# Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie Offen · Ausschreibung ## Auf einen Blick Westsächsische Hochschule Zwickau schreibt Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen (CPV 42940000) in Zwickau (DED45) aus. Die Bekanntmachung nennt als Frist den 26. November 2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00). Verfahrensart: Offenes Verfahren. ## Eckdaten - Status: Offen - Frist: 26\. November 2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) (in 19 Tagen) - Auftraggeber: Westsächsische Hochschule Zwickau, Zwickau, DE - Leistungsort: Zwickau (DED45) - Haupt-CPV: Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen (CPV 42940000) - Verfahrensart: Offenes Verfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 21\. Oktober 2026, 08:45 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 26. Oktober 2026, 15:28 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie – Westsächsische Hochschule Zwickau, Frist 26. November 2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00). Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_G4EEWPH2PRTCP6HHEM4JPWADQW/ntv_57V82JS5FG483215V5N0JWCS89/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0001: Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie 1 STK Hochtemperaturanlage mit 8 Prozessstationen / Rohren mit Beladeeinrichtungen für Hochtemperatur- und LP-CVD Prozesse, vorwiegend für monokristalline Siliziumwafer. - Footprint der Gesamtanlage nicht größer als 400cm x 600cm x 295cm (L x B x H). - Besteht das Gesamtsystem aus mehreren Einzelanlagen / Teilen müssen alle Anlagen innerhalb des angegebenen Footprints aufgestellt werden können. - Vom angegebenen Footprint ausgenommen sind ausschließlich eine etwaige Bedienkonsole, diese darf separat auf einem max. 180cmx80cm messenden Tisch untergebracht werden und die Vakuum-Pumpen, welche innerhalb eines Service-Bereichs untergebracht werden dürfen. - Bei zwei gekoppelten Einzelanlagen: ist eine an der Rückwand gespiegelte Konfiguration (eine Anlage mit Beladestationen rechts, eine Anlage mit Beladestationen links) vorzusehen - Alle 8 Prozessstationen sind auf die parallele Bearbeitung von mindestens 13 Stück Wafer pro Prozess auszulegen. - Die verarbeitbaren Durchmesser der Wafer sind mindestens: o 150mm und o 100mm - Die Prozessstationen sind als horizontal angeordnete Prozessrohre mit jeweils einem Quarz- oder SiC-Rohr und jeweils einer automatischen/motorisierten Beladestation vorzusehen. - Der Ausleger (Paddle) zur Beladung ist aus Siliciumcarbid auszuführen. - Die Beladestation(en) sind mit Luftfiltereinheit(en) mit laminarer Luftströmung vorzusehen. - Jede Prozessstation ist mit jeweils mindestens 3 Temperaturregelzonen pro Prozessrohr auszuführen. - Jedes LP - CVD Prozessrohr ist mit einem integrierten Leckratetest / Druckverlustprofiling zu realisieren. - Innerhalb der Bearbeitungszone der min. 13 Prozesswafer (Flat-Zone) ist im Prozess eine Temperaturabweichung vom Sollwert von höchstens +/-1 K und eine Soll-Temperaturabweichung von Run zu Run höchstens +/-1 K zu erzielen. - Mindestens ein geeignetes Thermoelement pro Temperaturregelzone zur Prozessüberwachung und -regelung muss vorhanden sein. - Mindestens ein geeignetes Thermoelement pro Temperaturregelzone als Ausfallsicherung muss vorhanden sein. - Mindestens ein Profilthermoelement pro Prozessstation - Geeignete Messeinrichtungen zur Anlagenüberwachung und Steuerung in Bezug die technische Sicherheit (z.B. Übertemperaturabschaltung, Abluftausfall, Kühlwasserausfall, Gasversorgungsausfall, redundante Interlocks...) müssen vorhanden sein. - In den Gaskabinetten ist eine Prozessgaszuführung und -verteilung, Prozessgassteuerung und -überwachung nach Stand der Technik, abgestimmt auf die Eigenschaften der für die Prozessstationen spezifizierten Prozessgase und Flüssigkeiten zu realisieren. - Absaugung / Scavenger an der Prozessstation - Anlagensteuerung(en) mit Monitor und Benutzerschnittstelle, spätestens nach Ablauf der Garantie müssen alle Benutzer- und Servicelevel für die WHZ zugänglich dauerhaft sein werden - mehrere Prozessstationen können in einer Steuerung/Benutzerschnittstelle zusammengefasst werden - Bei Störung muss die Anlage selbsttätig in einen sicheren Zustand übergehen, wenn dazu eine unterbrechungsfreie Stromversorgung notwendig ist, ist diese mit zu inkludieren. - Maschinen Not-Aus Schalter, gesichert gegen Wiederanschalten - CE Zertifikat und CE Kennzeichnung für Gesamtanlage - Einhaltung der EU-Maschinenrichtlinie (2006/42/EC / oder 2023/1230, je nach Auslieferungsdatum), wo anwendbar - Vollständige Anlagendokumentation. 1 STK Prozessstation, Oxidation, n-Typ-Substrate - Dauerprozesstemperatur mindestens 1050°C - Quarz oder SiC Prozessrohr - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Wasserstoff, Sauerstoff, Dichlorethylen mit N2 Trägergas - Wasserstoff/Sauerstoff-Verbrenner zur Erzeugung von H2O und Injektion in den Ofen ("External Torch"), Überwachung und Sicherheitseinrichtungen nach Stand der Technik - Automatisiert, über die Anlage angesteuerter Bubbler mit Temperierung für 1,2-Dichlorethylen, 1500mL "Fuji"- kompatibel oder mitgelieferter Quarzbubbler. - Quartz Baffle / Diffusor, falls zur Erreichung der von Lieferer zu spezifizierenden Homogenität nötig 1 STK Prozessstation, Oxidation, p-Typ Substrate - Dauerprozesstemperatur mindestens 1050°C - Quarz oder SiC Prozessrohr - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Wasserstoff, Sauerstoff, Dichlorethylen mit N2 Trägergas - Wasserstoff/Sauerstoff-Verbrenner zur Erzeugung von H2O und Injektion in den Ofen ("External Torch"), Überwachung und Sicherheitseinrichtungen nach Stand der Technik - Automatisiert, über die Anlage angesteuerter Bubbler mit Temperierung für 1,2-Dichlorethylen, 1500mL "Fuji"- kompatibel oder mitgelieferter Quarzbubbler. - Quartz Baffle / Diffusor, falls zur Erreichung der von Lieferer zu spezifizierenden Homogenität nötig 1 STK Prozessstation, n-Dotierung - Prozesstemperatur mindestens 1000°C - Quarz oder SiC Prozessrohr, Phosphoroxychlorid Injektor und kompatibler Abgasstrang - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Sauerstoff und Phosphoroxychlorid mit N2 Trägergas - Bubbler für Phosphoroxychlorid, 1500mL "Fuji"- kompatibel oder mitgelieferter Quarzbubbler. - Baffle für Phosphoroxychlorid, dieser kann in Tür integriert sein, falls zur Erreichung der von Lieferer zu spezifizierenden Homogenität nötig - Separate Abgasführung mit Abscheider/Kondensor für Phosphorsäure 1 STK Prozessstation, p-Dotierung - Prozesstemperatur mindestens 1050°C - Quarz oder SiC Prozessrohr - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Sauerstoff, BBr3 mit N2 als Trägergas - BBr3 Injektor und kompatibler Abgasstrang - Bubbler für BBr3, 1500mL "Fuji"- kompatibel oder mitgelieferter Quarzbubbler. - Baffle für BBr3, falls zur Erreichung der von Lieferer zu spezifizierenden Homogenität nötig 1 STK Prozessstation, Oxidation - Dauerprozesstemperatur mindestens 1050°C - Quarz oder SiC Prozessrohr - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Wasserstoff, Sauerstoff, Dichlorethylen mit N2 Trägergas - CPV: Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen (CPV 42940000), Industrielle Maschinen (CPV 42000000), Öfen und Zubehör (CPV 42942000) - Ort: Zwickau (DED45) - Frist: 26\. November 2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) ## Verlauf - 21\. Oktober 2026, 08:45 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997) ## Einordnung - CPV-Codes: Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen (CPV 42940000); Industrielle Maschinen (CPV 42000000); Öfen und Zubehör (CPV 42942000) - NUTS-Regionen: Zwickau (DED45) ## Amtliche Unterlagen - [www.dtvp.de](https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4D4ZMW2D/documents) ## Fragen und Antworten ### Wann endet die Frist? Die amtliche Bekanntmachung nennt als Frist den 26. November 2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00). ### Wer ist der Auftraggeber? Westsächsische Hochschule Zwickau, Zwickau, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Maschinen für die Wärmebehandlung von Stoffen (CPV 42940000), Industrielle Maschinen (CPV 42000000) und Öfen und Zubehör (CPV 42942000). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Zwickau (DED45). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Offenes Verfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997) ## Unternehmen, die passen könnten *Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben* Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen. - [LLT Applikation GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_36RC41CZGXHPYAXC2FJ1ZKWHDC/llt-applikation-gmbh) · Ilmenau · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 420 (2026-09-30): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_Y3E6T61YWXMEDKZRMXJ25DXNEJ/cnc-laseranlage), geprüft am 04.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_36RC41CZGXHPYAXC2FJ1ZKWHDC), geprüft am 04.11.2026 - [ClassOne Technology GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_8FMERV4KDYCF2TDGJSQHMWQ3EH/classone-technology-gmbh) · Jettingen Scheppach · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-10-26): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_HSAYKW2RGRBA8YHKHVXNM2SS1M/apecs-04-1-extension-of-galvanic-equipment), geprüft am 04.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_8FMERV4KDYCF2TDGJSQHMWQ3EH), geprüft am 04.11.2026 - [Gesa Consulting Gesellschaft für - EMV-Technik mbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_TTHCPX81JV31X8M2ZFCYPFYP3D/gesa-consulting-gesellschaft-fuer-emv-technik-mbh) · Tauberbischofsheim · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 421 (2026-10-23): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_H9RE19HGTAXAB96KZN8Y4XEJCE/lieferung-netzqualitaetsueberwachungsschraenke-fuer-vier-umrichterwerke), geprüft am 04.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_TTHCPX81JV31X8M2ZFCYPFYP3D), geprüft am 04.11.2026 - [Carl Beutlhauser Fördertechnik GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_EFTH0SYSC1EDWTNVTHJVWT0Q9R/carl-beutlhauser-foerdertechnik-gmbh) · Dresden · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 424 (2026-10-27): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_3X1V49E05TEZH1FJ0BTKKXNPHW/mobile-3-achsen-manipulatoren), geprüft am 04.11.2026 - Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_EFTH0SYSC1EDWTNVTHJVWT0Q9R), geprüft am 04.11.2026 - [ETeGO GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_A52VD6ZS17F0C559TK9MM5B8BQ/etego-gmbh) · Mosbach · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 425 (2026-09-22): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_VDWG1AZJZ9Y65JZNG8MJD4QMFN/originalersatzteile-klima-div-br-mit-moeglicher-second-source), geprüft am 04.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_A52VD6ZS17F0C559TK9MM5B8BQ), geprüft am 04.11.2026 ## Ähnliche Ausschreibungen - [Wafer Burn In Test (ENAS-11.1.3) - PR1212932-3340-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_AM3RWN8VMECVMA5A2NA1R0X69W/wafer-burn-in-test-enas-11-1-3-pr1212932-3340-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED41 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/6081c666-94a8-4cc1-aeb2-7ad400e551a3), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 22:30 Uhr (UTC+01:00) - [5-Achs-Bearbeitungszentrum - PR1289077-2720-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_Z70P74AS9VDNAZ59CHJ4047YDS/5-achs-bearbeitungszentrum-pr1289077-2720-w) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 · Ort: DED41 (Sachsen) · Frist: 12\.11.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/4c504a06-46cd-45e0-8548-d7f35a6506ba), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 12:30 Uhr (UTC+01:00) - [Instandsetzung von 2 Lastenaufzügen und 1 Personenaufzug](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_PCMCVH0AF2DTBXFPXP5GM56ZF4/instandsetzung-von-2-lastenaufzuegen-und-1-personenaufzug) Offen · Ort: DED (Sachsen) · Frist: 30\.11.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/e840b26bb157fdbc), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 05:30 Uhr (UTC+01:00) - [ÖPNV Modellstadt Görlitz – Gestaltung klimapositiver Betriebshof; 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Oktober 2026, 15:28 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_G4EEWPH2PRTCP6HHEM4JPWADQW/hochtemperatur-lp-cvd-system-fuer-mikrosystemtechnik-und-nanotechnologie Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.