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OffenAusschreibung

Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Auf einen Blick

Ruhr-Universität Bochum schreibt Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000) in Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51) aus. Die Bekanntmachung nennt einen geschätzten Wert von 1.024.000 € zzgl. MwSt. Verfahrensart: Wettbewerblicher Dialog.

Aus der Bekanntmachung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

Eckdaten

Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 9. November 2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00).

Status
OffenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)
Frist
Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)
Veröffentlichter Wert
1.024.000 € zzgl. MwSt.Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)
Auftraggeber
Ruhr-Universität Bochum, Bochum, DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)
Leistungsort
Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)
Haupt-CPV
Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)
Verfahrensart
Wettbewerblicher DialogAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)
Lose
1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)
Erstmals veröffentlicht
12. August 2026, 09:47 Uhr (UTC+02:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 09.11.2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)

Faktenblatt

Inteliwert-Faktenblatt: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS – Ruhr-Universität Bochum. Ein Produkt der Bandpey GmbH.
Die Eckdaten dieser Seite als Bild (PNG, 1600 × 900), erstellt aus der amtlichen Bekanntmachung. © Bandpey GmbH; Nutzungsbedingungen. Faktenblatt herunterladen

Lose (1)

  1. Los LOT-0001: Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

    Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

    CPV
    Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000)
    Ort
    Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)

Verlauf

  1. 12. August 2026, 09:47 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung

Auftraggeber und Ort

Auftraggeber

Ruhr-Universität Bochum
Bochum, DE

Leistungsort

  • Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51)

Einordnung

CPV-Codes

  • 38000000: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

NUTS-Regionen

  • DEA51: Bochum, Kreisfreie Stadt

Amtliche Unterlagen

Die Links führen zum Herausgeber. Inteliwert kopiert die Unterlagen nicht.

Fragen und Antworten

Wer ist der Auftraggeber?

Ruhr-Universität Bochum, Bochum, DE.

Was wird beschafft (CPV)?

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (CPV 38000000).

Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Bochum, Kreisfreie Stadt (DEA51).

Wie hoch ist der geschätzte Wert?

Die Bekanntmachung nennt einen geschätzten Wert von 1.024.000 € zzgl. MwSt.

Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

Welche Verfahrensart gilt?

Wettbewerblicher Dialog.

Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung

Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung

Unternehmen, die passen könnten

Mögliche Passung auf Basis öffentlicher Angaben

Unternehmen aus den von Inteliwert erfassten Quellen, nicht der ganze Markt. Inteliwert beurteilt weder Eignung noch Passung oder Chancen.

  • TESCAN GmbH

    Dortmund
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-09-24) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz in derselben Region wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

  • Pro Lux Sensorsysteme GmbH

    Sundern
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-09-29) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz in derselben Region wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

  • Beckman Coulter GmbH

    Krefeld
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)Neu bei öffentlichen Aufträgen
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-10-07) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz im selben Bundesland wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

  • Revvity (Germany) GmbH

    Hamburg
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-08-20) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

  • Quantum Design GmbH

    Pfungstadt
    KMU (laut Zuschlagsbekanntmachung)
    • Zuschlag in der CPV-Gruppe 380 (2026-09-28) Nachweis · geprüft am 09.11.2026
    • Sitz im selben Land wie der Leistungsort Nachweis · geprüft am 09.11.2026

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Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst.

Quelle

Herausgeber
Bekanntmachungsservice
Lizenz
CC0 1.0
Zuletzt geprüft
9. November 2026, 04:31 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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