolithischen Gehäusearchitekturen. Das Gerät ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine starke Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Als Wafer-Substrate kommen Silizium und/oder Glas mit Dicken von bis zu 2,5 mm zum Einsatz. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: \- Laden der vorgesehenen Wafer aus den FOUPs \- Ausführen der Messaufgaben \- Zurückbringen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUPs Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen in Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird vorausgesetzt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Anlage mit allen unten beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen erbringen kann. - CPV: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Ort: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) ## Verlauf - 4\. November 2026, 12:47 Uhr (UTC+01:00): Erstbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6) - 4\. November 2026, 12:47 Uhr (UTC+01:00): Änderung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/771051-2026) ## Einordnung - CPV-Codes: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - NUTS-Regionen: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) ## Amtliche Unterlagen - [vergabe.fraunhofer.de](https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1a15db67cb1-61d408c4190e42e0) ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6) ## Unternehmen, die passen könnten *Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben* Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen. - [Elektrotechnik Homeier GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_1Z9QXSSHTB2FBVG6BPC260BGET/elektrotechnik-homeier-gmbh) · Alteglofsheim · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 317 (2026-10-26): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_TDZ2PBDXARFF11B3X8QZZKPSS4/verlege-und-verdrahtungsarbeiten-sowie-liefe-rung-und-montage-von-netzwerktechni), geprüft am 06.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_1Z9QXSSHTB2FBVG6BPC260BGET), geprüft am 06.11.2026 - [TRICERA energy GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZHGDX7KW26H9RXJFQBEWRPYPDX/tricera-energy-gmbh) · Bobritzsch-Hilbersdorf · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 314 (2026-11-03): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_WDFQK1QTWJC88S74X04JENYH9Y/batteriespeicher-fieseler-stiftung), geprüft am 06.11.2026 - Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZHGDX7KW26H9RXJFQBEWRPYPDX), geprüft am 06.11.2026 - [SAB GmbH Steuerungs- und Anlagenbau](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_N6YB01CM9PDBXH5T3BXEQYWQHA/sab-gmbh-steuerungs-und-anlagenbau) · Nufringen · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 312 (2026-10-16): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_3NR8Y453N6RZKQY9KTWZFTDCDS/herstellung-und-lieferung-der-niederspannungschaltschraenke-25-stueck-einspeises), geprüft am 06.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_N6YB01CM9PDBXH5T3BXEQYWQHA), geprüft am 06.11.2026 - [Bauer Elektroanlagen GmbH Frankfurt](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_2XYA3V0F19JHW1FPJQBQ2Y3T57/bauer-elektroanlagen-gmbh-frankfurt) · Neu Isenburg · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 315 (2026-11-03): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_GAM8FZMYV0JMG5CH3Y4N9WE30T/kreis-gross-gerau-sanierung-der-hallenbeleuchtung-sporthalle-martin-buber-schule), geprüft am 06.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_2XYA3V0F19JHW1FPJQBQ2Y3T57), geprüft am 06.11.2026 - [Nextorch Deutschland GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_77SZ25QQRMHVEM183ZP3KGNHYZ/nextorch-deutschland-gmbh) · Heiligenhaus · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 315 (2026-10-26): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_JTPXPHARQ7NHP7CHH237KEBCDX/taschenlampe-mit-zwei-verschiedenen-holstern-fuer-die-polizei-baden-wuerttemberg), geprüft am 06.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_77SZ25QQRMHVEM183ZP3KGNHYZ), geprüft am 06.11.2026 ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [Business-Notebook Rahmenvereinbarung - PR1248160-9782-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_ES0DQBDA8JQNB07SHSGCWN6ZP5/business-notebook-rahmenvereinbarung-pr1248160-9782-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 23\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f995efc-c143-4a44-9d57-3ffcbc9e7f38), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) - [Stromversorgungsanlagen 70-\[…\]a - PR1313999-2780-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RSJG6R3RQCS4TPWM960PTJQDE4/stromversorgungsanlagen-70-00002-2780-407a-pr1313999-2780-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Frist: 15\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/992730e1-e05a-4380-a6e0-63e782de27c2), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SFNY4GY6RXPVF3MQCFKCWYT783/high-temperature-200-mm-ion-implanter-pr1293607-2790-w) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE252 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/efb6064f-4833-426e-9b6a-1ef558dbbd82), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00) - [3rd party PCIe IP - PR1300395-2440-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NR31F1ZGN4C7RDXXVTM95NNC0R/3rd-party-pcie-ip-pr1300395-2440-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/282a3247-9943-4838-951b-f9fcdd4f3332), Zuletzt geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00) - [Photonic Test Head\_ENAS\_14.1\_Los3,5,6 - PR1300818-2050-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_WKQJMG1C4E5P4J2K40CZ25HWTS/photonic-test-head-enas-14-1-los3-5-6-pr1300818-2050-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Frist: 04\.12.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/e8a77988-db26-4599-a0b6-aab2708bdcd0), Zuletzt geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - 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MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/2cc34829-5103-4c65-88bb-4fc07514f139), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 13:10 Uhr (UTC+01:00) - [Errichtung einer intelligenten Energie- und Ladeinfrastruktur für den Busbetrieb Geißler Reisen eGbR](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_EN9QZY2CGM631R5AVF31M1FP1Z/errichtung-einer-intelligenten-energie-und-ladeinfrastruktur-fuer-den-busbetrieb) Offen · Auftraggeber: Busbetrieb Geißler Reisen eGbR · Ort: DED53 (Sachsen) · Frist: 17\.11.2026, 13:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/01a12eec-eca3-4019-95bf-b5a298fbd315), Zuletzt geprüft am 27.10.2026, 02:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6) - Zuletzt geprüft: 6\. November 2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1 Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.