# 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P Awarded · Tender **This opportunity has been awarded. Its page stays for reference.** Similar open opportunities: - [Stromerzeugeraggregate (SEA) 5 kW](https://inteliwert.com/tender/opp_8R97KQPK871Q2CDP64XPDWQ1W1/stromerzeugeraggregate-sea-5-kw) - [Ausstattung Elektrofachkabinette des BSZ - Julius Weisbach - in Freiberg](https://inteliwert.com/tender/opp_544DC0QJXAS9A7E98PKCSXZHM8/ausstattung-elektrofachkabinette-des-bsz-julius-weisbach-in-freiberg) - [Lieferung 5.280 m N2XS(FL)2 Y 1x630/35 mm² 6/10 kV](https://inteliwert.com/tender/opp_YKT08JKBQBP6ZJ667Z0C4VAS40/lieferung-5-280-m-n2xs-fl-2-y-1x630-35-mm-6-10-kv) - [Kauf von mobilen Stromerzeugern für die humanitäre Unterstützung der Ukraine](https://inteliwert.com/tender/opp_X34SZRZERQY4YE6W3WCE4RH60H/kauf-von-mobilen-stromerzeugern-fuer-die-humanitaere-unterstuetzung-der-ukraine) - [Projektierung, Lieferung und Errichtung eines Batteriespeichersystems (BESS)](https://inteliwert.com/tender/opp_NZM1EXDEAZEXBMQPRETB07JCNG/projektierung-lieferung-und-errichtung-eines-batteriespeichersystems-bess) ## At a glance Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 is procuring Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) in Meißen (DED2E). It has been awarded. Procedure type: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation. ### From the notice 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) ## Key facts - Status: Awarded - Deadline: No deadline in the notice - Buyer: [Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12](https://inteliwert.com/company/org_ZQDDXG2RW7JW4DR7DGWS1RF0G2/fraunhofer-gesellschaft-zur-foerderung-der-angewandten-forsc), München, DE - Place of performance: Meißen (DED2E) - Main CPV: Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) - Procedure: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation - Lots: 1 - First published: 6 July 2026, 15:26 (UTC+02:00) Source: [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83). Each fact is from the official notice, last checked 10 November 2026, 18:30 (UTC+01:00). Fact sheet: [Inteliwert fact sheet: 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. A product of Bandpey GmbH.](https://inteliwert.com/cards/opp_PQPMQ14J2MG06S598H4VFV45GY/ntv_3734FDBR6VCPWXFG8M0BSB5JVQ/en-sheet.png) (PNG, 1600 × 900) ## Lots (1) ### Lot LOT-0000: 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) - PR1191754-3460-P 1 Stück: 300mm fully automated high resolution in-line CD and overlay (IZM-133.1) Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Overlay- und Critical-Dimension-Strukturen (CD) auf 300-mm- und 200-mm-Wafern, die mittels Laser-Direct-Imaging (LDI) und i-Line-Lithografie hergestellt wurden. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte Erfassung kleinerer Strukturgrößen. Das Gerät ist unverzichtbar für die zerstörungsfreie Charakterisierung hochintegrierter, auf Chiplets basierender 2,5D/3D- und quasi-monolithischer Gehäusearchitekturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich. Die Anlage ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine hohe Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Die Wafer-Substrate bestehen aus Silizium und/oder Glas mit einer Dicke von bis zu 2,5 mm. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: \- Laden bestimmter Wafer aus den FOUPs \- Durchführung von Messaufgaben \- Zurücklegen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUP(s) Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen von Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird verlangt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Ausrüstung mit allen nachstehend beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen erfüllt. - CPV: Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) - Place: Meißen (DED2E) ## Timeline - 6 July 2026, 15:26 (UTC+02:00): Award notice, Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime), [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83) - 6 July 2026: Award. Winner: MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH; Tenders received: 1 ## Classification - CPV codes: Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) - NUTS regions: Meißen (DED2E) - Other parties in the notice: MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH (Tenderer); MueTec Automatisierte Mikroskopie und Messtechnik GmbH (Winner) ## Official documents No documents found in the indexed notice. ## Questions and answers ### Who is the buyer? Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE. ### What is being procured (CPV)? Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100). ### Where is the work performed (NUTS)? Meißen (DED2E). ### Is it divided into lots? No, the notice names a single lot. ### Which procedure is used? Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation. ### How do I submit a bid? On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83) ### Am I eligible? Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83) ## More from this buyer Other published opportunities of this buyer in the indexed notices, open ones first. - [Baustelleneinrichtung 70-\[…\] - PR1328848-2260-B](https://inteliwert.com/tender/opp_P022HMCJFD262SDB8GA1J2EJE7/baustelleneinrichtung-70-00251-2260-302-pr1328848-2260-b) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Place: DE122 (Baden-Württemberg) · Deadline: 17 Dec 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/5b64032f-0802-4c68-9d85-995276cbd586), Last checked 13 Nov 2026, 10:05 (UTC+01:00) - [Elektroinstallation 70-\[…\] - PR1260805-3140-B](https://inteliwert.com/tender/opp_F84T75FHVW9RPGY6119247NVVM/elektroinstallation-70-00241-3140-451-pr1260805-3140-b) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Place: DEA2D (Nordrhein-Westfalen) · Deadline: 19 Nov 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/05f6e4ab-0d46-4132-9ed9-048a20850cf6), Last checked 13 Nov 2026, 10:05 (UTC+01:00) - [Krananlage 70-\[…\] - PR1316824 -2780-B](https://inteliwert.com/tender/opp_8NX1676XMGYBVZAXP5K19653W7/krananlage-70-00002-2780-410-pr1316824-2780-b) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Place: DE803 (Mecklenburg-Vorpommern) · Deadline: 14 Dec 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/9815656f-1f48-47c5-9421-6d854c5f5af6), Last checked 13 Nov 2026, 10:05 (UTC+01:00) - [Lüftung und PFO 70-\[…\] - PR1331253-3460-B](https://inteliwert.com/tender/opp_FT5HEV64MWWCZJJYCD2PMX2GPQ/lueftung-und-pfo-70-00321-3460-430-pr1331253-3460-b) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Place: DED21 (Sachsen) · Deadline: 15 Dec 2026, 11:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/8296933b-bc11-4e1b-b7a2-2fef4eae4c96), Last checked 13 Nov 2026, 10:05 (UTC+01:00) - [Außenanlagen 70-\[…\] - PR1326029-2880-B](https://inteliwert.com/tender/opp_VRFAGZK0S55DWY85X8FR0SEZT8/aussenanlagen-70-00001-2880-79-pr1326029-2880-b) Open · Buyer: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Einkauf B12 - Vergabestelle Bau · Place: DEB32 (Rheinland-Pfalz) · Deadline: 17 Dec 2026, 10:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://ted.europa.eu/de/notice/-/detail/782163-2026), Last checked 12 Nov 2026, 01:30 (UTC+01:00) ## Related opportunities - [Stromerzeugeraggregate (SEA) 5 kW](https://inteliwert.com/tender/opp_8R97KQPK871Q2CDP64XPDWQ1W1/stromerzeugeraggregate-sea-5-kw) Open · Buyer: Bundesamt für Ausrüstung, Informationstechnik und Nutzung der Bundeswehr · Place: DED2E (Sachsen) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a2b7d8de-3202-494b-bc07-f7a1600ba870), Last checked 13 Nov 2026, 06:31 (UTC+01:00) - [Ausstattung Elektrofachkabinette des BSZ - Julius Weisbach - in Freiberg](https://inteliwert.com/tender/opp_544DC0QJXAS9A7E98PKCSXZHM8/ausstattung-elektrofachkabinette-des-bsz-julius-weisbach-in-freiberg) Open · Place: DED (Sachsen) · Deadline: 19 Nov 2026, 23:59 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/6bd9ca1924b9392a), Last checked 12 Nov 2026, 06:30 (UTC+01:00) - [Lieferung 5.280 m N2XS(FL)2 Y 1x630/35 mm² 6/10 kV](https://inteliwert.com/tender/opp_YKT08JKBQBP6ZJ667Z0C4VAS40/lieferung-5-280-m-n2xs-fl-2-y-1x630-35-mm-6-10-kv) Open · Buyer: eins energie in sachsen GmbH & Co. KG · Place: DED41 (Sachsen) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/0d7071a5-2a1d-4239-b652-e90248962ca1), Last checked 7 Nov 2026, 13:30 (UTC+01:00) - [Umbau Lessing-Museum Kamenz 54/2026/rem, Los 60 Beleuchtung](https://inteliwert.com/tender/opp_4ZNKJ96MRWTWEDQV9A69AP94QQ/umbau-lessing-museum-kamenz-54-2026-rem-los-60-beleuchtung) Open · Place: DED (Sachsen) · Deadline: 9 Nov 2026, 11:00 (UTC+01:00) (Deadline passed) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/a93c09fd19e13e5a), Last checked 6 Nov 2026, 17:31 (UTC+01:00) - [Kauf von mobilen Stromerzeugern für die humanitäre Unterstützung der Ukraine](https://inteliwert.com/tender/opp_X34SZRZERQY4YE6W3WCE4RH60H/kauf-von-mobilen-stromerzeugern-fuer-die-humanitaere-unterstuetzung-der-ukraine) Open · Buyer: Stadt Leipzig · Place: DED51 (Sachsen) · Deadline: 19 Nov 2026, 09:00 (UTC+01:00) · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/318e8f85-018e-489b-9c10-c47431987914), Last checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00) - [Projektierung, Lieferung und Errichtung eines Batteriespeichersystems (BESS)](https://inteliwert.com/tender/opp_NZM1EXDEAZEXBMQPRETB07JCNG/projektierung-lieferung-und-errichtung-eines-batteriespeichersystems-bess) Open · Buyer: Stadtwerke Schneeberg GmbH · Place: DED42 (Sachsen) · Deadline: 30 Nov 2026, 12:00 (UTC+01:00) · Published value: €1,900,000 excl. VAT · [Official notice](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/2cc34829-5103-4c65-88bb-4fc07514f139), Last checked 4 Nov 2026, 13:10 (UTC+01:00) ## Source - Publisher: Bekanntmachungsservice - Licence: [CC0 1.0](https://creativecommons.org/publicdomain/zero/1.0/) - Official notice: [https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83](https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/ee14950c-c9e7-42ae-8a35-e579301e4d83) - Last checked: 10 November 2026, 18:30 (UTC+01:00) The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it. --- Page: https://inteliwert.com/tender/opp_PQPMQ14J2MG06S598H4VFV45GY/300mm-fully-automated-high-resolution-in-line-cd-and-overlay-izm-133-1-pr1191754 Inteliwert is a product of Bandpey GmbH, an international data and AI software company in Munich, Germany, founded and led by Roozbeh Bandpey. Bandpey's products: Facthory, Emolysis, Copolly and Inteliwert. 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