OffenAusschreibung

IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Auf einen Blick

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in Stuttgart, Stadtkreis (DE111) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Aus der Bekanntmachung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

Eckdaten

Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 12. November 2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00).

Status
OffenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Frist
Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Auftraggeber
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts, Stuttgart, DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Leistungsort
Stuttgart, Stadtkreis (DE111)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Haupt-CPV
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/VerhandlungsverfahrenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Lose
1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)
Erstmals veröffentlicht
27. Mai 2026, 15:14 Uhr (UTC+02:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 12.11.2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)

Faktenblatt

Inteliwert-Faktenblatt: IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer – Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts. Ein Produkt der Bandpey GmbH.
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Lose (1)

  1. Los LOT-0001: IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

    Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch "IMS") ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostruk-turierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie. Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein zweijähriger Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag. Ziel ist es, mit dieser Belackungs-/Entwicklungsanlage sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen zu realisieren.

    CPV
    Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000)
    Ort
    Stuttgart, Stadtkreis (DE111)

Verlauf

  1. 27. Mai 2026, 15:14 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung

Auftraggeber und Ort

Auftraggeber

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Stuttgart, DE

Leistungsort

  • Stuttgart, Stadtkreis (DE111)

Einordnung

CPV-Codes

  • 42990000: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

NUTS-Regionen

  • DE111: Stuttgart, Stadtkreis

Amtliche Unterlagen

Die Links führen zum Herausgeber. Inteliwert kopiert die Unterlagen nicht.

Fragen und Antworten

Wer ist der Auftraggeber?

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts, Stuttgart, DE.

Was wird beschafft (CPV)?

Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000).

Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Stuttgart, Stadtkreis (DE111).

Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

Welche Verfahrensart gilt?

Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung

Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung

Unternehmen, die passen könnten

Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben

Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen.

  • KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-08-11) Nachweis · geprüft am 13.11.2026
    • 1 Zuschlag in diesem Bereich in 36 Monaten, von 1 Auftraggeber Nachweis · geprüft am 13.11.2026
  • KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-07-27) Nachweis · geprüft am 13.11.2026
    • Sitz in derselben Region wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 13.11.2026
  • KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-09-01) Nachweis · geprüft am 13.11.2026
    • Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 13.11.2026
  • KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-04-21) Nachweis · geprüft am 13.11.2026
    • Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 13.11.2026
  • ETEWE GmbH

    Karlsruhe
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 429 (2026-08-19) Nachweis · geprüft am 13.11.2026
    • Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 13.11.2026

Quelle

Herausgeber
Bekanntmachungsservice
Lizenz
CC0 1.0
Zuletzt geprüft
12. November 2026, 17:30 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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