# Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P Awarded · Tender **This opportunity has been awarded. Its page stays for reference.** Similar open opportunities: - [Die Lieferung eines kompletten Tauchkreiselpumpen-Systems (TKP-Systems) zum Einbau in eine Geothermieanlage.](https://inteliwert.com/tender/opp_NA26NXKMX1TZ39FAEYCJ1THQ8N/die-lieferung-eines-kompletten-tauchkreiselpumpen-systems-tkp-systems-zum-einbau) - [Los 2: Erneuerung Heizwerke Würzburg - Lieferung und Montage Elektrodenkessel](https://inteliwert.com/tender/opp_PNP9X4TTVTKD771AY0YMEM47AC/los-2-erneuerung-heizwerke-wuerzburg-lieferung-und-montage-elektrodenkessel) - [Einführung eines IDBT (ID basiertes Ticketing) Systems](https://inteliwert.com/tender/opp_NQAKCG8N3S2A0051HW7FYTKCXA/einfuehrung-eines-idbt-id-basiertes-ticketing-systems) - [Detail-Engineering und Bau einer Forschungsanlage zur Synthese von Kraftstoffen - PR1107510-3850-W](https://inteliwert.com/tender/opp_4RF0FQQEFA5KQ9X4Y0TYDV12C9/detail-engineering-und-bau-einer-forschungsanlage-zur-synthese-von-kraftstoffen-) - [Die Lieferung von Luft-Wasser-Wärmepumpen und Zubehör.](https://inteliwert.com/tender/opp_WZ9CV2C7SPX9YBTXVRY846RN6Y/die-lieferung-von-luft-wasser-waermepumpen-und-zubehoer) ## At a glance Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 is procuring Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) in München, Kreisfreie Stadt (DE212). It has been awarded. Procedure type: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation. ### From the notice Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) ## Key facts - Status: Awarded - Deadline: No deadline in the notice - Buyer: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/company/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forsc), München, DE - Place of performance: München, Kreisfreie Stadt (DE212) - Main CPV: Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) - Procedure: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation - Lots: 1 - First published: 16 July 2026, 14:33 (UTC+02:00) Source: [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98). Each fact is from the official notice, last checked 10 November 2026, 09:30 (UTC+01:00). Fact sheet: [Inteliwert fact sheet: Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. A product of Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_E2NDDFE58NPA9V0BX88M8EA84D/ntv_W5FNGVB4JWP6YKY0HW59YYPQAK/en-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lots (1) ### Lot LOT-0000: Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P 1 Stück Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) Ätzgeräte für 200-mm-Substrate. Das Ätzen von Glas oder Quarz für Interposer oder strukturierte Oberflächen erfordert hochentwickelte Prozesskammern mit hoher Plasmadichte und homogener Ätzrate. In der Regel sind harte Maskierungsschichten aus Metall oder Polysilizium erforderlich, um diese Strukturen auf Glas- oder Quarzsubstrate zu übertragen. Aus diesem Grund benötigt eine Ätzkammer für dicke Maskierungsschichten ebenfalls Plasma mit hoher Dichte, um angemessene Ätzraten zu erzielen. Um hingegen Metallleitungen mit geringem Widerstand zu realisieren, die nicht zu viel Fläche beanspruchen, sind höhere Metallleitungen erforderlich. Diese können ebenfalls mit diesem Kammertyp geätzt werden. Für die fortschrittliche Heterointegration reichen die Schichtdicken von einigen µm bis zu 25 µm und die dielektrischen Schichten oder Glassubstrate von 2 µm bis zu 150 µm. Der Anlagenlieferant sollte Verarbeitungsbeispiele insbesondere für das Tiefenätzen in Glassubstraten vorlegen. Nicht jedes Metall haftet gut auf Quarz- oder Glasoberflächen. Daher werden geeignete leitfähige Schichten sowie nichtleitende Schichten wie Nitride verwendet. Neben der Verbesserung der Haftung werden diese Schichten auch als Stoppschichten verwendet und müssen gelegentlich in einem separaten Verarbeitungsschritt und einer speziellen Ätzkammer entfernt werden. Die Anforderungen an die Gleichmäßigkeit für die geplante Anwendung, sowohl bei der Abscheidung als auch bei der Strukturierung, sollten 1 % nicht überschreiten. Das Werkzeug muss transparente Substrate erkennen und verarbeiten können, ohne dass vor der Verarbeitung im Werkzeug zusätzliche opake Schichten aufgebracht werden müssen. Diese Ausrüstung muss angeschafft werden, da es im Mikroelektronik-Konsortium kein vergleichbares System gibt, das die technischen und prozessspezifischen Anforderungen, beispielsweise hinsichtlich Kontamination oder Zykluszeit, erfüllt. Optionen: 1\.6 EMFT-01.2 Ätzen von Ni, Nb, NbN, Si3N4 Substratheizung als zusätzliche Option neben gekühltem Substrat 1\.7 EMFT-01.2 Ätzen von Ni, Nb, NbN, Si3N4 Kantenabdeckring 2\.4 EMFT-01.3 Quarzätzen Randabdeckring Substratkantenschutz mit Abdeckring erwünscht 3\.3 EMFT-01.4 Nitridätzen (TiN, AlN) "Mindestens ein Rezept zum Ätzen von < 1 µm dicken Schichten für jedes der Verbundmaterialien " "Beschreibung der Ätzgasen und der Art des Maskierungsmaterials Die umfassendste Beschreibung ergibt die höchste Punktzahl." 4\.5 EMFT-01.5 Ätzen von Silizium/Siliziumverbundstoffen (c-Si, poly-Si, SiC) "Mindestens ein Rezept für das Ätzen jedes der Silizium-/Siliziumverbundwerkstoffe " "Beschreibung der Ätzgasen und der Art des Maskierungsmaterials Die umfassendste Beschreibung erzielt die höchste Punktzahl." 5\.2 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling Loadlock für das Laden von 25 Wafern in Kassetten 5\.3 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling Bildschirm und Bedienfeld auf beiden Seiten (Grauraum-Reinraum) 5\.6 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling "Pumpen für Transferkammer " Turbopumpen und Vorpumpen für Turbopumpen 5\.7 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling "Pumpen für Loadlock-Kammer " Turbopumpen und Vorpumpen für Turbopumpen 8\.1 Garantie-/Servicebedingungen Angebot eines Servicevertrags Angebot eines Servicevertrags, gültig nach Ablauf der Garantiezeit. Es sollte die Beschreibung der Dienstleistung, die Anzahl der Arbeitsstunden und die benötigten Ersatzteile enthalten.8.2 Garantie-/Servicebedingungen Liste der Ersatzteil-Kits für Verschleißteile Liste der Ersatzteil-Kits für Verschleißteile - CPV: Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) - Place: München, Kreisfreie Stadt (DE212) ## Timeline - 16 July 2026, 14:33 (UTC+02:00): Award notice, Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98) - 16 July 2026: Award. Winner: Ulvac GmbH; Tenders received: 1 ## Classification - CPV codes: Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) - NUTS regions: München, Kreisfreie Stadt (DE212) - Other parties in the notice: Ulvac GmbH (Tenderer); Ulvac GmbH (Winner) ## Official documents No documents found in the indexed notice. ## Questions and answers ### Who is the buyer? Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE. ### What is being procured (CPV)? Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000). ### Where is the work performed (NUTS)? München, Kreisfreie Stadt (DE212). ### Is it divided into lots? No, the notice names a single lot. ### Which procedure is used? Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation. ### How do I submit a bid? On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98) ### Am I eligible? Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98) ## More from this buyer Other published opportunities of this buyer in the indexed notices, open ones first. - [Rohbauarbeiten 70-\[…\] - PR1329418-2720-B](https://inteliwert.com/tender/opp_QG1TWRVKRY7YHAJF27HJ4ZDEFT/rohbauarbeiten-70-00561-2720-301-pr1329418-2720-b) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Place: DED2D (Sachsen) · Deadline: 7 Dec 2026, 11:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/777333-2026), Last checked 10 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00) - [multidisziplinäre Zitations- und Analysedatenbank - PR1273173-9789-I](https://inteliwert.com/tender/opp_0VPFJ8ZCVZGY3R7TPC96WK01Y6/multidisziplinaere-zitations-und-analysedatenbank-pr1273173-9789-i) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Place: DE212 (Bayern) · Deadline: 11 Nov 2026, 09:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/773072-2026), Last checked 7 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00) - [Business-Notebook Rahmenvereinbarung - PR1248160-9782-I](https://inteliwert.com/tender/opp_ES0DQBDA8JQNB07SHSGCWN6ZP5/business-notebook-rahmenvereinbarung-pr1248160-9782-i) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Place: DE212 (Bayern) · Deadline: 23 Nov 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0f995efc-c143-4a44-9d57-3ffcbc9e7f38), Last checked 6 Nov 2026, 16:30 (UTC+01:00) - [Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P](https://inteliwert.com/tender/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 · Place: DED21 (Sachsen) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6), Last checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00) - [Stromversorgungsanlagen 70-\[…\]a - PR1313999-2780-B](https://inteliwert.com/tender/opp_RSJG6R3RQCS4TPWM960PTJQDE4/stromversorgungsanlagen-70-00002-2780-407a-pr1313999-2780-b) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Place: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Deadline: 15 Dec 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/992730e1-e05a-4380-a6e0-63e782de27c2), Last checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00) ## Related opportunities - [Die Lieferung eines kompletten Tauchkreiselpumpen-Systems (TKP-Systems) zum Einbau in eine Geothermieanlage.](https://inteliwert.com/tender/opp_NA26NXKMX1TZ39FAEYCJ1THQ8N/die-lieferung-eines-kompletten-tauchkreiselpumpen-systems-tkp-systems-zum-einbau) Open · Buyer: SWM Services GmbH · Place: DE212 (Bayern) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/d46d52a5-1eb8-4d45-8726-7f4b5b969000), Last checked 10 Nov 2026, 20:30 (UTC+01:00) - [Los 2: Erneuerung Heizwerke Würzburg - Lieferung und Montage Elektrodenkessel](https://inteliwert.com/tender/opp_PNP9X4TTVTKD771AY0YMEM47AC/los-2-erneuerung-heizwerke-wuerzburg-lieferung-und-montage-elektrodenkessel) Open · Buyer: Stadtwerke Würzburg AG · Place: DE263 (Bayern) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ce21c142-b6f9-4951-b439-d7f2f2a2f94b), Last checked 10 Nov 2026, 16:30 (UTC+01:00) - [Einführung eines IDBT (ID basiertes Ticketing) Systems](https://inteliwert.com/tender/opp_NQAKCG8N3S2A0051HW7FYTKCXA/einfuehrung-eines-idbt-id-basiertes-ticketing-systems) Open · Buyer: Regensburger Verkehrsverbund GmbH · Place: DE232 (Bayern) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f52c0ec4-7165-4e37-be9e-e659c1d36ec0), Last checked 10 Nov 2026, 12:30 (UTC+01:00) - [Detail-Engineering und Bau einer Forschungsanlage zur Synthese von Kraftstoffen - PR1107510-3850-W](https://inteliwert.com/tender/opp_4RF0FQQEFA5KQ9X4Y0TYDV12C9/detail-engineering-und-bau-einer-forschungsanlage-zur-synthese-von-kraftstoffen-) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 · Place: DE223 (Bayern) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/75d28373-a8a0-4289-a644-ed29c222e9ad), Last checked 10 Nov 2026, 08:30 (UTC+01:00) - [Die Lieferung von Luft-Wasser-Wärmepumpen und Zubehör.](https://inteliwert.com/tender/opp_WZ9CV2C7SPX9YBTXVRY846RN6Y/die-lieferung-von-luft-wasser-waermepumpen-und-zubehoer) Open · Buyer: Stadtwerke München GmbH · Place: DE212 (Bayern) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/f0350d63-69ba-44a6-80a1-b1ca8a53cb15), Last checked 9 Nov 2026, 03:31 (UTC+01:00) - [ARA + ABA MPAL Mü. Pasing-Langwied - 545](https://inteliwert.com/tender/opp_D7C0FBC902N297E9X80WRE61Y9/ara-aba-mpal-mue-pasing-langwied-545) Open · Buyer: DB Regio AG (Bukr 12) · Place: DE212 (Bayern) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ebb55c5c-43b9-4133-a2c6-6f8e500f4a37), Last checked 8 Nov 2026, 23:30 (UTC+01:00) ## Source - Publisher: Bekanntmachungsservice - Licence: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Official notice: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/882eab2b-5a44-42e2-9bc2-93fee2eeed98) - Last checked: 10 November 2026, 09:30 (UTC+01:00) The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it. --- Page: https://inteliwert.com/tender/opp_E2NDDFE58NPA9V0BX88M8EA84D/glas-and-metal-etch-emft-01-2-emft-01-6-pr1074784-2270-p Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.