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OffenAusschreibung

Rasterelektronenmikroskop - PR1253394-2790-W

Auf einen Blick

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Rasterelektronenmikroskope (CPV 38511100) in Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Aus der Bekanntmachung

Rasterelektronenmikroskop

Eckdaten

Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 9. November 2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00).

Status
OffenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)
Frist
Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)
Leistungsort
Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)
Haupt-CPV
Rasterelektronenmikroskope (CPV 38511100)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/VerhandlungsverfahrenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)
Lose
1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)
Erstmals veröffentlicht
3. August 2026, 19:54 Uhr (UTC+02:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)

Faktenblatt

Inteliwert-Faktenblatt: Rasterelektronenmikroskop - PR1253394-2790-W – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.
Die Eckdaten dieser Seite als Bild (PNG, 1600 × 900), erstellt aus der amtlichen Bekanntmachung. © Bandpey GmbH; Nutzungsbedingungen. Faktenblatt herunterladen

Lose (1)

  1. Los LOT-0000: Rasterelektronenmikroskop - PR1253394-2790-W

    1 Stück Rasterelektronenmikroskop Die Rasterelektronenmikroskopie (REM) ist ein weit verbreitetes analytisches Verfahren zur Materialanalyse, das eine zerstörungsfreie, benutzerfreundliche Handhabung mit vielfältigen Möglichkeiten zur Materialcharakterisierung verbindet. Neben der Abbildung von Materialoberflächen ermöglicht die REM den Einsatz verschiedener spektroskopischer und beugungsbasierter Methoden zur Analyse der chemischen Zusammensetzung, kristallographischer Eigenschaften sowie struktureller Defekte. Mit einem Feldemissions-REM (FE-REM) lässt sich ein breiter Vergrößerungsbereich erschließen, der bis in den Sub-Nanometer-Auflösungsbereich reicht. Als führendes Institut auf dem Gebiet der Materialien mit (ultra-)breiter Bandlücke benötigen wir ein REM, das ein breites Spektrum materialwissenschaftlicher Charakterisierungsaufgaben unterstützt. Dazu gehören insbesondere die Charakterisierung von Bulk-Kristallen mit (ultra-)breiter Bandlücke, feinkörnigen Ausgangsmaterialien, unbehandelten Substraten hinsichtlich intrinsischer Defekte und Restschäden (z. B. aus Polierprozessen), Substraten mit epitaktischen Schichten für (opto-)elektronische Bauelemente sowie vollständig prozessierten Bauelement-Wafern. Die wesentlichen Anforderungen an das geplante REM lassen sich in drei Hauptaspekte unterteilen: 1) Ein elektronenoptisches System, das eine hochmoderne, hohe laterale Auflösung bis in den Sub-Nanometer-Bereich bietet. Dies muss mit einer umfassenden Detektorausstattung kombiniert sein, einschließlich Kammerdetektoren für Sekundärelektronen (SE) und Rückstreuelektronen (BSE) sowie In-Lens-Detektoren für SE- und BSE-Elektronen, jeweils mit wählbaren Energiebereichen und klarer Trennung der jeweiligen Signale. Bevorzugt wird eine feldfreie Objektivlinse, um Einschränkungen durch magnetische Wechselwirkungen oder Fokussierungsprobleme zu vermeiden, die auftreten können, wenn leitfähige Kanäle (z. B. in elektronischen Bauelementen) in das starke Linsenfeld geneigt werden. Beschleunigungsspannung und Strahlstrom müssen einfach und unabhängig voneinander zwischen hochauflösenden und analytischen Betriebsmodi umschaltbar sein, ohne dass eine aufwendige Neujustierung erforderlich ist. Zudem ist eine technische Lösung zur Vermeidung von Probenaufladungen erforderlich, da einige unserer Materialien aufgrund ihrer breiten Bandlücke elektrisch isolierend wirken oder auf isolierenden Substraten montiert sind. 2) Eine wesentliche Anforderung ist die Möglichkeit, Wafer mittels verschiedener Verfahren - wie etwa der Electron Channeling Contrast Imaging (ECCI)-Technik und der Kathodolumineszenz (CL)-Analyse - an derselben interessierenden Stelle (Region of Interest, ROI) zu untersuchen. Bei Wafern bis zu 8 Zoll muss es möglich sein, jede Position vom Zentrum bis zum Waferrand unter bevorzugten ECCI-Bedingungen anzusteuern, ohne den interessierenden Bereich (ROI) zu verlieren - etwa durch Wafer-Rotation oder Wiederholgenauigkeitsunsicherheiten bei weitreichenden X/Y-Bewegungen während der automatisierten Datenerfassung. Für Wafer bis zu 12 Zoll sollte der größtmögliche Bereich zugänglich sein. Angesichts der typischerweise niedrigen Versetzungsdichten (< 10⁴ cm⁻²) sind eine hohe Pixelzahl sowie ein großes Sichtfeld bei geringer Vergrößerung (bis zu 400 × 400 µm) für den Vergleich von ECCI- und CL-Ergebnissen unerlässlich. Zur Proben-Navigation muss die Verwendung sowohl intern als auch extern aufgenommener Bilder (einschließlich solcher aus anderen Verfahren) möglich sein, um ein zuverlässiges Wiederauffinden ausgewählter Strukturen auf dem gesamten Wafer mit einer Genauigkeit im Mikrometerbereich zu gewährleisten. Dies ist besonders wichtig, wenn Strukturen nur bei hoher Vergrößerung in speziellen Elektronenbildern sichtbar sind, etwa im CL-Kontrast oder als kleine Versetzungen im Beugungsmodus. 3) Für die automatisierte Datenerfassung muss ein breites Funktionsspektrum zur Verfügung stehen. Das System soll eine umfassende Softwarelösung bieten, die sowohl die automatisierte Steuerung der Elektronenmikroskop-Funktionen als auch deren freie Anordnung innerhalb ausgewählter ROIs auf dem Wafer ermöglicht. Dies soll über eine moderne, intuitive grafische Benutzeroberfläche mit einem "Drag-and-Drop"-Workflow-Editor realisiert werden; dieser erlaubt es dem Anwender, nahezu jede Mikroskopfunktion mit definierten ROI-Listen in beliebiger Reihenfolge zu kombinieren - einschließlich Schleifen, bedingter Wenn-Dann-Logik (if/else) und modularer Gruppierung von Workflow-Elementen. Der automatisierte Bildgebungs-Workflow darf sich nicht auf die Aufnahme großer Sichtfelder beschränken, sondern muss auch hochauflösende Bildaufnahmen ermöglichen. Darüber hinaus soll das System integrierte Skripting-Funktionen enthalten, die die Ausführung kundenspezifischer Python-Codes sowie das Extrahieren, Modifizieren und Wiedereinbinden von Python-Unterprogrammen erlauben, um maßgeschneiderte, komplexe Automatisierungs- und Datenverarbeitungsroutinen zu erstellen. Optionen: 1.1.21 Software zur Auswertung von ECP-Mustern Software, die die Indizierung von Beugungslinien und die Bestimmung von Kippwinkeln auf der Grundlage gemessener Elektronen-Channeling-Muster (ECP) ermöglicht. 1.2.9 Zusätzliche Durchführungen Kabel- und Stickstoffdurchführungen für einen EBIC-Probentisch und eine Stickstoff-Kühleinheit. 1.2.10 Plasma-Reiniger Plasma-Reiniger im Inneren der Hauptkammer. 1.4.11 Software zur Analyse geschichteter Proben Software zur Analyse geschichteter Proben mit Schichtdicken im Nanometer- bis Mikrometerbereich; die Analyse soll entweder auf vorgegebenen Schichtdicken oder auf der Zusammensetzung der einzelnen Schichten basieren.

    CPV
    Rasterelektronenmikroskope (CPV 38511100)
    Ort
    Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252)

Verlauf

  1. 3. August 2026, 19:54 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung

Auftraggeber und Ort

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
München, DE

Leistungsort

  • Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252)

Einordnung

CPV-Codes

  • 38511100: Rasterelektronenmikroskope

NUTS-Regionen

  • DE252: Erlangen, Kreisfreie Stadt

Amtliche Unterlagen

Die Links führen zum Herausgeber. Inteliwert kopiert die Unterlagen nicht.

Fragen und Antworten

Wer ist der Auftraggeber?

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE.

Was wird beschafft (CPV)?

Rasterelektronenmikroskope (CPV 38511100).

Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Erlangen, Kreisfreie Stadt (DE252).

Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

Welche Verfahrensart gilt?

Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung

Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung

Unternehmen, die passen könnten

Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben

Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen.

  • Photon Etc Inc

    Montreal
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 385 (2026-08-03) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Der Auftraggeber nennt die Ausschreibung KMU-geeignet, und das Unternehmen ist ein KMU Nachweis · geprüft am 09.11.2026

  • TESCAN GmbH

    Dortmund
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 385 (2026-09-14) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

  • FICONET systems GmbH

    Steinberg
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 385 (2026-08-10) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

  • Jeol (Germany) GmbH

    Freising
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 385 (2026-08-12) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

  • CJ-Optik GmbH & Co. KG

    Asslar
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 385 (2026-08-11) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers

Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst.

Quelle

Herausgeber
Bekanntmachungsservice
Lizenz
CC0 1.0
Zuletzt geprüft
9. November 2026, 13:30 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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