# Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration Offen · Ausschreibung ## Auf einen Blick IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem. ## Eckdaten - Status: Offen - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_C1PE2B9S0VD0ASW5C1XRZMRC20/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik), Frankfurt (Oder), DE - Leistungsort: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) - Haupt-CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 4\. Juni 2026, 14:01 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 12. November 2026, 10:30 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration – IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_S5P8PDYHTEVW2M25BQMD09X2NE/ntv_NT600PJF1NJ27FFVBNH7BX9E5W/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0001: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierfür sind die Lieferung, Integration und Inbetriebnahme der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten sowie die Durchführung aller notwendigen Anpassungs-, Test- und Qualifizierungsmaßnahmen erforderlich. Der Leistungsumfang umfasst insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems zur Realisierung eines kontrollierten Umschaltens der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer zur Unterstützung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen. Darüber hinaus ist zusätzliche Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr zu liefern und in das bestehende System zu integrieren. Die angebotene Lösung muss mit der vorhandenen Anlagenkonfiguration kompatibel sein und die technische Funktionalität einer WxZ Sprint Konfiguration gewährleisten. Zur Ermittlung des konkreten Anpassungsbedarfs wird eine Vor-Ort-Besichtigung der Anlage empfohlen. - CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000), Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - Ort: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) ## Verlauf - 4\. Juni 2026, 14:01 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c) ## Einordnung - CPV-Codes: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000); Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) - NUTS-Regionen: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) ## Amtliche Unterlagen - [vergabemarktplatz.brandenburg.de](https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYTV00GM8K/documents) ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder), DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) und Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c) ## Unternehmen, die passen könnten *Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben* Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen. - [HR Wallingford Limited](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_QH93VAJPSSW319D3VWT873BJXZ/hr-wallingford-limited) · Wallingford · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-08-11): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_MEW6B44T23AR5RAPMFR64HRZGV/beschaffung-eines-wellenerzeugers-fuer-die-flachwasserrinne-der-technischen-univ), geprüft am 13.11.2026 - Der Auftraggeber nennt die Ausschreibung KMU-geeignet, und das Unternehmen ist ein KMU: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_S5P8PDYHTEVW2M25BQMD09X2NE/upgrade-of-a-200-mm-wxz-tungsten-cvd-chamber-to-wxz-sprint-configuration), geprüft am 12.11.2026 - [Meißner Technik Müllenbach GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_5152BGF37XQ75E68VEFSGWR25N/meissner-technik-muellenbach-gmbh) · Luckenwalde · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) · Neu bei öffentlichen Aufträgen - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-08-03): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_GNB8P96ZG3VETPV5A96P0Z4G9X/1-dlii4-vv356-rahmenvereinbarung-1-biud-w0524-ueber-die-lieferung-von-frontlader), geprüft am 13.11.2026 - Sitz in derselben Region wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_5152BGF37XQ75E68VEFSGWR25N), geprüft am 13.11.2026 - [Rosenbauer Deutschland GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_76DDBBRAED3BYCTHNM11A7HJ7J/rosenbauer-deutschland-gmbh) · Luckenwalde · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-07-20): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_Z9Q5D0G70R2RT37KHJE649FS85/lieferung-von-feuerwehr-rte-robots), geprüft am 13.11.2026 - Sitz in derselben Region wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_76DDBBRAED3BYCTHNM11A7HJ7J), geprüft am 13.11.2026 - [Komptech Vertriebsgesellschaft Deutschland mbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_8QK9M631F9CB12T0JYNDX21VJP/komptech-vertriebsgesellschaft-deutschland-mbh) · Oelde · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-10-20): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_GPFNFT6ZV1FCJ6WXD90D3159QV/lieferung-von-1-stueck-mobiler-zerkleinerer), geprüft am 13.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_8QK9M631F9CB12T0JYNDX21VJP), geprüft am 13.11.2026 - [Funduino GmbH](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_GKPN1XZEQBWPARQH3WZ145ECWY/funduino-gmbh) · Nordhorn · KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung) - Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-09-25): [Nachweis](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_BBZFEAZRXXYTGEFGDHN5XWG3D5/3x-humanoide-bipedale-lehr-und-forschungsrobotersysteme), geprüft am 13.11.2026 - Sitz im selben Land wie der Leistungsort: [Nachweis](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_GKPN1XZEQBWPARQH3WZ145ECWY), geprüft am 13.11.2026 ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RHGY210WY3V1BAS1W97R0CDW64/semi-automatic-prober-for-characterization-of-200-mm-wafers) Vergeben · Auftraggeber: IHP GmbH - 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[Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_6KP3BWFPZV4P0MSAKRWP43EJ66/upgrade-of-a-200-mm-wxz-tungsten-cvd-chamber-to-wxz-sprint-configuration) Vergeben · Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Ort: DE403 (Brandenburg) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427), Zuletzt geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00) - [Service-Support-Vertrag für NIKON-Belichtungsmaschinen](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_XGGQNECJZXBWP0Z2Y4SB75AQ4P/service-support-vertrag-fuer-nikon-belichtungsmaschinen) Offen · Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Ort: DE403 (Brandenburg) · Frist: 10\.11.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) (Frist abgelaufen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/220dba64-cc25-4ea2-9232-4807b98da0d4), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 14:30 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - 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Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/093c22ad-1db1-4e81-9aae-3b13fac0624c) - Zuletzt geprüft: 12\. November 2026, 10:30 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_S5P8PDYHTEVW2M25BQMD09X2NE/upgrade-of-a-200-mm-wxz-tungsten-cvd-chamber-to-wxz-sprint-configuration Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.