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Awarded

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AwardedTender

Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P

At a glance

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 is procuring Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100) in Meißen (DED2E). It has been awarded. Procedure type: Negotiated without prior call for competition.

From the notice

Fully automated tool CVD (IZM-136)

Key facts

Each fact is from the official notice, last checked 6 November 2026, 15:30 (UTC+01:00).

Status
AwardedOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
Deadline
No deadline in the noticeOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
Buyer
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DEOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
Place of performance
Meißen (DED2E)Official notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
Main CPV
Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100)Official notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
Procedure
Negotiated without prior call for competitionOfficial notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
Lots
1Official notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)
First published
6 October 2026, 15:43 (UTC+02:00)Official notice · checked 6 Nov 2026, 15:30 (UTC+01:00)

Fact sheet

Inteliwert fact sheet: Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P — Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. A product of Bandpey GmbH.
The key facts of this page as an image (PNG, 1600 × 900), made from the official notice. © Bandpey GmbH; terms of use. Download the fact sheet

Lots (1)

  1. Lot LOT-0000: Fully automated tool CVD (IZM-136) - PR1246546-3460-P

    1x Fully automated tool CVD Die folgende Ausrüstungsspezifikation definiert einen vollautomatischen Cluster für die CVD-Abscheidung hochwertiger dielektrischer Schichten wie SiO₂ mit ausgezeichneter Liner-Konformität für extrem hohe Aspektverhältnisse, wie sie in TSV-Anwendungen zum Einsatz kommen, sowie mit vollständiger, porenfreier und nahtloser Füllung winziger, unregelmäßig geformter Hohlräume (Lücken) mit komplexen Profilen und extremen Abmessungen. Vor dem Prozess werden die Wafer in Front Opening Unified Pods (FOUPs) an das Gerät geliefert, die vom Bediener manuell auf die jeweiligen Ladeöffnungen gesetzt werden. Das Gerät muss in der Lage sein, die folgende Abfolge von Schritten vollautomatisch auszuführen: • Entnahme bestimmter Wafer aus dem FOUP • Durchführung von SACVD- und/oder PE-Prozessen • Rückführung der Wafer in die Ausgangsposition in den FOUP Die Programmierung von Rezepturen muss innerhalb eines geeigneten Bereichs von Optionen und Parametern möglich sein, wie es für Forschung und Entwicklung (F&E) erforderlich ist. Das zu beschaffende System mit neuen SACVD- und PECVD-Modulen der neuesten Generation für dielektrische Prozesse ermöglicht die Abscheidung von Oxidschichten in TSVs mit hohem Aspektverhältnis (Liner-Füllung), Damaszener-Oxid-RDL (z. B. für das Hybridbonden) sowie dielektrische Spaltfüllschichten im Hinblick auf das Die-to-Wafer-Bonden. Dabei ermöglicht die Handhabung die Bearbeitung von verdünnten und/oder gebondeten Wafern sowie Glaswafern (2,5D/3D-Systeme) mit starker Verwindung und Wölbung. Optionale Features: - Substratspezifikation LV-Pos.1.25 - SA-/PE-CVD, dielektrische Liner, TSVs und Tranches, hohes Seitenverhältnis LV-Pos. 3.17 - PECVD-Oxid, dielektrische Lückenfüllung bei niedrigen Temperaturen für unregelmäßige und komplexe Profile LV-Pos. 4.17

    CPV
    Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100)
    Place
    Meißen (DED2E)

Timeline

  1. 6 October 2026: Award. Winner: Applied Materials GmbH; Tenders received: 1; Lot LOT-0000.
  2. 6 October 2026, 15:43 (UTC+02:00): Award notice Notice, version 01 (Contract or concession award notice – standard regime). Official notice

Buyer and place

Buyer

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
München, DE

Place of performance

  • Meißen (DED2E)

Other parties in the notice

  • Applied Materials GmbH (Tenderer), Dresden
  • Applied Materials GmbH (Winner), Dresden

Classification

CPV codes

  • 31712100: Microelectronic machinery and apparatus

NUTS regions

  • DED2E: Meißen

Official documents

No documents found in the indexed notice.

Questions and answers

Who is the buyer?

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE.

What is being procured (CPV)?

Microelectronic machinery and apparatus (CPV 31712100).

Where is the work performed (NUTS)?

Meißen (DED2E).

Is it divided into lots?

No, the notice names a single lot.

Which procedure is used?

Negotiated without prior call for competition.

How do I submit a bid?

On the official notice or the portal it names. Inteliwert does not submit bids. Official notice

Am I eligible?

Inteliwert does not judge eligibility. The selection criteria are in the official notice. Official notice

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Source

Publisher
Bekanntmachungsservice
Licence
CC0 1.0
Last checked
6 November 2026, 15:30 (UTC+01:00)

The official notice is authoritative. Inteliwert shows what the notice states and links to it.

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