# ALD-Anlage

Awarded · Tender

**This opportunity has been awarded. Its page stays for reference.**

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## At a glance

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. is procuring Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000) in Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03). It has been awarded. The notice states an estimated value of €461,344 excl. VAT. Procedure type: Open.

### From the notice

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

## Key facts

- Status: Awarded
- Deadline: No deadline in the notice
- Published value: €461,344 excl. VAT
- Buyer: [Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.](https://inteliwert.com/company/org_0HFYT9YHVGXFE72VX0DWXSXMRV/leibniz-institut-fuer-photonische-technologien-e-v), Jena, DE
- Place of performance: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
- Main CPV: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)
- Procedure: Open
- Lots: 1
- First published: 7 August 2026, 10:26 (UTC+02:00)

Source: [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d). Each fact is from the official notice, last checked 9 November 2026, 09:31 (UTC+01:00).

Fact sheet: [Inteliwert fact sheet: ALD-Anlage — Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.. A product of Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_KA5321Z1T98PR042K67852JQW8/ntv_8MB9ZY0TDB7PQ3K1T78R64FVZC/en-sheet.png) (PNG, 1600 × 900)

## Lots (1)

### Lot LOT-0001: ALD-Anlage

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

- CPV: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)
- Place: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)

## Timeline

- 7 August 2026, 10:26 (UTC+02:00): Original notice, Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/11190d9e-cf9a-419d-abd9-2a968ad46363)
- 25 August 2026, 09:17 (UTC+02:00): Change, Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/3e3d3348-95e9-412e-abbd-3eac3f140c72)
- 21 September 2026, 08:41 (UTC+02:00): Award notice, Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d)
- 18 September 2026: Award. Winner: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH; Award value: €456,249 excl. VAT; Tenders received: 5

## Classification

- CPV codes: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)
- NUTS regions: Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)
- Other parties in the notice: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH (Tenderer); SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH (Winner)

## Official documents

- [www.dtvp.de](https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YBRM3BQ/documents)

## Questions and answers

### Who is the buyer?

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Jena, DE.

### What is being procured (CPV)?

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000).

### Where is the work performed (NUTS)?

Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03).

### What is the estimated value?

The notice states an estimated value of €461,344 excl. VAT.

### Is it divided into lots?

No, the notice names a single lot.

### Which procedure is used?

Open.

### How do I submit a bid?

On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d)

### Am I eligible?

Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d)

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## Source

- Publisher: Bekanntmachungsservice
- Licence: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/)
- Official notice: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9024fc15-8a5d-4cf3-aac2-1ad94598a71d)
- Last checked: 9 November 2026, 09:31 (UTC+01:00)

The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.

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Page: https://inteliwert.com/tender/opp_KA5321Z1T98PR042K67852JQW8/ald-anlage

Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert.

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