# Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage Awarded · Tender **This opportunity has been awarded. Its page stays for reference.** Similar open opportunities: - [DFG-GZ: EXC 3101\_1\_1 (A 188) Isotopenverhältnis-Massenspektrometer](https://inteliwert.com/tender/opp_489EAZ6SSZWDPS6J0PXD66R2MZ/dfg-gz-exc-3101-1-1-a-188-isotopenverhaeltnis-massenspektrometer) - [LC-MS/MS-System](https://inteliwert.com/tender/opp_CBMFSHD179YZQXA3QYV6VEH8ZG/lc-ms-ms-system) - [DFG-Az.: EXC 3101/1 TP2 (A 191) Beschaffung eines Pipettierroboters](https://inteliwert.com/tender/opp_2PVHH2F62W4W483PT3Z0TVP47H/dfg-az-exc-3101-1-tp2-a-191-beschaffung-eines-pipettierroboters) - [X-Band-cw-EPR-Spektrometer](https://inteliwert.com/tender/opp_2R2H3KJZ6QBGTHEVBRQQ5QS892/x-band-cw-epr-spektrometer) - [Klimakammer für Schwingprüfanlage - PR1315816-2060-W](https://inteliwert.com/tender/opp_NK8KQH2R9KV37XCWZ3RXHMEJFC/klimakammer-fuer-schwingpruefanlage-pr1315816-2060-w) ## At a glance Universität Heidelberg is procuring Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000) in Heidelberg, Stadtkreis (DE125). It has been awarded. Procedure type: Open. ## Key facts - Status: Awarded - Deadline: No deadline in the notice - Buyer: [Universität Heidelberg](https://inteliwert.com/company/org_DRNMNJ35FFBGHDXZT8XAGCFPW9/universitaet-heidelberg), Heidelberg, DE - Place of performance: Heidelberg, Stadtkreis (DE125) - Main CPV: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000) - Procedure: Open - Lots: 1 - First published: 6 October 2026, 15:07 (UTC+02:00) Source: [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1). Each fact is from the official notice, last checked 6 November 2026, 15:30 (UTC+01:00). Fact sheet: [Inteliwert fact sheet: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage — Universität Heidelberg. A product of Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_3X7G71X2A2QSE0X27YWXF7NEXE/ntv_N9NQWHZV761WF2JQXC9FEVF7X6/en-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lots (1) ### Lot LOT-0001: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden. Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg. - CPV: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000) - Place: Heidelberg, Stadtkreis (DE125) ## Timeline - 6 October 2026, 15:07 (UTC+02:00): Award notice, Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1) - 6 October 2026: Award. Winner: Oxford Instruments GmbH; Tenders received: 1 ## Classification - CPV codes: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000) - NUTS regions: Heidelberg, Stadtkreis (DE125) - Other parties in the notice: Oxford Instruments GmbH (Tenderer); Oxford Instruments GmbH (Winner) ## Official documents No documents found in the indexed notice. ## Questions and answers ### Who is the buyer? Universität Heidelberg, Heidelberg, DE. ### What is being procured (CPV)? Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000). ### Where is the work performed (NUTS)? Heidelberg, Stadtkreis (DE125). ### Is it divided into lots? No, the notice names a single lot. ### Which procedure is used? Open. ### How do I submit a bid? On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1) ### Am I eligible? Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1) ## More from this buyer Other published opportunities of this buyer in the indexed notices, open ones first. - [Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)](https://inteliwert.com/tender/opp_QZAJSSE9Y7G471RJYPAGWVXTWT/vergabeverfahren-zur-lieferung-einer-atomlagenabscheidungsanlage-ald) Open · Buyer: Universität Heidelberg · Place: DE125 (Baden-Württemberg) · Deadline: 30 Nov 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/636d4b18-bf9f-4353-9e99-f9d7931dc2f2), Last checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00) - [Vergabeverfahren zur Beauftragung der messtechnischen Bestimmung der Luftwechselraten in Laboratorien](https://inteliwert.com/tender/opp_BGG7DDF387HRTV58BPQ8RYWVHT/vergabeverfahren-zur-beauftragung-der-messtechnischen-bestimmung-der-luftwechsel) Awarded · Buyer: Universität Heidelberg · Place: DE125 (Baden-Württemberg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/7996962f-138c-476c-b3a1-5a328b5afc52), Last checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00) - [Vergabeverfahren zur Lieferung eines Röntgenabsorptionsspektrometers](https://inteliwert.com/tender/opp_1ZQBW1Y0D3436PJDN815Q6156N/vergabeverfahren-zur-lieferung-eines-roentgenabsorptionsspektrometers) Awarded · Buyer: Universität Heidelberg · Place: DE125 (Baden-Württemberg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/c83a92b1-13dc-4a81-bf70-4ad1b21a2bdc), Last checked 4 Nov 2026, 15:10 (UTC+01:00) - [Vergabeverfahren zur Beauftragung eines Servicevertrages für die Geräteflotte der CryoEM Core Facility der Universität Heidelberg](https://inteliwert.com/tender/opp_766XP31RE9N0GA83PMJ1PEMY82/vergabeverfahren-zur-beauftragung-eines-servicevertrages-fuer-die-geraeteflotte-) Closed · Buyer: Universität Heidelberg · Place: DE125 (Baden-Württemberg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/e7fd8ec3-2e7d-49f9-b1ba-254b71f78bc3), Last checked 28 Oct 2026, 06:30 (UTC+01:00) ## Related opportunities - [DFG-GZ: EXC 3101\_1\_1 (A 188) Isotopenverhältnis-Massenspektrometer](https://inteliwert.com/tender/opp_489EAZ6SSZWDPS6J0PXD66R2MZ/dfg-gz-exc-3101-1-1-a-188-isotopenverhaeltnis-massenspektrometer) Open · Buyer: Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V. · Place: DE142 (Baden-Württemberg), DE141 (Baden-Württemberg), DE143 (Baden-Württemberg) · Deadline: 11 Nov 2026, 12:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/15963d88-7b74-41f4-8fc8-8b0bb230519d), Last checked 6 Nov 2026, 13:30 (UTC+01:00) - [LC-MS/MS-System](https://inteliwert.com/tender/opp_CBMFSHD179YZQXA3QYV6VEH8ZG/lc-ms-ms-system) Open · Buyer: Zentralbeschaffung Untersuchungsämter Baden-Württemberg beim Chemischen und Veterinäruntersuchungsamt Stuttgart · Place: DE122 (Baden-Württemberg) · Deadline: 10 Nov 2026, 08:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/e6b75a5b-9c63-4bc2-9a48-0f097b5d9f29), Last checked 6 Nov 2026, 12:30 (UTC+01:00) - [DFG-Az.: EXC 3101/1 TP2 (A 191) Beschaffung eines Pipettierroboters](https://inteliwert.com/tender/opp_2PVHH2F62W4W483PT3Z0TVP47H/dfg-az-exc-3101-1-tp2-a-191-beschaffung-eines-pipettierroboters) Open · Buyer: Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V. · Place: DE142 (Baden-Württemberg), DE141 (Baden-Württemberg), DE143 (Baden-Württemberg) · Deadline: 4 Dec 2026, 12:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/cb60fdb9-f8e2-4bac-839f-c306b324369b), Last checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00) - [X-Band-cw-EPR-Spektrometer](https://inteliwert.com/tender/opp_2R2H3KJZ6QBGTHEVBRQQ5QS892/x-band-cw-epr-spektrometer) Open · Buyer: Universität Ulm · Place: DE144 (Baden-Württemberg) · Deadline: 30 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/1037437a-9060-4366-a67d-fdd1dd4da63b), Last checked 4 Nov 2026, 13:10 (UTC+01:00) - [Klimakammer für Schwingprüfanlage - PR1315816-2060-W](https://inteliwert.com/tender/opp_NK8KQH2R9KV37XCWZ3RXHMEJFC/klimakammer-fuer-schwingpruefanlage-pr1315816-2060-w) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 · Place: DE139 (Baden-Württemberg) · Deadline: 30 Nov 2026, 12:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f406b118-fe30-4b47-b3b4-89b3dceb6e2c), Last checked 4 Nov 2026, 13:10 (UTC+01:00) - [Dielektrischer X-Band Resonator](https://inteliwert.com/tender/opp_J5E9VZH9DEBVY9CC5YTNMXE1MC/dielektrischer-x-band-resonator) Open · Place: DE1 (Baden-Württemberg) · Deadline: 12 Nov 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/1660fd4f87bb3504), Last checked 1 Nov 2026, 05:30 (UTC+01:00) ## Source - Publisher: Bekanntmachungsservice - Licence: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Official notice: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f6f3aa94-be2c-44b4-ae2d-a2473d21f2b1) - Last checked: 6 November 2026, 15:30 (UTC+01:00) The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it. --- Page: https://inteliwert.com/tender/opp_3X7G71X2A2QSE0X27YWXF7NEXE/vergabeverfahren-zur-lieferung-einer-gasphasenabscheidungsanlage Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.