# Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration Awarded · Tender **This opportunity has been awarded. Its page stays for reference.** Similar open opportunities: - [Laborspülmaschine](https://inteliwert.com/tender/opp_C0346603E9RZ0TRN8MK88RSQ2Y/laborspuelmaschine) - [Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme eines Sprühroboters](https://inteliwert.com/tender/opp_9GDTJNFRF2D86FN8A24G93P1YZ/lieferung-aufbau-und-inbetriebnahme-eines-spruehroboters) - [humanoider Roboter](https://inteliwert.com/tender/opp_49QM3MB0FX2TM9ZYQ24EPM4VH8/humanoider-roboter) - [Vakuumtechnik und Laborperipherie](https://inteliwert.com/tender/opp_74D8FGNJ6B94HM7HZTWJKMXTZ0/vakuumtechnik-und-laborperipherie) - [manueller Wafermounter](https://inteliwert.com/tender/opp_9G3AJ0DXQ9EHS60G6RDW9Y7ZSR/manueller-wafermounter) ## At a glance IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik is procuring Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) in Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403). It has been awarded. Procedure type: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation. ### From the notice Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem. ## Key facts - Status: Awarded - Deadline: No deadline in the notice - Buyer: [IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik](https://inteliwert.com/company/org_C1PE2B9S0VD0ASW5C1XRZMRC20/ihp-gmbh-leibniz-institut-fuer-innovative-mikroelektronik), Frankfurt (Oder), DE - Place of performance: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) - Main CPV: Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) - Procedure: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation - Lots: 1 - First published: 2 November 2026, 15:32 (UTC+01:00) Source: [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427). Each fact is from the official notice, last checked 5 November 2026, 07:10 (UTC+01:00). Fact sheet: [Inteliwert fact sheet: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration — IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik. A product of Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_6KP3BWFPZV4P0MSAKRWP43EJ66/ntv_M1QM2DPDZJFCPDA0JG9VY5Z8G3/en-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lots (1) ### Lot LOT-0001: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierfür sind die Lieferung, Integration und Inbetriebnahme der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten sowie die Durchführung aller notwendigen Anpassungs-, Test- und Qualifizierungsmaßnahmen erforderlich. Der Leistungsumfang umfasst insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems zur Realisierung eines kontrollierten Umschaltens der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer zur Unterstützung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen. Darüber hinaus ist zusätzliche Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr zu liefern und in das bestehende System zu integrieren. Die angebotene Lösung muss mit der vorhandenen Anlagenkonfiguration kompatibel sein und die technische Funktionalität einer WxZ Sprint Konfiguration gewährleisten. Zur Ermittlung des konkreten Anpassungsbedarfs wird eine Vor-Ort-Besichtigung der Anlage empfohlen. - CPV: Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000), Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) - Place: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) ## Timeline - 2 November 2026, 15:32 (UTC+01:00): Award notice, Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427) - 2 November 2026, 15:32 (UTC+01:00): Award notice, Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime), [Official notice](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/766817-2026) - 21 September 2026: Award. Winner: SFI Solutions for Instruments GmbH; Tenders received: 1 ## Classification - CPV codes: Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000); Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) - NUTS regions: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) - Other parties in the notice: SFI Solutions for Instruments GmbH (Tenderer); SFI Solutions for Instruments GmbH (Winner) ## Official documents No documents found in the indexed notice. ## Questions and answers ### Who is the buyer? IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder), DE. ### What is being procured (CPV)? Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) and Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100). ### Where is the work performed (NUTS)? Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403). ### Is it divided into lots? No, the notice names a single lot. ### Which procedure is used? Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation. ### How do I submit a bid? On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427) ### Am I eligible? Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427) ## More from this buyer Other published opportunities of this buyer in the indexed notices, open ones first. - [Service-Support-Vertrag für NIKON-Belichtungsmaschinen](https://inteliwert.com/tender/opp_XGGQNECJZXBWP0Z2Y4SB75AQ4P/service-support-vertrag-fuer-nikon-belichtungsmaschinen) Open · Buyer: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Place: DE403 (Brandenburg) · Deadline: 10 Nov 2026, 12:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/220dba64-cc25-4ea2-9232-4807b98da0d4), Last checked 6 Nov 2026, 14:30 (UTC+01:00) - [Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers](https://inteliwert.com/tender/opp_RHGY210WY3V1BAS1W97R0CDW64/semi-automatic-prober-for-characterization-of-200-mm-wafers) Awarded · Buyer: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Place: DE403 (Brandenburg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/20502656-f720-4729-8971-cc23df15fb17), Last checked 7 Nov 2026, 18:30 (UTC+01:00) - [RF Vector Signal Generator](https://inteliwert.com/tender/opp_Z5C9BMNQMMJAP8JNYN249PEG5R/rf-vector-signal-generator) Awarded · Buyer: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Place: DE403 (Brandenburg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0fe6abd4-6b77-4f94-a2e2-fd8845da10c6), Last checked 8 Nov 2026, 01:30 (UTC+01:00) - [Lieferung eines vollautomatischen Drahtbonders](https://inteliwert.com/tender/opp_CR8BTXE98KY4BCRFRJ9VEHJDER/lieferung-eines-vollautomatischen-drahtbonders) Awarded · Buyer: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Place: DE403 (Brandenburg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/7018dbdf-f43d-4d77-8a05-abf7809f08ee), Last checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00) - [Sensorservice für überwachungspflichtige Gase für die Jahre 2026 bis 2030](https://inteliwert.com/tender/opp_0WHJ6SHS2FCRNH9NCP1MX0AZNN/sensorservice-fuer-ueberwachungspflichtige-gase-fuer-die-jahre-2026-bis-2030) Awarded · Buyer: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Place: DE403 (Brandenburg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/84d67c67-776c-4734-8397-e4c6e4d9f863), Last checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00) ## Related opportunities - [Laborspülmaschine](https://inteliwert.com/tender/opp_C0346603E9RZ0TRN8MK88RSQ2Y/laborspuelmaschine) Open · Place: DE4 (Brandenburg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/45ddd54310f0363e), Last checked 7 Nov 2026, 08:30 (UTC+01:00) - [Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme eines Sprühroboters](https://inteliwert.com/tender/opp_9GDTJNFRF2D86FN8A24G93P1YZ/lieferung-aufbau-und-inbetriebnahme-eines-spruehroboters) Open · Place: DE4 (Brandenburg) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/83305a421f4fa948), Last checked 7 Nov 2026, 06:30 (UTC+01:00) - [humanoider Roboter](https://inteliwert.com/tender/opp_49QM3MB0FX2TM9ZYQ24EPM4VH8/humanoider-roboter) Open · Place: DE4 (Brandenburg) · Deadline: 20 Nov 2026, 12:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/7e67679d159c9f91), Last checked 6 Nov 2026, 05:30 (UTC+01:00) - [Vakuumtechnik und Laborperipherie](https://inteliwert.com/tender/opp_74D8FGNJ6B94HM7HZTWJKMXTZ0/vakuumtechnik-und-laborperipherie) Open · Place: DE4 (Brandenburg) · Deadline: 18 Nov 2026, 12:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/7c32fa4aacf0105f), Last checked 6 Nov 2026, 05:30 (UTC+01:00) - [manueller Wafermounter](https://inteliwert.com/tender/opp_9G3AJ0DXQ9EHS60G6RDW9Y7ZSR/manueller-wafermounter) Open · Place: DE4 (Brandenburg) · Deadline: 26 Nov 2026, 12:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/4ab0d0d794af1036), Last checked 6 Nov 2026, 05:30 (UTC+01:00) - [Volvo Penta Marinedieselmotoren](https://inteliwert.com/tender/opp_SXFDE40EJKBRZZFRZQ3XT5B8PA/volvo-penta-marinedieselmotoren) Open · Buyer: Zentraldienst der Polizei des Landes Brandenburg · Place: DE40E (Brandenburg) · Deadline: 17 Nov 2026, 09:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/d25f4fb1-356e-45a9-b5a0-c4f468b81564), Last checked 4 Nov 2026, 13:10 (UTC+01:00) ## Source - Publisher: Bekanntmachungsservice - Licence: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Official notice: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f38b2d57-8970-41f4-9a74-b0bf11066427) - Last checked: 5 November 2026, 07:10 (UTC+01:00) The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it. --- Page: https://inteliwert.com/tender/opp_6KP3BWFPZV4P0MSAKRWP43EJ66/upgrade-of-a-200-mm-wxz-tungsten-cvd-chamber-to-wxz-sprint-configuration Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.