# 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P Vergeben · Ausschreibung **Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.** Ähnliche offene Ausschreibungen: - [Stromerzeugeraggregate (SEA) 5 kW](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_8R97KQPK871Q2CDP64XPDWQ1W1/stromerzeugeraggregate-sea-5-kw) - [Ausstattung Elektrofachkabinette des BSZ - Julius Weisbach - in Freiberg](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_544DC0QJXAS9A7E98PKCSXZHM8/ausstattung-elektrofachkabinette-des-bsz-julius-weisbach-in-freiberg) - [Lieferung 5.280 m N2XS(FL)2 Y 1x630/35 mm² 6/10 kV](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_YKT08JKBQBP6ZJ667Z0C4VAS40/lieferung-5-280-m-n2xs-fl-2-y-1x630-35-mm-6-10-kv) - [Kauf von mobilen Stromerzeugern für die humanitäre Unterstützung der Ukraine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X34SZRZERQY4YE6W3WCE4RH60H/kauf-von-mobilen-stromerzeugern-fuer-die-humanitaere-unterstuetzung-der-ukraine) - [Projektierung, Lieferung und Errichtung eines Batteriespeichersystems (BESS)](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NZM1EXDEAZEXBMQPRETB07JCNG/projektierung-lieferung-und-errichtung-eines-batteriespeichersystems-bess) ## Auf einen Blick Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) in Meißen (DED2E) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) ## Eckdaten - Status: Vergeben - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forsc), München, DE - Leistungsort: Meißen (DED2E) - Haupt-CPV: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 6\. Juli 2026, 15:26 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 10. November 2026, 18:30 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_PQPMQ14J2MG06S598H4VFV45GY/ntv_3734FDBR6VCPWXFG8M0BSB5JVQ/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0000: 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P 1 Stück: 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Overlay- und Critical-Dimension-Strukturen (CD) auf 300-mm- und 200-mm-Wafern, die mittels Laser-Direct-Imaging (LDI) und i-Line-Lithografie hergestellt wurden. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte Erfassung kleinerer Strukturgrößen. Das Gerät ist unverzichtbar für die zerstörungsfreie Charakterisierung hochintegrierter, auf Chiplets basierender 2,5D/3D- und quasi-monolithischer Gehäusearchitekturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich. Die Anlage ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine hohe Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Die Wafer-Substrate bestehen aus Silizium und/oder Glas mit einer Dicke von bis zu 2,5 mm. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: \- Laden bestimmter Wafer aus den FOUPs \- Durchführung von Messaufgaben \- Zurücklegen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUP(s) Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen von Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird verlangt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Ausrüstung mit allen nachstehend beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen erfüllt. - CPV: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Ort: Meißen (DED2E) ## Verlauf - 6\. Juli 2026, 15:26 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83) - 6\. Juli 2026: Zuschlag. Zuschlag an: MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH; Eingegangene Angebote: 1 ## Einordnung - CPV-Codes: Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - NUTS-Regionen: Meißen (DED2E) - Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH (Bieter); MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH (Zuschlag) ## Amtliche Unterlagen In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden. ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Meißen (DED2E). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [Baustelleneinrichtung 70-\[…\] - PR1328848-2260-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_P022HMCJFD262SDB8GA1J2EJE7/baustelleneinrichtung-70-00251-2260-302-pr1328848-2260-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DE122 (Baden-Württemberg) · Frist: 17\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5b64032f-0802-4c68-9d85-995276cbd586), Zuletzt geprüft am 13.11.2026, 10:05 Uhr (UTC+01:00) - [Elektroinstallation 70-\[…\] - PR1260805-3140-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F84T75FHVW9RPGY6119247NVVM/elektroinstallation-70-00241-3140-451-pr1260805-3140-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DEA2D (Nordrhein-Westfalen) · Frist: 19\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/05f6e4ab-0d46-4132-9ed9-048a20850cf6), Zuletzt geprüft am 13.11.2026, 10:05 Uhr (UTC+01:00) - [Krananlage 70-\[…\] - PR1316824 -2780-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_8NX1676XMGYBVZAXP5K19653W7/krananlage-70-00002-2780-410-pr1316824-2780-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Frist: 14\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9815656f-1f48-47c5-9421-6d854c5f5af6), Zuletzt geprüft am 13.11.2026, 10:05 Uhr (UTC+01:00) - [Lüftung und PFO 70-\[…\] - PR1331253-3460-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_FT5HEV64MWWCZJJYCD2PMX2GPQ/lueftung-und-pfo-70-00321-3460-430-pr1331253-3460-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DED21 (Sachsen) · Frist: 15\.12.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8296933b-bc11-4e1b-b7a2-2fef4eae4c96), Zuletzt geprüft am 13.11.2026, 10:05 Uhr (UTC+01:00) - [Außenanlagen 70-\[…\] - PR1326029-2880-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_VRFAGZK0S55DWY85X8FR0SEZT8/aussenanlagen-70-00001-2880-79-pr1326029-2880-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DEB32 (Rheinland-Pfalz) · Frist: 17\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/782163-2026), Zuletzt geprüft am 12.11.2026, 01:30 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [Stromerzeugeraggregate (SEA) 5 kW](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_8R97KQPK871Q2CDP64XPDWQ1W1/stromerzeugeraggregate-sea-5-kw) Offen · Auftraggeber: Bundesamt für Ausrüstung, Informationstechnik und Nutzung der Bundeswehr · Ort: DED2E (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a2b7d8de-3202-494b-bc07-f7a1600ba870), Zuletzt geprüft am 13.11.2026, 06:31 Uhr (UTC+01:00) - [Ausstattung Elektrofachkabinette des BSZ - Julius Weisbach - in Freiberg](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_544DC0QJXAS9A7E98PKCSXZHM8/ausstattung-elektrofachkabinette-des-bsz-julius-weisbach-in-freiberg) Offen · Ort: DED (Sachsen) · Frist: 19\.11.2026, 23:59 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/6bd9ca1924b9392a), Zuletzt geprüft am 12.11.2026, 06:30 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung 5.280 m N2XS(FL)2 Y 1x630/35 mm² 6/10 kV](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_YKT08JKBQBP6ZJ667Z0C4VAS40/lieferung-5-280-m-n2xs-fl-2-y-1x630-35-mm-6-10-kv) Offen · Auftraggeber: eins energie in sachsen GmbH & Co. KG · Ort: DED41 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0d7071a5-2a1d-4239-b652-e90248962ca1), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00) - [Umbau Lessing-Museum Kamenz 54/2026/rem, Los 60 Beleuchtung](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_4ZNKJ96MRWTWEDQV9A69AP94QQ/umbau-lessing-museum-kamenz-54-2026-rem-los-60-beleuchtung) Offen · Ort: DED (Sachsen) · Frist: 09\.11.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) (Frist abgelaufen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a93c09fd19e13e5a), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 17:31 Uhr (UTC+01:00) - [Kauf von mobilen Stromerzeugern für die humanitäre Unterstützung der Ukraine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X34SZRZERQY4YE6W3WCE4RH60H/kauf-von-mobilen-stromerzeugern-fuer-die-humanitaere-unterstuetzung-der-ukraine) Offen · Auftraggeber: Stadt Leipzig · Ort: DED51 (Sachsen) · Frist: 19\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/318e8f85-018e-489b-9c10-c47431987914), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Projektierung, Lieferung und Errichtung eines Batteriespeichersystems (BESS)](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_NZM1EXDEAZEXBMQPRETB07JCNG/projektierung-lieferung-und-errichtung-eines-batteriespeichersystems-bess) Offen · Auftraggeber: Stadtwerke Schneeberg GmbH · Ort: DED42 (Sachsen) · Frist: 30\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · Veröffentlichter Wert: 1\.900.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/2cc34829-5103-4c65-88bb-4fc07514f139), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 13:10 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83) - Zuletzt geprüft: 10\. November 2026, 18:30 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_PQPMQ14J2MG06S598H4VFV45GY/300mm-fully-automated-high-resolution-in-line-cd-and-overlay-izm-133-1-pr1191754 Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. 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