# Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie Open · Tender ## At a glance Westsächsische Hochschule Zwickau is procuring Machinery for the heat treatment of materials (CPV 42940000) in Zwickau (DED45). The notice gives 26 November 2026, 09:00 (UTC+01:00) as the deadline. Procedure type: Open. ## Key facts - Status: Open - Deadline: 26 November 2026, 09:00 (UTC+01:00) (in 20 days) - Buyer: Westsächsische Hochschule Zwickau, Zwickau, DE - Place of performance: Zwickau (DED45) - Main CPV: Machinery for the heat treatment of materials (CPV 42940000) - Procedure: Open - Lots: 1 - First published: 21 October 2026, 08:45 (UTC+02:00) Source: [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997). Each fact is from the official notice, last checked 26 October 2026, 15:28 (UTC+01:00). Fact sheet: [Inteliwert fact sheet: Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie — Westsächsische Hochschule Zwickau, deadline 26 November 2026, 09:00 (UTC+01:00). A product of Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_G4EEWPH2PRTCP6HHEM4JPWADQW/ntv_57V82JS5FG483215V5N0JWCS89/en-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lots (1) ### Lot LOT-0001: Hochtemperatur/ LP-CVD System für Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie 1 STK Hochtemperaturanlage mit 8 Prozessstationen / Rohren mit Beladeeinrichtungen für Hochtemperatur- und LP-CVD Prozesse, vorwiegend für monokristalline Siliziumwafer. - Footprint der Gesamtanlage nicht größer als 400cm x 600cm x 295cm (L x B x H). - Besteht das Gesamtsystem aus mehreren Einzelanlagen / Teilen müssen alle Anlagen innerhalb des angegebenen Footprints aufgestellt werden können. - Vom angegebenen Footprint ausgenommen sind ausschließlich eine etwaige Bedienkonsole, diese darf separat auf einem max. 180cmx80cm messenden Tisch untergebracht werden und die Vakuum-Pumpen, welche innerhalb eines Service-Bereichs untergebracht werden dürfen. - Bei zwei gekoppelten Einzelanlagen: ist eine an der Rückwand gespiegelte Konfiguration (eine Anlage mit Beladestationen rechts, eine Anlage mit Beladestationen links) vorzusehen - Alle 8 Prozessstationen sind auf die parallele Bearbeitung von mindestens 13 Stück Wafer pro Prozess auszulegen. - Die verarbeitbaren Durchmesser der Wafer sind mindestens: o 150mm und o 100mm - Die Prozessstationen sind als horizontal angeordnete Prozessrohre mit jeweils einem Quarz- oder SiC-Rohr und jeweils einer automatischen/motorisierten Beladestation vorzusehen. - Der Ausleger (Paddle) zur Beladung ist aus Siliciumcarbid auszuführen. - Die Beladestation(en) sind mit Luftfiltereinheit(en) mit laminarer Luftströmung vorzusehen. - Jede Prozessstation ist mit jeweils mindestens 3 Temperaturregelzonen pro Prozessrohr auszuführen. - Jedes LP - CVD Prozessrohr ist mit einem integrierten Leckratetest / Druckverlustprofiling zu realisieren. - Innerhalb der Bearbeitungszone der min. 13 Prozesswafer (Flat-Zone) ist im Prozess eine Temperaturabweichung vom Sollwert von höchstens +/-1 K und eine Soll-Temperaturabweichung von Run zu Run höchstens +/-1 K zu erzielen. - Mindestens ein geeignetes Thermoelement pro Temperaturregelzone zur Prozessüberwachung und -regelung muss vorhanden sein. - Mindestens ein geeignetes Thermoelement pro Temperaturregelzone als Ausfallsicherung muss vorhanden sein. - Mindestens ein Profilthermoelement pro Prozessstation - Geeignete Messeinrichtungen zur Anlagenüberwachung und Steuerung in Bezug die technische Sicherheit (z.B. Übertemperaturabschaltung, Abluftausfall, Kühlwasserausfall, Gasversorgungsausfall, redundante Interlocks...) müssen vorhanden sein. - In den Gaskabinetten ist eine Prozessgaszuführung und -verteilung, Prozessgassteuerung und -überwachung nach Stand der Technik, abgestimmt auf die Eigenschaften der für die Prozessstationen spezifizierten Prozessgase und Flüssigkeiten zu realisieren. - Absaugung / Scavenger an der Prozessstation - Anlagensteuerung(en) mit Monitor und Benutzerschnittstelle, spätestens nach Ablauf der Garantie müssen alle Benutzer- und Servicelevel für die WHZ zugänglich dauerhaft sein werden - mehrere Prozessstationen können in einer Steuerung/Benutzerschnittstelle zusammengefasst werden - Bei Störung muss die Anlage selbsttätig in einen sicheren Zustand übergehen, wenn dazu eine unterbrechungsfreie Stromversorgung notwendig ist, ist diese mit zu inkludieren. - Maschinen Not-Aus Schalter, gesichert gegen Wiederanschalten - CE Zertifikat und CE Kennzeichnung für Gesamtanlage - Einhaltung der EU-Maschinenrichtlinie (2006/42/EC / oder 2023/1230, je nach Auslieferungsdatum), wo anwendbar - Vollständige Anlagendokumentation. 1 STK Prozessstation, Oxidation, n-Typ-Substrate - Dauerprozesstemperatur mindestens 1050°C - Quarz oder SiC Prozessrohr - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Wasserstoff, Sauerstoff, Dichlorethylen mit N2 Trägergas - Wasserstoff/Sauerstoff-Verbrenner zur Erzeugung von H2O und Injektion in den Ofen ("External Torch"), Überwachung und Sicherheitseinrichtungen nach Stand der Technik - Automatisiert, über die Anlage angesteuerter Bubbler mit Temperierung für 1,2-Dichlorethylen, 1500mL "Fuji"- kompatibel oder mitgelieferter Quarzbubbler. - Quartz Baffle / Diffusor, falls zur Erreichung der von Lieferer zu spezifizierenden Homogenität nötig 1 STK Prozessstation, Oxidation, p-Typ Substrate - Dauerprozesstemperatur mindestens 1050°C - Quarz oder SiC Prozessrohr - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Wasserstoff, Sauerstoff, Dichlorethylen mit N2 Trägergas - Wasserstoff/Sauerstoff-Verbrenner zur Erzeugung von H2O und Injektion in den Ofen ("External Torch"), Überwachung und Sicherheitseinrichtungen nach Stand der Technik - Automatisiert, über die Anlage angesteuerter Bubbler mit Temperierung für 1,2-Dichlorethylen, 1500mL "Fuji"- kompatibel oder mitgelieferter Quarzbubbler. - Quartz Baffle / Diffusor, falls zur Erreichung der von Lieferer zu spezifizierenden Homogenität nötig 1 STK Prozessstation, n-Dotierung - Prozesstemperatur mindestens 1000°C - Quarz oder SiC Prozessrohr, Phosphoroxychlorid Injektor und kompatibler Abgasstrang - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Sauerstoff und Phosphoroxychlorid mit N2 Trägergas - Bubbler für Phosphoroxychlorid, 1500mL "Fuji"- kompatibel oder mitgelieferter Quarzbubbler. - Baffle für Phosphoroxychlorid, dieser kann in Tür integriert sein, falls zur Erreichung der von Lieferer zu spezifizierenden Homogenität nötig - Separate Abgasführung mit Abscheider/Kondensor für Phosphorsäure 1 STK Prozessstation, p-Dotierung - Prozesstemperatur mindestens 1050°C - Quarz oder SiC Prozessrohr - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Sauerstoff, BBr3 mit N2 als Trägergas - BBr3 Injektor und kompatibler Abgasstrang - Bubbler für BBr3, 1500mL "Fuji"- kompatibel oder mitgelieferter Quarzbubbler. - Baffle für BBr3, falls zur Erreichung der von Lieferer zu spezifizierenden Homogenität nötig 1 STK Prozessstation, Oxidation - Dauerprozesstemperatur mindestens 1050°C - Quarz oder SiC Prozessrohr - Komplettes Gaszufuhrsystem mit Massenstromregelung für: Stickstoff, Wasserstoff, Sauerstoff, Dichlorethylen mit N2 Trägergas - CPV: Machinery for the heat treatment of materials (CPV 42940000), Industrial machinery (CPV 42000000), Ovens and accessories (CPV 42942000) - Place: Zwickau (DED45) - Deadline: 26 November 2026, 09:00 (UTC+01:00) ## Timeline - 21 October 2026, 08:45 (UTC+02:00): Original notice, Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997) ## Classification - CPV codes: Machinery for the heat treatment of materials (CPV 42940000); Industrial machinery (CPV 42000000); Ovens and accessories (CPV 42942000) - NUTS regions: Zwickau (DED45) ## Official documents - [www.dtvp.de](https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4D4ZMW2D/documents) ## Questions and answers ### When is the deadline? The official notice gives 26 November 2026, 09:00 (UTC+01:00) as the deadline. ### Who is the buyer? Westsächsische Hochschule Zwickau, Zwickau, DE. ### What is being procured (CPV)? Machinery for the heat treatment of materials (CPV 42940000), Industrial machinery (CPV 42000000) and Ovens and accessories (CPV 42942000). ### Where is the work performed (NUTS)? Zwickau (DED45). ### Is it divided into lots? No, the notice names a single lot. ### Which procedure is used? Open. ### How do I submit a bid? On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997) ### Am I eligible? Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997) ## Companies that might fit *Possible match based on public information* Companies Inteliwert knows from its sources, not the whole market. Inteliwert does not judge eligibility, fit or chances. - [LLT Applikation GmbH](https://inteliwert.com/company/org_36RC41CZGXHPYAXC2FJ1ZKWHDC/llt-applikation-gmbh) · Ilmenau · SME (from the award notice) · New to public tenders - Won a contract in CPV group 420 (2026-09-30): [Evidence](https://inteliwert.com/tender/opp_Y3E6T61YWXMEDKZRMXJ25DXNEJ/cnc-laseranlage), checked 4 Nov 2026 - Seat in the same country as the place of performance: [Evidence](https://inteliwert.com/company/org_36RC41CZGXHPYAXC2FJ1ZKWHDC), checked 4 Nov 2026 - [ClassOne Technology GmbH](https://inteliwert.com/company/org_8FMERV4KDYCF2TDGJSQHMWQ3EH/classone-technology-gmbh) · Jettingen Scheppach · SME (from the award notice) · New to public tenders - Won a contract in CPV group 429 (2026-10-26): [Evidence](https://inteliwert.com/tender/opp_HSAYKW2RGRBA8YHKHVXNM2SS1M/apecs-04-1-extension-of-galvanic-equipment), checked 4 Nov 2026 - Seat in the same country as the place of performance: [Evidence](https://inteliwert.com/company/org_8FMERV4KDYCF2TDGJSQHMWQ3EH), checked 4 Nov 2026 - [Gesa Consulting Gesellschaft für - EMV-Technik mbH](https://inteliwert.com/company/org_TTHCPX81JV31X8M2ZFCYPFYP3D/gesa-consulting-gesellschaft-fuer-emv-technik-mbh) · Tauberbischofsheim · SME (from the award notice) - Won a contract in CPV group 421 (2026-10-23): [Evidence](https://inteliwert.com/tender/opp_H9RE19HGTAXAB96KZN8Y4XEJCE/lieferung-netzqualitaetsueberwachungsschraenke-fuer-vier-umrichterwerke), checked 4 Nov 2026 - Seat in the same country as the place of performance: [Evidence](https://inteliwert.com/company/org_TTHCPX81JV31X8M2ZFCYPFYP3D), checked 4 Nov 2026 - [Carl Beutlhauser Fördertechnik GmbH](https://inteliwert.com/company/org_EFTH0SYSC1EDWTNVTHJVWT0Q9R/carl-beutlhauser-foerdertechnik-gmbh) · Dresden · SME (from the award notice) · New to public tenders - Won a contract in CPV group 424 (2026-10-27): [Evidence](https://inteliwert.com/tender/opp_3X1V49E05TEZH1FJ0BTKKXNPHW/mobile-3-achsen-manipulatoren), checked 4 Nov 2026 - Seat in the same federal state as the place of performance: [Evidence](https://inteliwert.com/company/org_EFTH0SYSC1EDWTNVTHJVWT0Q9R), checked 4 Nov 2026 - [ETeGO GmbH](https://inteliwert.com/company/org_A52VD6ZS17F0C559TK9MM5B8BQ/etego-gmbh) · Mosbach · SME (from the award notice) · New to public tenders - Won a contract in CPV group 425 (2026-09-22): [Evidence](https://inteliwert.com/tender/opp_VDWG1AZJZ9Y65JZNG8MJD4QMFN/originalersatzteile-klima-div-br-mit-moeglicher-second-source), checked 4 Nov 2026 - Seat in the same country as the place of performance: [Evidence](https://inteliwert.com/company/org_A52VD6ZS17F0C559TK9MM5B8BQ), checked 4 Nov 2026 ## Related opportunities - [5-Achs-Bearbeitungszentrum - PR1289077-2720-W](https://inteliwert.com/tender/opp_Z70P74AS9VDNAZ59CHJ4047YDS/5-achs-bearbeitungszentrum-pr1289077-2720-w) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12 · Place: DED41 (Sachsen) · Deadline: 12 Nov 2026, 11:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/4c504a06-46cd-45e0-8548-d7f35a6506ba), Last checked 6 Nov 2026, 12:30 (UTC+01:00) - [Instandsetzung von 2 Lastenaufzügen und 1 Personenaufzug](https://inteliwert.com/tender/opp_PCMCVH0AF2DTBXFPXP5GM56ZF4/instandsetzung-von-2-lastenaufzuegen-und-1-personenaufzug) Open · Place: DED (Sachsen) · Deadline: 30 Nov 2026, 11:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/e840b26bb157fdbc), Last checked 4 Nov 2026, 05:30 (UTC+01:00) - [ÖPNV Modellstadt Görlitz – Gestaltung klimapositiver Betriebshof; Beschaffung Unterflurradsatzdrehmaschine (Straßenbahn)](https://inteliwert.com/tender/opp_TBSFHDE33DWJTJ7VMYVSP6FF0B/oepnv-modellstadt-goerlitz-gestaltung-klimapositiver-betriebshof-beschaffung-unt) Open · Buyer: Görlitzer Verkehrsbetriebe GmbH · Place: DED2D (Sachsen) · Deadline: 23 Nov 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/01a19bdf-ffa7-464f-9479-1fadfd535515), Last checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00) - [Instandsetzung von 2 Lastenaufzügen und 1 Personenaufzug](https://inteliwert.com/tender/opp_W6FJM9MFQXW4PZFAGB9ZNN15DH/instandsetzung-von-2-lastenaufzuegen-und-1-personenaufzug) Open · Place: DED (Sachsen) · Deadline: 30 Nov 2026, 11:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a326c65d80a1c1db), Last checked 4 Nov 2026, 05:30 (UTC+01:00) - [Vhv 175\_26 UFZ ID1241 "Labor-Gefriertrocknungsanlage"](https://inteliwert.com/tender/opp_9EZ27QMVG942WDM6KNAG44KB77/vhv-175-26-ufz-id1241-labor-gefriertrocknungsanlage) Open · Place: DED (Sachsen) · Deadline: 3 Nov 2026, 10:00 (UTC+01:00) (Deadline passed) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/917f88932ce06b77), Last checked 27 Oct 2026, 07:30 (UTC+01:00) - [Lieferung LKW 7,5 t Bauhof](https://inteliwert.com/tender/opp_GQS3BY41TJAZKSHKEE894NQ9S7/lieferung-lkw-7-5-t-bauhof) Open · Place: DED (Sachsen) · Deadline: 27 Oct 2026, 12:00 (UTC+01:00) (Deadline passed) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/3dca6d76a171ff6d), Last checked 27 Oct 2026, 07:30 (UTC+01:00) ## Source - Publisher: Bekanntmachungsservice - Licence: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Official notice: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ae5fd26c-1fae-40c3-b473-c6ce79dd8997) - Last checked: 26 October 2026, 15:28 (UTC+01:00) The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it. --- Page: https://inteliwert.com/tender/opp_G4EEWPH2PRTCP6HHEM4JPWADQW/hochtemperatur-lp-cvd-system-fuer-mikrosystemtechnik-und-nanotechnologie Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. Inteliwert on LinkedIn: https://www.linkedin.com/company/intelliwert, GitHub: https://github.com/inteliwertai.