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ALD-Anlage

At a glance

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. is procuring Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000) in Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03). It has been awarded. The notice states an estimated value of €461,344 excl. VAT. Procedure type: Open.

From the notice

Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

Key facts

Each fact is from the official notice, last checked 9 November 2026, 09:31 (UTC+01:00).

Status
AwardedOfficial notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
Deadline
No deadline in the noticeOfficial notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
Published value
€461,344 excl. VATOfficial notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
Buyer
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Jena, DEOfficial notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
Place of performance
Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)Official notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
Main CPV
Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)Official notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
Procedure
OpenOfficial notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
Lots
1Official notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
First published
7 August 2026, 10:26 (UTC+02:00)Official notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)
Last published
21 September 2026, 08:41 (UTC+02:00)Official notice · checked 9 Nov 2026, 09:31 (UTC+01:00)

Fact sheet

Inteliwert fact sheet: ALD-Anlage — Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.. A product of Bandpey GmbH.
The key facts of this page as an image (PNG, 1600 × 900), made from the official notice. © Bandpey GmbH; terms of use. Download the fact sheet

Lots (1)

  1. Lot LOT-0001: ALD-Anlage

    Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtabscheidung eine Plasma-gestützte Atomlagenabscheidungsanlage (kurz: PE-ALD, engl. Plasma enhanced atomic layer deposition) aus, welche zum Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat (5 x 5 mm²) bis mindestens 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Abscheideprozesse verschiedener leitfähiger, halbleitender und dielektrischer Schichten. Diese sollen auch ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen) prozessiert werden. Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.

    CPV
    Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)
    Place
    Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)

Timeline

  1. 7 August 2026, 10:26 (UTC+02:00): Original notice Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime). Official notice
  2. 25 August 2026, 09:17 (UTC+02:00): Change Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime). Official notice
  3. 18 September 2026: Award. Winner: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH; Award value: €456,249 excl. VAT; Tenders received: 5; Lot LOT-0001.
  4. 21 September 2026, 08:41 (UTC+02:00): Award notice Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime). Official notice

Buyer and place

Buyer

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.
Jena, DE

Place of performance

  • Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03)

Other parties in the notice

  • SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH (Tenderer), Krailling
  • SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH (Winner), Krailling

Classification

CPV codes

  • 38000000: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)

NUTS regions

  • DEG03: Jena, Kreisfreie Stadt

Official documents

Links go to the publisher. Inteliwert does not copy the documents.

Questions and answers

Who is the buyer?

Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V., Jena, DE.

What is being procured (CPV)?

Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000).

Where is the work performed (NUTS)?

Jena, Kreisfreie Stadt (DEG03).

What is the estimated value?

The notice states an estimated value of €461,344 excl. VAT.

Is it divided into lots?

No, the notice names a single lot.

Which procedure is used?

Open.

How do I submit a bid?

On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. Official notice

Am I eligible?

Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. Official notice

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Source

Publisher
Bekanntmachungsservice
Licence
CC0 1.0
Last checked
9 November 2026, 09:31 (UTC+01:00)

The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.

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