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Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P

At a glance

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 is procuring Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000) in München, Kreisfreie Stadt (DE212). It has been awarded. Procedure type: Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation.

From the notice

Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6)

Key facts

Each fact is from the official notice, last checked 10 November 2026, 09:30 (UTC+01:00).

Status
AwardedOfficial notice · checked 10 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00)
Deadline
No deadline in the noticeOfficial notice · checked 10 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00)
Buyer
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DEOfficial notice · checked 10 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00)
Place of performance
München, Kreisfreie Stadt (DE212)Official notice · checked 10 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00)
Main CPV
Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000)Official notice · checked 10 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00)
Procedure
Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiationOfficial notice · checked 10 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00)
Lots
1Official notice · checked 10 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00)
First published
16 July 2026, 14:33 (UTC+02:00)Official notice · checked 10 Nov 2026, 09:30 (UTC+01:00)

Fact sheet

Inteliwert fact sheet: Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. A product of Bandpey GmbH.
The key facts of this page as an image (PNG, 1600 × 900), made from the official notice. © Bandpey GmbH; terms of use. Download the fact sheet

Lots (1)

  1. Lot LOT-0000: Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) - PR1074784-2270-P

    1 Stück Glas and Metal Etch (EMFT-01.2 - EMFT-01.6) Ätzgeräte für 200-mm-Substrate. Das Ätzen von Glas oder Quarz für Interposer oder strukturierte Oberflächen erfordert hochentwickelte Prozesskammern mit hoher Plasmadichte und homogener Ätzrate. In der Regel sind harte Maskierungsschichten aus Metall oder Polysilizium erforderlich, um diese Strukturen auf Glas- oder Quarzsubstrate zu übertragen. Aus diesem Grund benötigt eine Ätzkammer für dicke Maskierungsschichten ebenfalls Plasma mit hoher Dichte, um angemessene Ätzraten zu erzielen. Um hingegen Metallleitungen mit geringem Widerstand zu realisieren, die nicht zu viel Fläche beanspruchen, sind höhere Metallleitungen erforderlich. Diese können ebenfalls mit diesem Kammertyp geätzt werden. Für die fortschrittliche Heterointegration reichen die Schichtdicken von einigen µm bis zu 25 µm und die dielektrischen Schichten oder Glassubstrate von 2 µm bis zu 150 µm. Der Anlagenlieferant sollte Verarbeitungsbeispiele insbesondere für das Tiefenätzen in Glassubstraten vorlegen. Nicht jedes Metall haftet gut auf Quarz- oder Glasoberflächen. Daher werden geeignete leitfähige Schichten sowie nichtleitende Schichten wie Nitride verwendet. Neben der Verbesserung der Haftung werden diese Schichten auch als Stoppschichten verwendet und müssen gelegentlich in einem separaten Verarbeitungsschritt und einer speziellen Ätzkammer entfernt werden. Die Anforderungen an die Gleichmäßigkeit für die geplante Anwendung, sowohl bei der Abscheidung als auch bei der Strukturierung, sollten 1 % nicht überschreiten. Das Werkzeug muss transparente Substrate erkennen und verarbeiten können, ohne dass vor der Verarbeitung im Werkzeug zusätzliche opake Schichten aufgebracht werden müssen. Diese Ausrüstung muss angeschafft werden, da es im Mikroelektronik-Konsortium kein vergleichbares System gibt, das die technischen und prozessspezifischen Anforderungen, beispielsweise hinsichtlich Kontamination oder Zykluszeit, erfüllt. Optionen: 1.6 EMFT-01.2 Ätzen von Ni, Nb, NbN, Si3N4 Substratheizung als zusätzliche Option neben gekühltem Substrat 1.7 EMFT-01.2 Ätzen von Ni, Nb, NbN, Si3N4 Kantenabdeckring 2.4 EMFT-01.3 Quarzätzen Randabdeckring Substratkantenschutz mit Abdeckring erwünscht 3.3 EMFT-01.4 Nitridätzen (TiN, AlN) "Mindestens ein Rezept zum Ätzen von < 1 µm dicken Schichten für jedes der Verbundmaterialien " "Beschreibung der Ätzgasen und der Art des Maskierungsmaterials Die umfassendste Beschreibung ergibt die höchste Punktzahl." 4.5 EMFT-01.5 Ätzen von Silizium/Siliziumverbundstoffen (c-Si, poly-Si, SiC) "Mindestens ein Rezept für das Ätzen jedes der Silizium-/Siliziumverbundwerkstoffe " "Beschreibung der Ätzgasen und der Art des Maskierungsmaterials Die umfassendste Beschreibung erzielt die höchste Punktzahl." 5.2 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling Loadlock für das Laden von 25 Wafern in Kassetten 5.3 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling Bildschirm und Bedienfeld auf beiden Seiten (Grauraum-Reinraum) 5.6 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling "Pumpen für Transferkammer " Turbopumpen und Vorpumpen für Turbopumpen 5.7 EMFT-01.6 Pumpen und Waferhandling "Pumpen für Loadlock-Kammer " Turbopumpen und Vorpumpen für Turbopumpen 8.1 Garantie-/Servicebedingungen Angebot eines Servicevertrags Angebot eines Servicevertrags, gültig nach Ablauf der Garantiezeit. Es sollte die Beschreibung der Dienstleistung, die Anzahl der Arbeitsstunden und die benötigten Ersatzteile enthalten.8.2 Garantie-/Servicebedingungen Liste der Ersatzteil-Kits für Verschleißteile Liste der Ersatzteil-Kits für Verschleißteile

    CPV
    Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000)
    Place
    München, Kreisfreie Stadt (DE212)

Timeline

  1. 16 July 2026: Award. Winner: Ulvac GmbH; Tenders received: 1; Lot LOT-0000.
  2. 16 July 2026, 14:33 (UTC+02:00): Award notice Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime). Official notice

Buyer and place

Buyer

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
München, DE

Place of performance

  • München, Kreisfreie Stadt (DE212)

Other parties in the notice

  • Ulvac GmbH (Tenderer), Kirchheim
  • Ulvac GmbH (Winner), Kirchheim

Classification

CPV codes

  • 42990000: Miscellaneous special-purpose machinery

NUTS regions

  • DE212: München, Kreisfreie Stadt

Official documents

No documents found in the indexed notice.

Questions and answers

Who is the buyer?

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE.

What is being procured (CPV)?

Miscellaneous special-purpose machinery (CPV 42990000).

Where is the work performed (NUTS)?

München, Kreisfreie Stadt (DE212).

Is it divided into lots?

No, the notice names a single lot.

Which procedure is used?

Negotiated with prior publication of a call for competition / competitive with negotiation.

How do I submit a bid?

On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. Official notice

Am I eligible?

Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. Official notice

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Source

Publisher
Bekanntmachungsservice
Licence
CC0 1.0
Last checked
10 November 2026, 09:30 (UTC+01:00)

The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.

Markdown version