# Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P

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## At a glance

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 is procuring Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) in Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21). Procedure type: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation.

### From the notice

Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3)

## Key facts

- Status: Open
- Deadline: No deadline in the notice
- Buyer: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/company/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-einkauf-b12), München, DE
- Place of performance: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)
- Main CPV: Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100)
- Procedure: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation
- Lots: 1
- First published: 4 November 2026, 12:47 (UTC+01:00)

Source: [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6). Each fact is from the official notice, last checked 6 November 2026, 07:11 (UTC+01:00).

Fact sheet: [Inteliwert fact sheet: Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. A product of Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/ntv_H7RX064MCSX5TGTJ6E4QK1MJVH/en-sheet.png) (PNG, 1600 × 900)

## Lots (1)

### Lot LOT-0000: Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P

1x Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3)

Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Critical-Dimension-Strukturen (CD), Schichtdicken und Cu-Dishing auf 300-mm- und 200-mm-Wafern. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte, zerstörungsfreie Messung kleinerer Strukturgrößen und der Oberflächentopografie. Das Messgerät ist unverzichtbar für die Prozesskontrolle bei der Herstellung fortschrittlicher Gehäuse und Verbindungen, einschließlich der Charakterisierung von Cu-Strukturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich nach dem CMP-Prozess in hochintegrierten, auf Chiplets basierenden 2,5D/3D- und quasi-monolithischen Gehäusearchitekturen. Das Gerät ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine starke Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Als Wafer-Substrate kommen Silizium und/oder Glas mit Dicken von bis zu 2,5 mm zum Einsatz. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen:
\- Laden der vorgesehenen Wafer aus den FOUPs
\- Ausführen der Messaufgaben
\- Zurückbringen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUPs
Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen in Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird vorausgesetzt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Anlage mit allen unten beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen erbringen kann.

- CPV: Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100)
- Place: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

## Timeline

- 4 November 2026, 12:47 (UTC+01:00): Original notice, Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6)
- 4 November 2026, 12:47 (UTC+01:00): Change, Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime), [Official notice](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/771051-2026)

## Classification

- CPV codes: Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100)
- NUTS regions: Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

## Official documents

- [vergabe.fraunhofer.de](https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1a15db67cb1-61d408c4190e42e0)

## Questions and answers

### Who is the buyer?

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE.

### What is being procured (CPV)?

Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100).

### Where is the work performed (NUTS)?

Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21).

### Is it divided into lots?

No, the notice names a single lot.

### Which procedure is used?

Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation.

### How do I submit a bid?

On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6)

### Am I eligible?

Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6)

## Companies that might fit

*Possible match based on public information*

Companies Inteliwert knows from its sources, not the whole market. Inteliwert does not judge eligibility, fit or chances.

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## Source

- Publisher: Bekanntmachungsservice
- Licence: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/)
- Official notice: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5a637237-954b-47fa-9d5f-fc606c1d85e6)
- Last checked: 6 November 2026, 07:11 (UTC+01:00)

The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.

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Page: https://inteliwert.com/tender/opp_F6SFM0JKMBGYVHZAJZ2ATZY7A2/fully-automated-in-line-ocd-and-dimensional-shape-metrology-system-izm-133-3-pr1

Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert.

Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.