# Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

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## At a glance

Ruhr-Universität Bochum is procuring Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000) in Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51). The notice states an estimated value of €1,024,000 excl. VAT. Procedure type: Competitive dialogue.

### From the notice

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

## Key facts

- Status: Open
- Deadline: No deadline in the notice
- Published value: €1,024,000 excl. VAT
- Buyer: [Ruhr-Universität Bochum](https://inteliwert.com/company/org_Z5YC6FZ1Q0E0RMC8R76SYSPKEQ/ruhr-universitaet-bochum), Bochum, DE
- Place of performance: Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)
- Main CPV: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)
- Procedure: Competitive dialogue
- Lots: 1
- First published: 12 August 2026, 09:47 (UTC+02:00)

Source: [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8). Each fact is from the official notice, last checked 9 November 2026, 04:31 (UTC+01:00).

Fact sheet: [Inteliwert fact sheet: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS — Ruhr-Universität Bochum. A product of Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_7YXF52V8CNC34Y2BSJP21BZD24/ntv_DN7Y9SMCGW80W4YC0DE0QA7NM2/en-sheet.png) (PNG, 1600 × 900)

## Lots (1)

### Lot LOT-0001: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

- CPV: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)
- Place: Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)

## Timeline

- 12 August 2026, 09:47 (UTC+02:00): Original notice, Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8)

## Classification

- CPV codes: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)
- NUTS regions: Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)

## Official documents

- [www.evergabe.nrw.de](https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ/documents)

## Questions and answers

### Who is the buyer?

Ruhr-Universität Bochum, Bochum, DE.

### What is being procured (CPV)?

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000).

### Where is the work performed (NUTS)?

Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51).

### What is the estimated value?

The notice states an estimated value of €1,024,000 excl. VAT.

### Is it divided into lots?

No, the notice names a single lot.

### Which procedure is used?

Competitive dialogue.

### How do I submit a bid?

On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8)

### Am I eligible?

Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8)

## Companies that might fit

*Possible match based on public information*

Companies Inteliwert knows from its sources, not the whole market. Inteliwert does not judge eligibility, fit or chances.

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  - Seat in the same region as the place of performance: [Evidence](https://inteliwert.com/company/org_4DEFAH4R6VWYNZJJ7MJ6ZZM6B7), checked 9 Nov 2026
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  - Seat in the same country as the place of performance: [Evidence](https://inteliwert.com/company/org_Y2Q053S51EJYVQYWR9TW299D79), checked 9 Nov 2026

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## Source

- Publisher: Bekanntmachungsservice
- Licence: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/)
- Official notice: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/b750304c-da88-45ba-b95f-4b3656e001d8)
- Last checked: 9 November 2026, 04:31 (UTC+01:00)

The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.

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Page: https://inteliwert.com/tender/opp_7YXF52V8CNC34Y2BSJP21BZD24/aetzanlage-zum-tiefen-silicium-aetzen-fuer-mems

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