# System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P Offen · Ausschreibung ## Auf einen Blick Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) ## Eckdaten - Status: Offen - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forsc), München, DE - Leistungsort: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) - Haupt-CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 16\. Juli 2026, 15:23 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8a49c91c-d59f-43b4-a51b-e980aba81b16). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 10. November 2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_SWWSCMESDYVKGCQV7GA38BBF15/ntv_TD9S76WM277QMQSRZJPMZ3R2NG/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0000: System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P 1 Stück System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) Die Spezifikation beschreibt die Anforderungen an ein vollautomatisches Prozessgerät, das für Plasmaätzprozesse auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm eingesetzt werden soll. Die Systeme werden für die Bearbeitung von Silizium-CMOS-Wafern in einer Produktionsumgebung der Reinraumklasse 1000 (entspricht in etwa Klasse 6 nach EN ISO 14644-1) eingesetzt. Das neue Werkzeug soll zur Strukturierung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Silizium sowie in allen damit verbundenen erforderlichen Materialien (z. B. SiO₂, SiN) eingesetzt werden, um dieses Hauptziel zu erreichen. Optionale Positionen gemäß Technical Tender Specification. - CPV: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - Ort: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) ## Verlauf - 16\. Juli 2026, 15:23 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8a49c91c-d59f-43b4-a51b-e980aba81b16) ## Einordnung - CPV-Codes: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) - NUTS-Regionen: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) ## Amtliche Unterlagen - [vergabe.fraunhofer.de](https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19dd324472b-6ce21f095f09894c) ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8a49c91c-d59f-43b4-a51b-e980aba81b16) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8a49c91c-d59f-43b4-a51b-e980aba81b16) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [Rohbauarbeiten 70-\[…\] - PR1329418-2720-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_QG1TWRVKRY7YHAJF27HJ4ZDEFT/rohbauarbeiten-70-00561-2720-301-pr1329418-2720-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DED2D (Sachsen) · Frist: 07\.12.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/777333-2026), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [multidisziplinäre Zitations- und Analysedatenbank - PR1273173-9789-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0VPFJ8ZCVZGY3R7TPC96WK01Y6/multidisziplinaere-zitations-und-analysedatenbank-pr1273173-9789-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 11\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/773072-2026), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Business-Notebook Rahmenvereinbarung - PR1248160-9782-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_ES0DQBDA8JQNB07SHSGCWN6ZP5/business-notebook-rahmenvereinbarung-pr1248160-9782-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 23\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f995efc-c143-4a44-9d57-3ffcbc9e7f38), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Stromversorgungsanlagen 70-\[…\]a - PR1313999-2780-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RSJG6R3RQCS4TPWM960PTJQDE4/stromversorgungsanlagen-70-00002-2780-407a-pr1313999-2780-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Frist: 15\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/992730e1-e05a-4380-a6e0-63e782de27c2), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [Vacuum probing system (ENAS-11.1.2) - PR1211957-3340-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_3FZPW9AR9M7PS36YDHQHT5Z8F8/vacuum-probing-system-enas-11-1-2-pr1211957-3340-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED41 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/1943597b-0313-4920-a115-3e3d6afaac2a), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung einer Hochgeschwindigkeitspresse](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_9D25E34JYJM1YJ4XTZJWYY2SEX/lieferung-einer-hochgeschwindigkeitspresse) Offen · Auftraggeber: Technische Universität Chemnitz · Ort: DED41 (Sachsen) · Frist: 07\.12.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/778476-2026), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung, Montage und Inbetriebnahme einer CNC-Bettfräsmaschine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X7YFWZGBA5WKCHNAJ7Y7M9MT85/lieferung-montage-und-inbetriebnahme-einer-cnc-bettfraesmaschine) Offen · Auftraggeber: Dresdner Verkehrsbetriebe AG · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/777341-2026), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Herstellung und Lieferung 6-Walzen-Technikumskalander](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_YWFCTF9RNE0EQXPBHKRAG8GG17/herstellung-und-lieferung-6-walzen-technikumskalander) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · Ort: DED21 (Sachsen) · Veröffentlichter Wert: 881\.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f946a4b3-943f-470c-b576-e4868ebe0385), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 00:30 Uhr (UTC+01:00) - [D2W Bonder (ENAS-07.1) - PR1221208-3340-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_A35MWS1JW6G09N23AF6C00X200/d2w-bonder-enas-07-1-pr1221208-3340-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED41 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/6236b25e-9849-488b-bf63-97b7311c86db), Zuletzt geprüft am 09.11.2026, 18:30 Uhr (UTC+01:00) - [Plasma Pre Treatment for Bonding (ENAS-07.5) - PR1211737-3340-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_DP4A3VNS3QS6GDJC4YV8PJ3DCJ/plasma-pre-treatment-for-bonding-enas-07-5-pr1211737-3340-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED41 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/39efd257-a592-401f-a0ad-d92f3e29cc24), Zuletzt geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8a49c91c-d59f-43b4-a51b-e980aba81b16](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8a49c91c-d59f-43b4-a51b-e980aba81b16) - Zuletzt geprüft: 10\. November 2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SWWSCMESDYVKGCQV7GA38BBF15/system-for-high-apect-ratio-etch-consisting-of-mainframe-and-process-chambers-ip Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.