# ALD-Anlage Vergeben · Ausschreibung **Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.** Ähnliche offene Ausschreibungen: - [Lieferung OPO-Laser](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_8W39ZPKM8R1C5VJ22G5EGFQM7F/lieferung-opo-laser) - [Waferprober zur Prüfung photonischer integrierter Schaltungen](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_BGNR9NKRMV78WJPMCBG2F62Q8Q/waferprober-zur-pruefung-photonischer-integrierter-schaltungen) - [Single Photon Detection System - PR1289404-2660-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RHT9TSM16R81KF5FY94YDCG0SK/single-photon-detection-system-pr1289404-2660-w) - [SQUID-Magnetometer mit geschlossenem He-Kreislauf](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_8BF3QHQZVPZ6DQMZHVJW0JPS4N/squid-magnetometer-mit-geschlossenem-he-kreislauf) - [Generalplanung Umbau Zentrale Experimentelle Tierhaltung (ZET)](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_7JZX7XNAHZAFFME8HQWPDH55TD/generalplanung-umbau-zentrale-experimentelle-tierhaltung-zet) ## Auf einen Blick Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) in Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Die Bekanntmachung nennt einen geschätzten Wert von 461.344 € zzgl. MwSt. Verfahrensart: Offenes Verfahren. ### Aus der Bekanntmachung Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern. ## Eckdaten - Status: Vergeben - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Veröffentlichter Wert: 461\.344 € zzgl. MwSt. - Auftraggeber: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_0HFYT9YHVGXFE72VX0DWXSXMRV/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-e-v), Jena, DE - Leistungsort: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03) - Haupt-CPV: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) - Verfahrensart: Offenes Verfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 7\. August 2026, 10:26 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 9. November 2026, 09:31 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: ALD-Anlage – Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_KA5321Z1T98PR042K67852JQW8/ntv_8MB9ZY0TDB7PQ3K1T78R64FVZC/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0001: ALD-Anlage Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern. - CPV: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) - Ort: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03) ## Verlauf - 7\. August 2026, 10:26 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/11190d9e-cf9a-419d-abd9-2a968ad46363) - 25\. August 2026, 09:17 Uhr (UTC+02:00): Änderung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/3e3d3348-95e9-412e-abbd-3eac3f140c72) - 21\. September 2026, 08:41 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d) - 18\. September 2026: Zuschlag. Zuschlag an: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH; Auftragswert: 456\.249 € zzgl. MwSt.; Eingegangene Angebote: 5 ## Einordnung - CPV-Codes: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) - NUTS-Regionen: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03) - Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH (Bieter); SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH (Zuschlag) ## Amtliche Unterlagen - [www.dtvp.de](https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ/documents) ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Jena, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03). ### Wie hoch ist der geschätzte Wert? Die Bekanntmachung nennt einen geschätzten Wert von 461.344 € zzgl. MwSt. ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Offenes Verfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRS](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_D8HKSW65M7S67W9H6WP974EVPN/interferometrisch-ueberwachtes-tm-hochleistungslasersystem-fuer-ir-frs) Vergeben · Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Ort: DEG03 (Thüringen) · Veröffentlichter Wert: 462\.060 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/df880d2e-1409-4e5d-813e-f1a52c6fb325), Zuletzt geprüft am 09.11.2026, 03:31 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [Lieferung OPO-Laser](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_8W39ZPKM8R1C5VJ22G5EGFQM7F/lieferung-opo-laser) Offen · Auftraggeber: Institut für Bioprozess- und Analysenmesstechnik e.V. · Ort: DEG06 (Thüringen) · Frist: 09\.12.2026, 18:00 Uhr (UTC+01:00) · Veröffentlichter Wert: 250\.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/774637-2026), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Waferprober zur Prüfung photonischer integrierter Schaltungen](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_BGNR9NKRMV78WJPMCBG2F62Q8Q/waferprober-zur-pruefung-photonischer-integrierter-schaltungen) Offen · Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena · Ort: DEG03 (Thüringen) · Frist: 30\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f215606f-4dba-44be-a626-b86fdc79c264), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 14:10 Uhr (UTC+01:00) - [Single Photon Detection System - PR1289404-2660-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RHT9TSM16R81KF5FY94YDCG0SK/single-photon-detection-system-pr1289404-2660-w) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 · Ort: DEG03 (Thüringen) · Frist: 30\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b6c62363-cf47-4d9a-bae3-02713e22ccb1), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 15:10 Uhr (UTC+01:00) - [SQUID-Magnetometer mit geschlossenem He-Kreislauf](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_8BF3QHQZVPZ6DQMZHVJW0JPS4N/squid-magnetometer-mit-geschlossenem-he-kreislauf) Offen · Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena · Ort: DEG03 (Thüringen) · Frist: 18\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/97c7f8b4-01db-4bbc-9444-fe9edd2350fa), Zuletzt geprüft am 27.10.2026, 06:30 Uhr (UTC+01:00) - [Generalplanung Umbau Zentrale Experimentelle Tierhaltung (ZET)](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_7JZX7XNAHZAFFME8HQWPDH55TD/generalplanung-umbau-zentrale-experimentelle-tierhaltung-zet) Offen · Auftraggeber: Universitätsklinikum Jena · Ort: DEG03 (Thüringen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/63053928-23cf-49ff-9137-915624486266), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 00:30 Uhr (UTC+01:00) - [Korngrößenanalysegeräte](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_GP6797DQEVH1HWJB1BXREZZA8P/korngroessenanalysegeraete) Offen · Ort: DE4 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/3d51de67f59bb099), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 00:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d) - Zuletzt geprüft: 9\. November 2026, 09:31 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_KA5321Z1T98PR042K67852JQW8/ald-anlage Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.