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OffenAusschreibung

Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P

Auf einen Blick

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) in Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Aus der Bekanntmachung

Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3)

Eckdaten

Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 6. November 2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00).

Status
OffenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)
Frist
Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)
Leistungsort
Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)
Haupt-CPV
Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/VerhandlungsverfahrenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)
Lose
1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)
Erstmals veröffentlicht
4. November 2026, 12:47 Uhr (UTC+01:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)

Faktenblatt

Inteliwert-Faktenblatt: Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.
Die Eckdaten dieser Seite als Bild (PNG, 1600 × 900), erstellt aus der amtlichen Bekanntmachung. © Bandpey GmbH; Nutzungsbedingungen. Faktenblatt herunterladen

Lose (1)

  1. Los LOT-0000: Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P

    1x Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Critical-Dimension-Strukturen (CD), Schichtdicken und Cu-Dishing auf 300-mm- und 200-mm-Wafern. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte, zerstörungsfreie Messung kleinerer Strukturgrößen und der Oberflächentopografie. Das Messgerät ist unverzichtbar für die Prozesskontrolle bei der Herstellung fortschrittlicher Gehäuse und Verbindungen, einschließlich der Charakterisierung von Cu-Strukturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich nach dem CMP-Prozess in hochintegrierten, auf Chiplets basierenden 2,5D/3D- und quasi-monolithischen Gehäusearchitekturen. Das Gerät ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine starke Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Als Wafer-Substrate kommen Silizium und/oder Glas mit Dicken von bis zu 2,5 mm zum Einsatz. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: - Laden der vorgesehenen Wafer aus den FOUPs - Ausführen der Messaufgaben - Zurückbringen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUPs Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen in Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird vorausgesetzt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Anlage mit allen unten beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen erbringen kann.

    CPV
    Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100)
    Ort
    Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

Verlauf

  1. 4. November 2026, 12:47 Uhr (UTC+01:00): Erstbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung
  2. 4. November 2026, 12:47 Uhr (UTC+01:00): Änderung Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung

Auftraggeber und Ort

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
München, DE

Leistungsort

  • Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

Einordnung

CPV-Codes

  • 31712100: Mikroelektronische Maschinen und Geräte

NUTS-Regionen

  • DED21: Dresden, Kreisfreie Stadt

Amtliche Unterlagen

Die Links führen zum Herausgeber. Inteliwert kopiert die Unterlagen nicht.

Fragen und Antworten

Wer ist der Auftraggeber?

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE.

Was wird beschafft (CPV)?

Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100).

Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21).

Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

Welche Verfahrensart gilt?

Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung

Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung

Unternehmen, die passen könnten

Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben

Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen.

  • Elektrotechnik Homeier GmbH

    Alteglofsheim
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 317 (2026-10-26) Nachweis · geprüft am 06.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 06.11.2026

  • TRICERA energy GmbH

    Bobritzsch-Hilbersdorf
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 314 (2026-11-03) Nachweis · geprüft am 06.11.2026
    • Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 06.11.2026

  • SAB GmbH Steuerungs- und Anlagenbau

    Nufringen
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 312 (2026-10-16) Nachweis · geprüft am 06.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 06.11.2026

  • Bauer Elektroanlagen GmbH Frankfurt

    Neu Isenburg
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 315 (2026-11-03) Nachweis · geprüft am 06.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 06.11.2026

  • Nextorch Deutschland GmbH

    Heiligenhaus
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 315 (2026-10-26) Nachweis · geprüft am 06.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 06.11.2026

Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers

Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst.

Quelle

Herausgeber
Bekanntmachungsservice
Lizenz
CC0 1.0
Zuletzt geprüft
6. November 2026, 07:11 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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