# Plasma-Ätzanlage - PR1241915-2270-W Vergeben · Ausschreibung **Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.** Ähnliche offene Ausschreibungen: - [123kV Messwandler](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_A7MHKN3TGA5B4X4RQKRD2ARCHW/123kv-messwandler) - [E-Spule\_bis\_123kV](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_1JKJH626SG7KFPVFVW5BG3YPHG/e-spule-bis-123kv) - [123kV Trenn- und Erdungsschalter](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_2S8WGE5GEQBPZEPEHGA3N2Y56P/123kv-trenn-und-erdungsschalter) - [Erdungstransformatoren\_bis\_36kV](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_45YWS620B44YTRA47E53BPY7A0/erdungstransformatoren-bis-36kv) - [Lieferung von einer 11kV Schaltanlage](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0G7S6KMVXYFYS2NRJC8KFDE1ZF/lieferung-von-einer-11kv-schaltanlage) ## Auf einen Blick Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 schreibt Halbleiter (CPV 31712330) in München, Landkreis (DE21H) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb. ### Aus der Bekanntmachung Plasma-Ätzanlage ## Eckdaten - Status: Vergeben - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-einkauf-b12), München, DE - Leistungsort: München, Landkreis (DE21H) - Haupt-CPV: Halbleiter (CPV 31712330) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 17\. September 2026, 09:08 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a10edbef-7a88-42db-a298-313aa122c0c1). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 7. November 2026, 12:30 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Plasma-Ätzanlage - PR1241915-2270-W – Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_VHKA46V27X7JTD6S4ND1F7ZYN7/ntv_SEQD427ND97ZSEFPHS7T4MW6JN/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0000: Plasma-Ätzanlage - PR1241915-2270-W Many areas of semiconductors, MEMS, and 3D integration technologies - such as microfluidics, physical, optical, and chemical sensors, and emerging quantum mechanical devices such as so-called Qubits and their integration into silicon substrates - utilize the excellent properties of silicon. In particular, high-precision structuring methods have been developed for these applications. Micro- and nanochannels, membranes, valves, cantilevers, and through-silicon vias are manufactured using Si deep reactive ion etching (Si-DRIE) technology. As a standard etching gas, SF6 is employed in Silicon Deep Reactive Ion Etching (Si-DRIE) processes. SF6 is a potent greenhouse gas with a high global warming potential (GWP) of 25.300 CO2-equivalents. Although the semiconductor industry currently benefits from an exemption regarding SF6 usage, the duration of this exemption remains uncertain. Consequently, the identification of alternative gases to replace SF6 is becoming more important. One promising alternative is F2 gas mixtures. However, their implementation requires specialized modifications to both gas infrastructure and process kits. Hence, in addition to its fluorine compatibility, the requirements for the novel etching system should include scalability and a minimized process chamber volume compared to conventional plasma etching systems. This reduction in chamber volume decreases the total gas flow required, thereby enabling nearly complete gas utilization while minimizing gas-wall interactions. Consequently, faster gas switching times can be achieved in Bosch processes. A key feature of this new developed etching system is its "Green Production" concept, which focuses on the minimization and prevention of environmentally harmful gases. Furthermore, the system enables straightforward scaling of substrate sizes from 150 mm to 200 mm. - CPV: Halbleiter (CPV 31712330) - Ort: München, Landkreis (DE21H) ## Verlauf - 17\. September 2026, 09:08 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a10edbef-7a88-42db-a298-313aa122c0c1) - 15\. September 2026: Zuschlag. Zuschlag an: HQ-Dielectrics GmbH; Eingegangene Angebote: 1 ## Einordnung - CPV-Codes: Halbleiter (CPV 31712330) - NUTS-Regionen: München, Landkreis (DE21H) - Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: HQ-Dielectrics GmbH (Bieter); HQ-Dielectrics GmbH (Zuschlag) ## Amtliche Unterlagen In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden. ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12, München, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Halbleiter (CPV 31712330). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? München, Landkreis (DE21H). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a10edbef-7a88-42db-a298-313aa122c0c1) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a10edbef-7a88-42db-a298-313aa122c0c1) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [multidisziplinäre Zitations- und Analysedatenbank - PR1273173-9789-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0VPFJ8ZCVZGY3R7TPC96WK01Y6/multidisziplinaere-zitations-und-analysedatenbank-pr1273173-9789-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 11\.11.2026, 09:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/773072-2026), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Business-Notebook Rahmenvereinbarung - PR1248160-9782-I](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_ES0DQBDA8JQNB07SHSGCWN6ZP5/business-notebook-rahmenvereinbarung-pr1248160-9782-i) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE212 (Bayern) · Frist: 23\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f995efc-c143-4a44-9d57-3ffcbc9e7f38), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Stromversorgungsanlagen 70-\[…\]a - PR1313999-2780-B](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_RSJG6R3RQCS4TPWM960PTJQDE4/stromversorgungsanlagen-70-00002-2780-407a-pr1313999-2780-b) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Ort: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Frist: 15\.12.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/992730e1-e05a-4380-a6e0-63e782de27c2), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [High Temperature 200 mm Ion Implanter - PR1293607-2790-W](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SFNY4GY6RXPVF3MQCFKCWYT783/high-temperature-200-mm-ion-implanter-pr1293607-2790-w) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DE252 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/efb6064f-4833-426e-9b6a-1ef558dbbd82), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [123kV Messwandler](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_A7MHKN3TGA5B4X4RQKRD2ARCHW/123kv-messwandler) Offen · Auftraggeber: Thüga AG · Ort: DE212 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/6d8a78c0-0ea4-421c-83f4-c71e19b1aebd), Zuletzt geprüft am 08.11.2026, 01:30 Uhr (UTC+01:00) - [E-Spule\_bis\_123kV](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_1JKJH626SG7KFPVFVW5BG3YPHG/e-spule-bis-123kv) Offen · Auftraggeber: Thüga AG · Ort: DE212 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/50979403-329b-4898-a5e3-cb09882453e5), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00) - [123kV Trenn- und Erdungsschalter](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_2S8WGE5GEQBPZEPEHGA3N2Y56P/123kv-trenn-und-erdungsschalter) Offen · Auftraggeber: Thüga AG · Ort: DE212 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/dc7c9efd-1fe5-4f6a-a0ec-d564528a3b1c), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00) - [Erdungstransformatoren\_bis\_36kV](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_45YWS620B44YTRA47E53BPY7A0/erdungstransformatoren-bis-36kv) Offen · Auftraggeber: Thüga AG · Ort: DE212 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/e26bcafa-6f08-4eb3-aec0-10ec7d7a1bff), Zuletzt geprüft am 07.11.2026, 12:30 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung von einer 11kV Schaltanlage](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0G7S6KMVXYFYS2NRJC8KFDE1ZF/lieferung-von-einer-11kv-schaltanlage) Offen · Auftraggeber: Regensburg Netz GmbH · Ort: DE232 (Bayern) · Veröffentlichter Wert: 2\.500.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/02b6e51e-d2b9-409a-80d0-04b5eff03cb8), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00) - [LL 20kV Schaltanlage Garagenstation](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_9HGSFCB25FGY60RHR4BBBSVW1G/ll-20kv-schaltanlage-garagenstation) Offen · Auftraggeber: Regensburg Netz GmbH · Ort: DE232 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8164ebac-428b-4c0d-a8ad-de9315dda438), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a10edbef-7a88-42db-a298-313aa122c0c1](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a10edbef-7a88-42db-a298-313aa122c0c1) - Zuletzt geprüft: 7\. November 2026, 12:30 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_VHKA46V27X7JTD6S4ND1F7ZYN7/plasma-aetzanlage-pr1241915-2270-w Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.