# 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P Vergeben · Ausschreibung **Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.** Ähnliche offene Ausschreibungen: - [Umbau Lessing-Museum Kamenz 54/2026/rem, Los 60 Beleuchtung](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_4ZNKJ96MRWTWEDQV9A69AP94QQ/umbau-lessing-museum-kamenz-54-2026-rem-los-60-beleuchtung) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) - [Kauf von mobilen Stromerzeugern für die humanitäre Unterstützung der Ukraine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X34SZRZERQY4YE6W3WCE4RH60H/kauf-von-mobilen-stromerzeugern-fuer-die-humanitaere-unterstuetzung-der-ukraine) - [Maengelabstellung Brandmeldeanlage BSZ Pirna - Elektroinstallation](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NTYQEJMYMTR9WKKDPQ96EWY5HV/maengelabstellung-brandmeldeanlage-bsz-pirna-elektroinstallation) - [Automated 300 mm Die-to-Wafer thermocompression bonding tool - PR1275392-3460-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_6ZG2BKN2M89RH1HH76GDYB9A9T/automated-300-mm-die-to-wafer-thermocompression-bonding-tool-pr1275392-3460-w) ## Auf einen Blick Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) in Meißen (DED2E) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) ## Eckdaten - Status: Vergeben - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forsc), München, DE - Leistungsort: Meißen (DED2E) - Haupt-CPV: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 30\. Oktober 2026, 15:05 Uhr (UTC+01:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/70fe6af7-7f2b-4dd2-ad55-347eddb3ec33). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 4. November 2026, 12:10 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_KBXQ8WE7SFWBTGXRZK37BJQDNX/ntv_JH1ANRPPBA6TZF3RWC8M5FWRWE/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0000: 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P 1 Stück: 300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) Ein 300-mm-i-Line-Belichtungssystem mit großem Bildfeld, das die Verbindung zwischen der FEOL-Lithografie und der Backend-Lithografie herstellt und auf die Herstellung von ultra-hochdichten BEOL-Strukturen im Sub-µm-Bereich abzielt, wie z. B. Verdrahtungen und Verbindungen auf der Vorder- und Rückseite für 2,5D/3D-QMI- und Chiplet-Integration. Mit dieser Anlage lassen sich ultrahochdichte BEOL-ähnliche Verdrahtungen auf großflächigen, Chiplet-basierten 2,5D/3D-Wafer-Level-Systemen und quasi-monolithischen integrierten Gehäusearchitekturen realisieren. Sie ermöglicht Integrationsdichten auf dem neuesten Stand der Technik. Das i-Line-Belichtungssystem mit großem Feld bildet die Verbindung zwischen FEOL-Lithografie und Backend-Lithografie durch eine Optik mit mittlerer numerischer Apertur (NA), größtmöglicher Feldgröße und variabler Schärfentiefe. Es zielt auf Auflösungen von deutlich unter <800 nm L/S ab, um den Weg für Auflösungen bis hinunter zu 500 nm L/S mit einer Overlay-Genauigkeit von <100 nm zu ebnen. Es verfügt über die Fähigkeit zur Front- und Back-Ausrichtung zur Realisierung von 3D-Systemen, zur Steuerung des Belichtungsfokus sowie über eine variable Schärfentiefe für die Anwendung von dickem Resist im Bereich der Redistribution-Verdrahtung und µ-Interconnects. Optionale Features: \- Extremer Verformungs- und Durchbiegungsbereich >1500 .. 2500 µm (LV-Pos.1.24) IR-basierte Ausrichtung auf der Rückseite (Reflexionsmodus) mit einer Überlappung von ≤500 nm (3 Sigma), unerlässlich für Through-Silicon-Vias (TSVs) und gestapelte Wafer-Anwendungen (LV-Pos.1.81) \- Vorausrichtung Korrektur von Mitten- und Rotationsfehlern bei Verschiebungen der Ausrichtungsmarken auf gestapelten Wafern (Si/Si) und (Glas/Si), um Verschiebungen beim Wafer-Bonding auszugleichen, was eine Ausrichtung innerhalb des erforderlichen Sichtfelds des Belichtungsgeräts ermöglicht (bitte Lösung erläutern) (LV-Pos.1.85) \- Einzigartiges musterbasiertes Erkennungssystem (entweder diffraktionsbasiert oder bildbasiert), um flexible Ausrichtungsmarken für die Ausrichtung zu ermöglichen (kann Cognex-Mustererkennung oder ähnliches sein) (LV-Pos.1.87) \- Integrationsschema / Option für Grob- und Feinausrichtung (z. B. Grobausrichtung mit Mustererkennung zum Ausgleich von Verschiebungen beim Wafer-Bonding, Feinausrichtung mit diffraktionsbasierter Ausrichtungsmarke) (LV-Pos.1.88) \- Suche nach Grobausrichtungsmarken im Sichtfeld (z. B. FoV 1500 x 1200 µm), um einen Suchbereich von mehreren Millimetern zu ermöglichen; eine Korrektur mithilfe einer Vorausrichtungsstufe kann ebenfalls eine Option sein --> bitte Lösung erläutern (LV-Pos.1.89) - CPV: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Ort: Meißen (DED2E) ## Verlauf - 30\. Oktober 2026, 15:05 Uhr (UTC+01:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/70fe6af7-7f2b-4dd2-ad55-347eddb3ec33) - 30\. Oktober 2026, 15:05 Uhr (UTC+01:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/762595-2026) - 30\. Oktober 2026: Zuschlag. Zuschlag an: ASML Germany GmbH; Eingegangene Angebote: 1 ## Einordnung - CPV-Codes: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - NUTS-Regionen: Meißen (DED2E) - Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: ASML Germany GmbH (Bieter); ASML Germany GmbH (Zuschlag) ## Amtliche Unterlagen In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden. ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Meißen (DED2E). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/70fe6af7-7f2b-4dd2-ad55-347eddb3ec33) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/70fe6af7-7f2b-4dd2-ad55-347eddb3ec33) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [multidisziplinäre Zitations- und Analysedatenbank - PR1273173-9789-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0VPFJ8ZCVZGY3R7TPC96WK01Y6/multidisziplinaere-zitations-und-analysedatenbank-pr1273173-9789-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 11\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/773072-2026), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Business-Notebook Rahmenvereinbarung - PR1248160-9782-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_ES0DQBDA8JQNB07SHSGCWN6ZP5/business-notebook-rahmenvereinbarung-pr1248160-9782-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 23\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f995efc-c143-4a44-9d57-3ffcbc9e7f38), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Stromversorgungsanlagen 70-\[…\]a - PR1313999-2780-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RSJG6R3RQCS4TPWM960PTJQDE4/stromversorgungsanlagen-70-00002-2780-407a-pr1313999-2780-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Frist: 15\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/992730e1-e05a-4380-a6e0-63e782de27c2), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SFNY4GY6RXPVF3MQCFKCWYT783/high-temperature-200-mm-ion-implanter-pr1293607-2790-w) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE252 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/efb6064f-4833-426e-9b6a-1ef558dbbd82), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [Umbau Lessing-Museum Kamenz 54/2026/rem, Los 60 Beleuchtung](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_4ZNKJ96MRWTWEDQV9A69AP94QQ/umbau-lessing-museum-kamenz-54-2026-rem-los-60-beleuchtung) Offen · Ort: DED (Sachsen) · Frist: 09\.11.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a93c09fd19e13e5a), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 17:31 Uhr (UTC+01:00) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Kauf von mobilen Stromerzeugern für die humanitäre Unterstützung der Ukraine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X34SZRZERQY4YE6W3WCE4RH60H/kauf-von-mobilen-stromerzeugern-fuer-die-humanitaere-unterstuetzung-der-ukraine) Offen · Auftraggeber: Stadt Leipzig · Ort: DED51 (Sachsen) · Frist: 19\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/318e8f85-018e-489b-9c10-c47431987914), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Maengelabstellung Brandmeldeanlage BSZ Pirna - Elektroinstallation](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NTYQEJMYMTR9WKKDPQ96EWY5HV/maengelabstellung-brandmeldeanlage-bsz-pirna-elektroinstallation) Offen · Ort: DED (Sachsen) · Frist: 24\.11.2026, 08:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/1f0acc9717054b50), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 05:30 Uhr (UTC+01:00) - [Automated 300 mm Die-to-Wafer thermocompression bonding tool - PR1275392-3460-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_6ZG2BKN2M89RH1HH76GDYB9A9T/automated-300-mm-die-to-wafer-thermocompression-bonding-tool-pr1275392-3460-w) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8d7a78c9-a7a5-4945-b3c6-9061c78ff3a0), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 13:10 Uhr (UTC+01:00) - [Projektierung, Lieferung und Errichtung eines Batteriespeichersystems (BESS)](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NZM1EXDEAZEXBMQPRETB07JCNG/projektierung-lieferung-und-errichtung-eines-batteriespeichersystems-bess) Offen · Auftraggeber: Stadtwerke Schneeberg GmbH · Ort: DED42 (Sachsen) · Frist: 30\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · Veröffentlichter Wert: 1\.900.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/2cc34829-5103-4c65-88bb-4fc07514f139), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 13:10 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/70fe6af7-7f2b-4dd2-ad55-347eddb3ec33](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/70fe6af7-7f2b-4dd2-ad55-347eddb3ec33) - Zuletzt geprüft: 4\. November 2026, 12:10 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_KBXQ8WE7SFWBTGXRZK37BJQDNX/300-mm-beol-large-field-exposure-system-fully-automated-izm-132-pr1184859-3460-p Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. 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