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Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage
At a glance
Universität Heidelberg is procuring Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000) in Heidelberg, Stadtkreis (DE125). It has been awarded. Procedure type: Open.
Key facts
Each fact is from the official notice, last checked 6 November 2026, 15:30 (UTC+01:00).
- Status
- AwardedOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
- Deadline
- No deadline in the noticeOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
- Buyer
- Universität Heidelberg, Heidelberg, DEOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
- Place of performance
- Heidelberg, Stadtkreis (DE125)Official notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
- Main CPV
- Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000)Official notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
- Procedure
- OpenOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
- Lots
- 1Official notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
- First published
- 6 October 2026, 15:07 (UTC+02:00)Official notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
Fact sheet
Lots (1)
Lot LOT-0001: Vergabeverfahren zur Lieferung einer Gasphasenabscheidungsanlage
Ausgeschrieben wird die Lieferung und betriebsfertige Übergabe inkl. Funktionstest, Einweisung und Abnahme eines Systems für plasma-verstärkte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle (ICP) zur Herstellung qualitativ hochwertiger Materialfilme mit präzise definierten Schichtdicken im Nanometer-Mikrometerbereich. Das geplante ICP-PECVD System soll die gezielte Abscheidung von dielektrische Dünnfilmen mit steuerbaren optischen Eigenschaften und präzise kontrollierbaren Schichtdicken durch in-situ Monitoring ermöglichen. Hochwertige dielektrische Schichten für optische Passivierungen, optische Wellenleiter und Mehrlagensysteme sowie als Hartmasken für hochauflösende Lithographieverfahren sollen abgeschieden werden. Im Rahmen unserer Forschungsarbeiten sollen Siliziumdioxid, Siliziumnitrid, amorphes Silizium und diamantähnliche Kohlenstoffschichten mit einer neuen Anlage optimiert abgeschieden werden können. Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 806.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zölle und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zölle sind Bestandteil des Grenzwerts. Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen: - Angebot und Lieferung eines Neugerätes bzw. Neuware - Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle. - Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen. - Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme. - Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort - Schulung vor Ort (3 Tage á 8 Stunden) für 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.
Timeline
- 6 October 2026: Award. Winner: Oxford Instruments GmbH; Tenders received: 1; Lot LOT-0001.
- 6 October 2026, 15:07 (UTC+02:00): Award notice Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime). Official notice
Buyer and place
Buyer
Universität Heidelberg
Heidelberg, DE
Place of performance
- Heidelberg, Stadtkreis (DE125)
Other parties in the notice
- Oxford Instruments GmbH (Tenderer), Wiesbaden
- Oxford Instruments GmbH (Winner), Wiesbaden
Classification
CPV codes
- 38000000: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
NUTS regions
- DE125: Heidelberg, Stadtkreis
Official documents
No documents found in the indexed notice.
Questions and answers
Who is the buyer?
Universität Heidelberg, Heidelberg, DE.
What is being procured (CPV)?
Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses) (CPV 38000000).
Where is the work performed (NUTS)?
Heidelberg, Stadtkreis (DE125).
Is it divided into lots?
No, the notice names a single lot.
Which procedure is used?
Open.
How do I submit a bid?
On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. Official notice
Am I eligible?
Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. Official notice
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Source
- Publisher
- Bekanntmachungsservice
- Licence
- CC0 1.0
- Last checked
- 6 November 2026, 15:30 (UTC+01:00)
The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.