Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
At a glance
Universität Heidelberg is procuring Machines and apparatus with individual functions (CPV 31640000) in Heidelberg, Stadtkreis (DE125). The notice gives 30 November 2026, 10:00 (UTC+01:00) as the deadline. Procedure type: Open.
Key facts
Each fact is from the official notice, last checked 4 November 2026, 12:10 (UTC+01:00).
- Status
- OpenOfficial notice · checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00)
- Deadline
- (in 23 days)Official notice · checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00)
- Buyer
- Universität Heidelberg, Heidelberg, DEOfficial notice · checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00)
- Place of performance
- Heidelberg, Stadtkreis (DE125)Official notice · checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00)
- Main CPV
- Machines and apparatus with individual functions (CPV 31640000)Official notice · checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00)
- Procedure
- OpenOfficial notice · checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00)
- Lots
- 1Official notice · checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00)
- First published
- 30 October 2026, 15:19 (UTC+01:00)Official notice · checked 4 Nov 2026, 12:10 (UTC+01:00)
Fact sheet

Lots (1)
Lot LOT-0001: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Atomlagenabscheidungsanlage (ALD)
Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für sowohl thermische als auch plasma-gestützte Atomlagenabscheidung (ALD) von hochpräzisen Dünnfilmen auf dreidimensional vorstrukturierten und planaren Substraten mit kontrollierten Schichtdicken im Nanometer Bereich. Das geplante System soll die Abscheidung supraleitender Filme höchster Güte, insbesondere Niobiumnitrit, dielektrische Dünnfilme sowie magnetische Materialien und High-k-Dielektrika ermöglichen. Dazu soll das Gerät mit präziser in-situ Schichtdicken-überwachung ausgestattet sein um optimale Prozesskontrolle zu ermöglichen. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung "Frei Bordsteinkante inkl. Abladen" - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 1.039.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts.
Timeline
- 30 October 2026, 15:19 (UTC+01:00): Original notice Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime). Official notice
- 30 October 2026, 15:19 (UTC+01:00): Change Notice, version 01 (Contract or concession notice – standard regime). Official notice
Buyer and place
Buyer
Universität Heidelberg
Heidelberg, DE
Place of performance
- Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Classification
CPV codes
- 31640000: Machines and apparatus with individual functions
- 38000000: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
NUTS regions
- DE125: Heidelberg, Stadtkreis
Official documents
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Questions and answers
When is the deadline?
The official notice gives 30 November 2026, 10:00 (UTC+01:00) as the deadline.
Who is the buyer?
Universität Heidelberg, Heidelberg, DE.
What is being procured (CPV)?
Machines and apparatus with individual functions (CPV 31640000) and Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000).
Where is the work performed (NUTS)?
Heidelberg, Stadtkreis (DE125).
Is it divided into lots?
No, the notice names a single lot.
Which procedure is used?
Open.
How do I submit a bid?
On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. Official notice
Am I eligible?
Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. Official notice
Companies that might fit
Possible match based on public information
Companies Inteliwert knows from its sources, not the whole market. Inteliwert does not judge eligibility, fit or chances.
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Source
- Publisher
- Bekanntmachungsservice
- Licence
- CC0 1.0
- Last checked
- 4 November 2026, 12:10 (UTC+01:00)
The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.