Anmelden Zugang anfordern
AnmeldenZugang anfordern
Vergeben

Der Zuschlag ist erteilt. Die Seite bleibt zum Nachschlagen erhalten.

Ähnliche offene Ausschreibungen

VergebenAusschreibung

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

Auf einen Blick

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Aus der Bekanntmachung

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Eckdaten

Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 5. November 2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00).

Status
VergebenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)
Frist
Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)
Auftraggeber
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder), DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)
Leistungsort
Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)
Haupt-CPV
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/VerhandlungsverfahrenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)
Lose
1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)
Erstmals veröffentlicht
2. November 2026, 15:32 Uhr (UTC+01:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 05.11.2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)

Faktenblatt

Inteliwert-Faktenblatt: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration – IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik. Ein Produkt der Bandpey GmbH.
Die Eckdaten dieser Seite als Bild (PNG, 1600 × 900), erstellt aus der amtlichen Bekanntmachung. © Bandpey GmbH; Nutzungsbedingungen. Faktenblatt herunterladen

Lose (1)

  1. Los LOT-0001: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

    Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierfür sind die Lieferung, Integration und Inbetriebnahme der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten sowie die Durchführung aller notwendigen Anpassungs-, Test- und Qualifizierungsmaßnahmen erforderlich. Der Leistungsumfang umfasst insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems zur Realisierung eines kontrollierten Umschaltens der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer zur Unterstützung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen. Darüber hinaus ist zusätzliche Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr zu liefern und in das bestehende System zu integrieren. Die angebotene Lösung muss mit der vorhandenen Anlagenkonfiguration kompatibel sein und die technische Funktionalität einer WxZ Sprint Konfiguration gewährleisten. Zur Ermittlung des konkreten Anpassungsbedarfs wird eine Vor-Ort-Besichtigung der Anlage empfohlen.

    CPV
    Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000), Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100)
    Ort
    Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)

Verlauf

  1. 21. September 2026: Zuschlag. Zuschlag an: SFI Solutions for Instruments GmbH; Eingegangene Angebote: 1; Los LOT-0001.
  2. 2. November 2026, 15:32 Uhr (UTC+01:00): Zuschlagsbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung
  3. 2. November 2026, 15:32 Uhr (UTC+01:00): Zuschlagsbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung

Auftraggeber und Ort

Auftraggeber

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Frankfurt (Oder), DE

Leistungsort

  • Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)

Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung

  • SFI Solutions for Instruments GmbH (Bieter), Allershausen
  • SFI Solutions for Instruments GmbH (Zuschlag), Allershausen

Einordnung

CPV-Codes

  • 42990000: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
  • 31712100: Mikroelektronische Maschinen und Geräte

NUTS-Regionen

  • DE403: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

Amtliche Unterlagen

In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden.

Fragen und Antworten

Wer ist der Auftraggeber?

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder), DE.

Was wird beschafft (CPV)?

Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) und Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100).

Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403).

Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

Welche Verfahrensart gilt?

Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung

Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung

Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers

Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst.

Quelle

Herausgeber
Bekanntmachungsservice
Lizenz
CC0 1.0
Zuletzt geprüft
5. November 2026, 07:10 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

Markdown-Fassung