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AwardedTender

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

At a glance

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik is procuring Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) in Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403). It has been awarded. Procedure type: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation.

From the notice

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Key facts

Each fact is from the official notice, last checked 5 November 2026, 07:10 (UTC+01:00).

Status
AwardedOfficial notice · checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00)
Deadline
No deadline in the noticeOfficial notice · checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00)
Buyer
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder), DEOfficial notice · checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00)
Place of performance
Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)Official notice · checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00)
Main CPV
Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000)Official notice · checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00)
Procedure
Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiationOfficial notice · checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00)
Lots
1Official notice · checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00)
First published
2 November 2026, 15:32 (UTC+01:00)Official notice · checked 5 Nov 2026, 07:10 (UTC+01:00)

Fact sheet

Inteliwert fact sheet: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration — IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik. A product of Bandpey GmbH.
The key facts of this page as an image (PNG, 1600 × 900), made from the official notice. © Bandpey GmbH; terms of use. Download the fact sheet

Lots (1)

  1. Lot LOT-0001: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

    Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram-CVD-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierfür sind die Lieferung, Integration und Inbetriebnahme der erforderlichen Hard- und Softwarekomponenten sowie die Durchführung aller notwendigen Anpassungs-, Test- und Qualifizierungsmaßnahmen erforderlich. Der Leistungsumfang umfasst insbesondere die Modifikation des Gasverteilungssystems zur Realisierung eines kontrollierten Umschaltens der Prozessgase WF6 und SiH4 zwischen Abgasleitung und Prozesskammer zur Unterstützung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses für High Aspect Ratio Gap-Fill Anwendungen. Darüber hinaus ist zusätzliche Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr zu liefern und in das bestehende System zu integrieren. Die angebotene Lösung muss mit der vorhandenen Anlagenkonfiguration kompatibel sein und die technische Funktionalität einer WxZ Sprint Konfiguration gewährleisten. Zur Ermittlung des konkreten Anpassungsbedarfs wird eine Vor-Ort-Besichtigung der Anlage empfohlen.

    CPV
    Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000), Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100)
    Place
    Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)

Timeline

  1. 21 September 2026: Award. Winner: SFI Solutions for Instruments GmbH; Tenders received: 1; Lot LOT-0001.
  2. 2 November 2026, 15:32 (UTC+01:00): Award notice Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime). Official notice
  3. 2 November 2026, 15:32 (UTC+01:00): Award notice Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime). Official notice

Buyer and place

Buyer

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Frankfurt (Oder), DE

Place of performance

  • Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403)

Other parties in the notice

  • SFI Solutions for Instruments GmbH (Tenderer), Allershausen
  • SFI Solutions for Instruments GmbH (Winner), Allershausen

Classification

CPV codes

  • 42990000: Miscellaneous special-purpose machinery
  • 31712100: Microelectronic machinery and apparatus

NUTS regions

  • DE403: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

Official documents

No documents found in the indexed notice.

Questions and answers

Who is the buyer?

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Frankfurt (Oder), DE.

What is being procured (CPV)?

Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) and Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100).

Where is the work performed (NUTS)?

Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt (DE403).

Is it divided into lots?

No, the notice names a single lot.

Which procedure is used?

Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation.

How do I submit a bid?

On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. Official notice

Am I eligible?

Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. Official notice

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Source

Publisher
Bekanntmachungsservice
Licence
CC0 1.0
Last checked
5 November 2026, 07:10 (UTC+01:00)

The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.

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