IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer
Auf einen Blick
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in Stuttgart, Stadtkreis (DE111) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.
Aus der Bekanntmachung
Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.
Eckdaten
Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 12. November 2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00).
- Status
- OffenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
- Frist
- Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
- Auftraggeber
- Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts, Stuttgart, DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
- Leistungsort
- Stuttgart, Stadtkreis (DE111)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
- Haupt-CPV
- Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
- Verfahrensart
- Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/VerhandlungsverfahrenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
- Lose
- 1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
- Erstmals veröffentlicht
- 27. Mai 2026, 15:14 Uhr (UTC+02:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Faktenblatt

Lose (1)
Los LOT-0001: IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostruk-turierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein zweijähriger Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist es, mit dieser Belackungs-/Entwicklungsanlage sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen zu realisieren.
Verlauf
- 27. Mai 2026, 15:14 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung
Auftraggeber und Ort
Auftraggeber
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Stuttgart, DE
Leistungsort
- Stuttgart, Stadtkreis (DE111)
Einordnung
CPV-Codes
- 42990000: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
NUTS-Regionen
- DE111: Stuttgart, Stadtkreis
Amtliche Unterlagen
Die Links führen zum Herausgeber. Inteliwert kopiert die Unterlagen nicht.
Fragen und Antworten
Wer ist der Auftraggeber?
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts, Stuttgart, DE.
Was wird beschafft (CPV)?
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000).
Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?
Stuttgart, Stadtkreis (DE111).
Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?
Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.
Welche Verfahrensart gilt?
Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.
Wie gebe ich ein Angebot ab?
Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung
Bin ich teilnahmeberechtigt?
Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung
Unternehmen, die passen könnten
Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben
Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen.
HR Wallingford Limited
WallingfordKMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen AufträgenLAUBER GmbH
AlfdorfKMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen AufträgenAP und S International GmbH
DonaueschingenKMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Adelbert Haas GmbH
TrossingenKMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen AufträgenETEWE GmbH
KarlsruheKMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
Quelle
- Herausgeber
- Bekanntmachungsservice
- Lizenz
- CC0 1.0
- Amtliche Bekanntmachung
- https://oeffentlichevergabe.de/ui/de/notices/da9a78aa-67d8-4840-8c93-934615624feb
- Zuletzt geprüft
- 12. November 2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.