# Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers Vergeben · Ausschreibung **Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.** Ähnliche offene Ausschreibungen: - [Vacuum probing system (ENAS-11.1.2) - PR1211957-3340-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_3FZPW9AR9M7PS36YDHQHT5Z8F8/vacuum-probing-system-enas-11-1-2-pr1211957-3340-p) - [System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SWWSCMESDYVKGCQV7GA38BBF15/system-for-high-apect-ratio-etch-consisting-of-mainframe-and-process-chambers-ip) - [Lieferung einer Hochgeschwindigkeitspresse](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_9D25E34JYJM1YJ4XTZJWYY2SEX/lieferung-einer-hochgeschwindigkeitspresse) - [Lieferung, Montage und Inbetriebnahme einer CNC-Bettfräsmaschine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X7YFWZGBA5WKCHNAJ7Y7M9MT85/lieferung-montage-und-inbetriebnahme-einer-cnc-bettfraesmaschine) - [Herstellung und Lieferung 6-Walzen-Technikumskalander](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_YWFCTF9RNE0EQXPBHKRAG8GG17/herstellung-und-lieferung-6-walzen-technikumskalander) ## Auf einen Blick Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. schreibt Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000) in Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Aus der Bekanntmachung The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards. ## Eckdaten - Status: Vergeben - Frist: Keine Frist in der Bekanntmachung - Auftraggeber: [Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.](https://inteliwert.com/de/unternehmen/org_HK8GZCEXV4NRQ8XS18N5K6049E/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forsc), Erlangen, DE - Leistungsort: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) - Haupt-CPV: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000) - Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren - Lose: 1 - Erstmals veröffentlicht: 8\. Juli 2026, 13:50 Uhr (UTC+02:00) Quelle: [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8d5c5fcb-fad2-45ef-bc2f-90c6365fb076). Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 10. November 2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00). Faktenblatt: [Inteliwert-Faktenblatt: Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers – Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.. Ein Produkt der Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_WSDVWR4F6PDMQQ22F302GZFEEN/ntv_EXM3KKNSQ51M0JSGK6Z7JJKNMG/de-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lose (1) ### Los LOT-0001: Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards. - CPV: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000) - Ort: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) ## Verlauf - 8\. Juli 2026, 13:50 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung, Bekanntmachung, Version 02 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung), [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8d5c5fcb-fad2-45ef-bc2f-90c6365fb076) - 2\. Juli 2026: Zuschlag. Zuschlag an: Scia Systems GmbH; Auftragswert: 1 € zzgl. MwSt.; Eingegangene Angebote: 1 ## Einordnung - CPV-Codes: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000) - NUTS-Regionen: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) - Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung: Scia Systems GmbH (Bieter); Scia Systems GmbH (Zuschlag) ## Amtliche Unterlagen In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden. ## Fragen und Antworten ### Wer ist der Auftraggeber? Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Erlangen, DE. ### Was wird beschafft (CPV)? Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000). ### Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)? Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21). ### Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt? Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los. ### Welche Verfahrensart gilt? Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren. ### Wie gebe ich ein Angebot ab? Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8d5c5fcb-fad2-45ef-bc2f-90c6365fb076) ### Bin ich teilnahmeberechtigt? Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8d5c5fcb-fad2-45ef-bc2f-90c6365fb076) ## Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst. - [PR1260373 - Entwicklung einer Web-Plattform für den Betrieb produktnaher Audioanwendungen](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_FNE17JCYQ1AYNSNXC28QZ28YAZ/pr1260373-entwicklung-einer-web-plattform-fuer-den-betrieb-produktnaher-audioanw) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Ort: DE252 (Bayern) · Frist: 30\.11.2026, 11:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/568c31e6-6256-42ab-b642-16191915ebb3), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 13:10 Uhr (UTC+01:00) - [VMWare Speicher inkl. Support](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_0RYAS8PGXVA92SMCFZSTHE9C1H/vmware-speicher-inkl-support) Vergeben · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Ort: DED21 (Sachsen) · Veröffentlichter Wert: 520\.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/fe3edd0a-492a-4bd7-92c8-d8b0fe939b19), Zuletzt geprüft am 04.11.2026, 16:10 Uhr (UTC+01:00) - [Support services for the project „Customer Support with focus on Microelectronics and IC Layout“](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_6SNGM9PZT9RQNQB2MWY5T0EPYB/support-services-for-the-project-customer-support-with-focus-on-microelectronics) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Ort: DE252 (Bayern) · Frist: 09\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) (Frist abgelaufen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/169ae427-07c7-4362-9b1e-4f997b5511f1), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 14:30 Uhr (UTC+01:00) - [PR1168445 - Consulting and design services for the project Concept development of a Design-for-Test](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_WKVM4SQAKMCBHV5C9EH5FX4KXD/pr1168445-consulting-and-design-services-for-the-project-concept-development-of-) Vergeben · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Ort: DE252 (Bayern) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/4bbec47b-7133-4c6c-a5f2-e4b16c021911), Zuletzt geprüft am 11.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00) - [Softwareprogrammierung Audiokodierverfahren und Signalverarbeitung + Optimierung und Implementierung](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_M2G0825F02NAMJJ22CDE66QZCJ/softwareprogrammierung-audiokodierverfahren-und-signalverarbeitung-optimierung-u) Abgelaufen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Ort: DE252 (Bayern) · Frist: 02\.11.2026, 10:00 Uhr (UTC+01:00) (Frist abgelaufen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/af2b3640-743d-47f1-8a14-905a71c4650e), Zuletzt geprüft am 06.11.2026, 22:30 Uhr (UTC+01:00) ## Ähnliche Ausschreibungen - [Vacuum probing system (ENAS-11.1.2) - PR1211957-3340-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_3FZPW9AR9M7PS36YDHQHT5Z8F8/vacuum-probing-system-enas-11-1-2-pr1211957-3340-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED41 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/1943597b-0313-4920-a115-3e3d6afaac2a), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00) - [System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_SWWSCMESDYVKGCQV7GA38BBF15/system-for-high-apect-ratio-etch-consisting-of-mainframe-and-process-chambers-ip) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8a49c91c-d59f-43b4-a51b-e980aba81b16), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung einer Hochgeschwindigkeitspresse](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_9D25E34JYJM1YJ4XTZJWYY2SEX/lieferung-einer-hochgeschwindigkeitspresse) Offen · Auftraggeber: Technische Universität Chemnitz · Ort: DED41 (Sachsen) · Frist: 07\.12.2026, 12:00 Uhr (UTC+01:00) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/778476-2026), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Lieferung, Montage und Inbetriebnahme einer CNC-Bettfräsmaschine](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_X7YFWZGBA5WKCHNAJ7Y7M9MT85/lieferung-montage-und-inbetriebnahme-einer-cnc-bettfraesmaschine) Offen · Auftraggeber: Dresdner Verkehrsbetriebe AG · Ort: DED21 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/777341-2026), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00) - [Herstellung und Lieferung 6-Walzen-Technikumskalander](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_YWFCTF9RNE0EQXPBHKRAG8GG17/herstellung-und-lieferung-6-walzen-technikumskalander) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. · Ort: DED21 (Sachsen) · Veröffentlichter Wert: 881\.000 € zzgl. MwSt. · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f946a4b3-943f-470c-b576-e4868ebe0385), Zuletzt geprüft am 10.11.2026, 00:30 Uhr (UTC+01:00) - [D2W Bonder (ENAS-07.1) - PR1221208-3340-P](https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_A35MWS1JW6G09N23AF6C00X200/d2w-bonder-enas-07-1-pr1221208-3340-p) Offen · Auftraggeber: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Ort: DED41 (Sachsen) · [Amtliche Bekanntmachung](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/6236b25e-9849-488b-bf63-97b7311c86db), Zuletzt geprüft am 09.11.2026, 18:30 Uhr (UTC+01:00) ## Quelle - Herausgeber: Bekanntmachungsservice - Lizenz: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Amtliche Bekanntmachung: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8d5c5fcb-fad2-45ef-bc2f-90c6365fb076](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8d5c5fcb-fad2-45ef-bc2f-90c6365fb076) - Zuletzt geprüft: 10\. November 2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00) Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie. --- Page: https://inteliwert.com/de/ausschreibung/opp_WSDVWR4F6PDMQQ22F302GZFEEN/clustertool-for-ion-beam-etching-of-300mm-wafers Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.