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VergebenAusschreibung

Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

Auf einen Blick

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. schreibt Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000) in Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21) aus. Der Zuschlag ist erteilt. Verfahrensart: Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Aus der Bekanntmachung

The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

Eckdaten

Jede Angabe stammt aus der amtlichen Bekanntmachung, zuletzt geprüft am 10. November 2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00).

Status
VergebenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)
Frist
Keine Frist in der BekanntmachungAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Erlangen, DEAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)
Leistungsort
Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)
Haupt-CPV
Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)
Verfahrensart
Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/VerhandlungsverfahrenAmtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)
Lose
1Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)
Erstmals veröffentlicht
8. Juli 2026, 13:50 Uhr (UTC+02:00)Amtliche Bekanntmachung · geprüft am 10.11.2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)

Faktenblatt

Inteliwert-Faktenblatt: Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers – Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.. Ein Produkt der Bandpey GmbH.
Die Eckdaten dieser Seite als Bild (PNG, 1600 × 900), erstellt aus der amtlichen Bekanntmachung. © Bandpey GmbH; Nutzungsbedingungen. Faktenblatt herunterladen

Lose (1)

  1. Los LOT-0001: Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

    The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

    CPV
    Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000)
    Ort
    Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

Verlauf

  1. 2. Juli 2026: Zuschlag. Zuschlag an: Scia Systems GmbH; Auftragswert: 1 € zzgl. MwSt.; Eingegangene Angebote: 1; Los LOT-0001.
  2. 8. Juli 2026, 13:50 Uhr (UTC+02:00): Zuschlagsbekanntmachung Bekanntmachung, Version 02 (Bekanntmachung vergebener Aufträge oder Zuschlagsbekanntmachung – Standardregelung). Amtliche Bekanntmachung

Auftraggeber und Ort

Auftraggeber

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Erlangen, DE

Leistungsort

  • Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21)

Weitere Beteiligte in der Bekanntmachung

  • Scia Systems GmbH (Bieter), Chemnitz
  • Scia Systems GmbH (Zuschlag), Chemnitz

Einordnung

CPV-Codes

  • 42900000: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

NUTS-Regionen

  • DED21: Dresden, Kreisfreie Stadt

Amtliche Unterlagen

In der indexierten Bekanntmachung wurden keine Unterlagen gefunden.

Fragen und Antworten

Wer ist der Auftraggeber?

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Erlangen, DE.

Was wird beschafft (CPV)?

Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke (CPV 42900000).

Wo wird die Leistung erbracht (NUTS)?

Dresden, Kreisfreie Stadt (DED21).

Ist die Ausschreibung in Lose aufgeteilt?

Nein, die Bekanntmachung nennt ein einziges Los.

Welche Verfahrensart gilt?

Verhandlungsverfahren mit vorheriger Veröffentlichung eines Aufrufs zum Wettbewerb/Verhandlungsverfahren.

Wie gebe ich ein Angebot ab?

Über die amtliche Bekanntmachung oder das darin genannte Portal. Inteliwert gibt keine Angebote ab. Amtliche Bekanntmachung

Bin ich teilnahmeberechtigt?

Inteliwert beurteilt keine Teilnahmeberechtigung. Die Eignungskriterien stehen in der amtlichen Bekanntmachung. Amtliche Bekanntmachung

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Quelle

Herausgeber
Bekanntmachungsservice
Lizenz
CC0 1.0
Zuletzt geprüft
10. November 2026, 16:30 Uhr (UTC+01:00)

Maßgeblich ist die amtliche Bekanntmachung. Inteliwert zeigt, was in ihr steht, und verlinkt sie.

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