Sign in Request access
Sign inRequest access
OpenTender

Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P

At a glance

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 is procuring Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) in Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21). Procedure type: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation.

From the notice

Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3)

Key facts

Each fact is from the official notice, last checked 6 November 2026, 07:11 (UTC+01:00).

Status
OpenOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00)
Deadline
No deadline in the noticeOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00)
Buyer
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DEOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00)
Place of performance
Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)Official notice · checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00)
Main CPV
Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100)Official notice · checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00)
Procedure
Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiationOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00)
Lots
1Official notice · checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00)
First published
4 November 2026, 12:47 (UTC+01:00)Official notice · checked 6 Nov 2026, 07:11 (UTC+01:00)

Fact sheet

Inteliwert fact sheet: Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. A product of Bandpey GmbH.
The key facts of this page as an image (PNG, 1600 × 900), made from the official notice. © Bandpey GmbH; terms of use. Download the fact sheet

Lots (1)

  1. Lot LOT-0000: Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) - PR1320279-3460-P

    1x Fully automated in-line OCD and dimensional shape metrology system (IZM-133.3) Die folgende Gerätespezifikation definiert die Anforderungen an ein vollautomatisches Messgerät zur Erfassung von Critical-Dimension-Strukturen (CD), Schichtdicken und Cu-Dishing auf 300-mm- und 200-mm-Wafern. Diese Investition erweitert die Messkapazitäten für die automatisierte, zerstörungsfreie Messung kleinerer Strukturgrößen und der Oberflächentopografie. Das Messgerät ist unverzichtbar für die Prozesskontrolle bei der Herstellung fortschrittlicher Gehäuse und Verbindungen, einschließlich der Charakterisierung von Cu-Strukturen mit Strukturgrößen im Submikrometerbereich nach dem CMP-Prozess in hochintegrierten, auf Chiplets basierenden 2,5D/3D- und quasi-monolithischen Gehäusearchitekturen. Das Gerät ist kompatibel mit 3D-Wafer-Stapeln, die eine starke Verformung (Warp/Bow) aufweisen. Als Wafer-Substrate kommen Silizium und/oder Glas mit Dicken von bis zu 2,5 mm zum Einsatz. Vor der Bearbeitung werden die Wafer in Front-Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die der Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen setzt. Das neue Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: - Laden der vorgesehenen Wafer aus den FOUPs - Ausführen der Messaufgaben - Zurückbringen der Wafer an ihre ursprünglichen Positionen in den FOUPs Die Rezeptprogrammierung muss ein ausreichend breites Spektrum an Optionen und Parametern unterstützen, um den Anforderungen in Forschung und Entwicklung (F&E) gerecht zu werden. Es wird vorausgesetzt, dass die Anlage die vorgesehenen Funktionen kontinuierlich, ohne Unterbrechungen oder Ausfälle und in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen ausführt. Darüber hinaus muss die Anlage mit allen unten beschriebenen Komponenten geliefert werden, die erforderlich sind, damit sie die vorgesehenen Funktionen und Leistungsmerkmale in Übereinstimmung mit allen in diesem Dokument festgelegten Anforderungen erbringen kann.

    CPV
    Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100)
    Place
    Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

Timeline

  1. 4 November 2026, 12:47 (UTC+01:00): Original notice Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime). Official notice
  2. 4 November 2026, 12:47 (UTC+01:00): Change Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime). Official notice

Buyer and place

Buyer

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
München, DE

Place of performance

  • Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

Classification

CPV codes

  • 31712100: Microelectronic machinery and apparatus

NUTS regions

  • DED21: Dresden, Kreisfreie Stadt

Official documents

Links go to the publisher. Inteliwert does not copy the documents.

Questions and answers

Who is the buyer?

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE.

What is being procured (CPV)?

Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100).

Where is the work performed (NUTS)?

Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21).

Is it divided into lots?

No, the notice names a single lot.

Which procedure is used?

Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation.

How do I submit a bid?

On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. Official notice

Am I eligible?

Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. Official notice

Companies that might fit

Possible match based on public information

Companies Inteliwert knows from its sources, not the whole market. Inteliwert does not judge eligibility, fit or chances.

  • Elektrotechnik Homeier GmbH

    Alteglofsheim
    SME (from the award notice)New to public tenders
    • Won a contract in CPV group 317 (2026-10-26) Evidence · checked 6 Nov 2026
    • Seat in the same country as the place of performance Evidence · checked 6 Nov 2026

  • TRICERA energy GmbH

    Bobritzsch-Hilbersdorf
    SME (from the award notice)New to public tenders
    • Won a contract in CPV group 314 (2026-11-03) Evidence · checked 6 Nov 2026
    • Seat in the same federal state as the place of performance Evidence · checked 6 Nov 2026

  • SAB GmbH Steuerungs- und Anlagenbau

    Nufringen
    SME (from the award notice)
    • Won a contract in CPV group 312 (2026-10-16) Evidence · checked 6 Nov 2026
    • Seat in the same country as the place of performance Evidence · checked 6 Nov 2026

  • Bauer Elektroanlagen GmbH Frankfurt

    Neu Isenburg
    SME (from the award notice)New to public tenders
    • Won a contract in CPV group 315 (2026-11-03) Evidence · checked 6 Nov 2026
    • Seat in the same country as the place of performance Evidence · checked 6 Nov 2026

  • Nextorch Deutschland GmbH

    Heiligenhaus
    SME (from the award notice)New to public tenders
    • Won a contract in CPV group 315 (2026-10-26) Evidence · checked 6 Nov 2026
    • Seat in the same country as the place of performance Evidence · checked 6 Nov 2026

More from this buyer

Other published opportunities of this buyer in the indexed notices, open ones first.

Source

Publisher
Bekanntmachungsservice
Licence
CC0 1.0
Last checked
6 November 2026, 07:11 (UTC+01:00)

The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.

Markdown version