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VergebenAusschreibung

Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P

Auf einen Blick

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100) in Meißen (DED2E) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb.

Aus der Bekanntmachung

Fully automated tool CVD (IZM-136)

Eckdaten

Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 6. November 2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00).

Status
VergebenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)
Frist
Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, Garching, DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)
Leistungsort
Meißen (DED2E)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)
Haupt-CPV
Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum WettbewerbAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)
Lose
1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)
Erstmals veröffentlicht
6. Oktober 2026, 15:43 Uhr (UTC+02:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 06.11.2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)

Faktenblatt

Inteliwert-Faktenblatt: Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.
Die Eckdaten dieser Seite als Bild (PNG, 1600 × 900), erstellt aus der amtlichen Bekanntmachung. © Bandpey GmbH; Nutzungsbedingungen. Faktenblatt herunterladen

Lose (1)

  1. Los LOT-0000: Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P

    1x Fully automated tool CVD Die folgende Ausrüstungsspezifikation definiert einen vollautomatischen Cluster für die CVD-Abscheidung hochwertiger dielektrischer Schichten wie SiO₂ mit ausgezeichneter Liner-Konformität für extrem hohe Aspektverhältnisse, wie sie in TSV-Anwendungen zum Einsatz kommen, sowie mit vollständiger, porenfreier und nahtloser Füllung winziger, unregelmäßig geformter Hohlräume (Lücken) mit komplexen Profilen und extremen Abmessungen. Vor dem Prozess werden die Wafer in Front Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die vom Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen gesetzt werden. Das Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: • Entnahme bestimmter Wafer aus dem FOUP • Durchführung von SACVD- und/oder PE-Prozessen • Rückführung der Wafer in die Ausgangsposition in den FOUP Die Programmierung von Rezepturen muss innerhalb eines geeigneten Bereichs von Optionen und Parametern möglich sein, wie es für Forschung und Entwicklung (F&E) erforderlich ist. Das zu beschaffende System mit neuen SACVD- und PECVD-Modulen der neuesten Generation für dielektrische Prozesse ermöglicht die Abscheidung von Oxidschichten in TSVs mit hohem Aspektverhältnis (Liner-Füllung), Damaszener-Oxid-RDL (z. B. für das Hybridbonden) sowie dielektrische Spaltfüllschichten im Hinblick auf das Die-to-Wafer-Bonden. Dabei ermöglicht die Handhabung die Bearbeitung von verdünnten und/oder gebondeten Wafern sowie Glaswafern (2,5D/3D-Systeme) mit starker Verwindung und Wölbung. Optionale Features: - Substratspezifikation LV-Pos.1.25 - SA-/PE-CVD, dielektrische Liner, TSVs und Tranches, hohes Seitenverhältnis LV-Pos. 3.17 - PECVD-Oxid, dielektrische Lückenfüllung bei niedrigen Temperaturen für unregelmäßige und komplexe Profile LV-Pos. 4.17

    CPV
    Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100)
    Ort
    Meißen (DED2E)

Verlauf

  1. 6. Oktober 2026: Zuschlag. Zuschlag an: Applied Materials GmbH; Eingegangene Angebote: 1; Los LOT-0000.
  2. 6. Oktober 2026, 15:43 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung

Auftraggeber und Ort

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Garching, DE

Leistungsort

  • Meißen (DED2E)

Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung

  • Applied Materials GmbH (Bieter), Dresden
  • Applied Materials GmbH (Zuschlag), Dresden

Einordnung

CPV-Codes

  • 31712100: Mikroelektronische Maschinen und Geräte

NUTS-Regionen

  • DED2E: Meißen

Amtliche Unterlagen

In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden.

Fragen und Antworten

Wer ist der Auftraggeber?

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, Garching, DE.

Was wird beschafft (CPV)?

Mikroelektronische Maschinen und Geräte (CPV 31712100).

Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Meißen (DED2E).

Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

Welche Verfahrensart gilt?

Verhandlungsverfahren ohne Aufruf zum Wettbewerb.

Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung

Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung

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Quelle

Herausgeber
Bekanntmachungsservice
Lizenz
CC0 1.0
Zuletzt geprüft
6. November 2026, 15:30 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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