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OffenAusschreibung

System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P

Auf einen Blick

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 schreibt Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000) in Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) aus. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Aus der Bekanntmachung

System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1)

Eckdaten

Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 10. November 2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00).

Status
OffenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)
Frist
Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)
Leistungsort
Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)
Haupt-CPV
Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/VerhandlungsverfahrenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)
Lose
1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)
Erstmals veröffentlicht
16. Juli 2026, 15:23 Uhr (UTC+02:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)

Faktenblatt

Inteliwert-Faktenblatt: System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P – Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12. Ein Produkt der Bandpey GmbH.
Die Eckdaten dieser Seite als Bild (PNG, 1600 × 900), erstellt aus der amtlichen Bekanntmachung. © Bandpey GmbH; Nutzungsbedingungen. Faktenblatt herunterladen

Lose (1)

  1. Los LOT-0000: System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) - PR1153448-2480-P

    1 Stück System for High Apect Ratio Etch consisting of mainframe and process chambers (IPMS-CNT05.1) Die Spezifikation beschreibt die Anforderungen an ein vollautomatisches Prozessgerät, das für Plasmaätzprozesse auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm eingesetzt werden soll. Die Systeme werden für die Bearbeitung von Silizium-CMOS-Wafern in einer Produktionsumgebung der Reinraumklasse 1000 (entspricht in etwa Klasse 6 nach EN ISO 14644-1) eingesetzt. Das neue Werkzeug soll zur Strukturierung von Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Silizium sowie in allen damit verbundenen erforderlichen Materialien (z. B. SiO₂, SiN) eingesetzt werden, um dieses Hauptziel zu erreichen. Optionale Positionen gemäß Technical Tender Specification.

    CPV
    Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000)
    Ort
    Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

Verlauf

  1. 16. Juli 2026, 15:23 Uhr (UTC+02:00): Erstbekanntmachung Bekanntmachung, Version 01 (Auftrags- oder Konzessionsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung

Auftraggeber und Ort

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
München, DE

Leistungsort

  • Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

Einordnung

CPV-Codes

  • 42990000: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

NUTS-Regionen

  • DED21: Dresden, Kreisfreie Stadt

Amtliche Unterlagen

Die Links führen zum Herausgeber. Inteliwert kopiert die Unterlagen nicht.

Fragen und Antworten

Wer ist der Auftraggeber?

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12, München, DE.

Was wird beschafft (CPV)?

Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke (CPV 42990000).

Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21).

Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

Welche Verfahrensart gilt?

Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung

Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung

Weitere Ausschreibungen dieses Auftraggebers

Weitere veröffentlichte Ausschreibungen dieses Auftraggebers in den indexierten Bekanntmachungen, offene zuerst.

Quelle

Herausgeber
Bekanntmachungsservice
Lizenz
CC0 1.0
Zuletzt geprüft
10. November 2026, 08:30 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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